Tấm nền than chì phủ cacbua silic cho chất bán dẫn, chất đỡ MOCVD

Hình ảnh nổi bật: Đế than chì phủ cacbua silic cho chất bán dẫn, chất đỡ MOCVD.

Mô tả ngắn gọn:

Tấm đỡ phủ SiC của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Nơi xuất xứ:Chiết Giang, Trung Quốc (đại lục)

Thành phần hóa học:Than chì phủ SiC

Sức bền uốn:470Mpa

Độ dẫn nhiệt:300 W/mK

Chất lượng:Hoàn hảo

Chức năng:CVD-SiC

Ứng dụng:Bán dẫn / Quang điện

Tỉ trọng:3,21 g/cc

Sự giãn nở nhiệt:4 10-6/K

Tro: <5ppm

Vật mẫu:Có sẵn

Mã HS:6903100000

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Chất nhạy cảm phủ SiC năng lượng VETĐây là giải pháp hiệu suất cao được chế tạo tỉ mỉ để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong suốt vòng đời dài, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành sản xuất bán dẫn. Với khả năng chịu nhiệt vượt trội, độ đồng nhất nhiệt cao và độ tinh khiết cao, sản phẩm này lý tưởng cho các giá đỡ wafer MOCVD và các ứng dụng xử lý wafer khác đòi hỏi sự ổn định và độ chính xác. Khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ khiến nó trở thành lựa chọn hàng đầu cho các môi trường mà độ bền và khả năng chống chịu hóa chất là điều thiết yếu.

Của chúng tôiBộ cảm biến than chì phủ SiCĐây là một thành phần quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, tận dụng công nghệ độc quyền đã được cấp bằng sáng chế của VET Energy để đạt được độ tinh khiết cực cao, độ đồng nhất lớp phủ vượt trội và độ ổn định nhiệt đáng kể. Lớp phủ này tăng cường khả năng kháng hóa chất cao cho chất nền than chì và kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng. Sự tận tâm của VET Energy đối với chất lượng đã tạo ra một chất đỡ phủ SiC đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của thị trường giá đỡ wafer than chì, thiết lập một tiêu chuẩn cao cho các chất đỡ than chì phủ SiC được sử dụng trong...Các quy trình MOCVD.

Các đặc điểm chính của chất hấp thụ được phủ SiC:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao:Có khả năng chịu được nhiệt độ lên đến 1700℃, thích hợp cho các điều kiện xử lý khắc nghiệt.

2. Độ tinh khiết cao và tính đồng nhất nhiệt:Đảm bảo kết quả nhất quán, điều vô cùng quan trọng đối vớicác yếu tố nhạy cảm MOCVDvà các ứng dụng chính xác khác.

3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời:Có khả năng chống chịu axit, kiềm, muối và nhiều chất phản ứng hữu cơ khác nhau.

4. Tăng cường độ cứng bề mặt:Bề mặt đặc chắc với các hạt mịn giúp tăng độ bền và tuổi thọ.

5. Tuổi thọ sử dụng kéo dài:Được thiết kế để hoạt động bền bỉ, vượt trội hơn các chất hấp thụ phủ silicon carbide tiêu chuẩn trong môi trường xử lý khắc nghiệt.

Là một nhà sản xuất hàng đầu, VET Energy chuyên về than chì theo yêu cầu vàsản phẩm silicon carbidevới nhiều tùy chọn lớp phủ khác nhau, bao gồmLớp phủ SiC, Lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinhvà lớp phủ cacbon nhiệt phân. Chúng tôi tự hào phục vụ ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, cung cấp các chất hấp thụ nhiệt bằng than chì phủ cacbua silic đáp ứng các yêu cầu vận hành cụ thể.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi, với kinh nghiệm từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, luôn nỗ lực phát triển các giải pháp vật liệu đáp ứng nhu cầu ngày càng thay đổi của thị trường.Bộ cảm biến than chì phủ SiCthị trường. Thông qua quy trình được cấp bằng sáng chế của mình, VET Energy đã phát triển công nghệ độc đáo giúp cải thiện đáng kể độ bền liên kết giữa lớp phủ silicon carbide và chất nền, giảm nguy cơ bong tróc và tăng cường độ tin cậy lâu dài.

Ứng dụng và ưu điểm trong công nghệ chế tạo bán dẫn

CáiLớp phủ SiC cho MOCVDcho phépbộ phận cảm ứng than chìCác linh kiện này duy trì tính toàn vẹn trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn, điều rất quan trọng đối với sản xuất chất bán dẫn chính xác. Các linh kiện than chì phủ SiC này đặc biệt có giá trị trong các quy trình yêu cầu chất đỡ phủ silicon carbide.giá đỡ tấm than chìNhững vật liệu này đòi hỏi độ ổn định nhiệt cao, độ tinh khiết và khả năng chống ăn mòn hóa học.

Với các kỹ thuật phủ silicon carbide tiên tiến, VET Energy tiếp tục hỗ trợ thị trường giá đỡ wafer graphite bằng cách cung cấp các sản phẩm tùy chỉnh, hiệu năng cao.Bộ cảm biến than chì phủ SiCNhững giải pháp này giải quyết các thách thức đặc thù của từng ngành, từ các quy trình MOCVD đến các ứng dụng độ tinh khiết cao trong lĩnh vực bán dẫn.