Ngành công nghiệp bán dẫn có yêu cầu rất cao đối với vật liệu than chì, than chì có kích thước hạt mịn mang lại độ chính xác cao, khả năng chịu nhiệt cao, độ bền cao, tổn thất nhỏ và nhiều ưu điểm khác, ví dụ như: khuôn đúc sản phẩm than chì thiêu kết.Do các thiết bị bằng than chì được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn (bao gồm cả bộ phận gia nhiệt và các khuôn thiêu kết của chúng) cần phải chịu được các quá trình gia nhiệt và làm nguội lặp đi lặp lại, để kéo dài tuổi thọ của các thiết bị bằng than chì, thông thường cần phải sử dụng vật liệu than chì có hiệu suất ổn định và khả năng chịu nhiệt tốt.
01 Phụ kiện than chì cho quá trình phát triển tinh thể bán dẫn
Tất cả các quy trình dùng để nuôi cấy tinh thể bán dẫn đều hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Vùng nhiệt của lò nuôi cấy tinh thể thường được trang bị các bộ phận bằng than chì tinh khiết cao, chịu nhiệt và chống ăn mòn, chẳng hạn như bộ phận gia nhiệt, nồi nấu, xi lanh cách nhiệt, xi lanh dẫn hướng, điện cực, giá đỡ nồi nấu, đai ốc điện cực, v.v.
Chúng tôi có thể sản xuất tất cả các bộ phận bằng than chì của thiết bị sản xuất tinh thể, có thể cung cấp riêng lẻ hoặc theo bộ, hoặc các bộ phận bằng than chì tùy chỉnh với nhiều kích thước khác nhau theo yêu cầu của khách hàng. Kích thước sản phẩm có thể được đo tại chỗ, và hàm lượng tro của sản phẩm hoàn thiện có thể thấp hơn.dưới 5 ppm.
02 Phụ kiện than chì cho quá trình lắng đọng màng bán dẫn
Quá trình epitaxy đề cập đến sự phát triển của một lớp vật liệu đơn tinh thể có cùng cấu trúc mạng tinh thể với chất nền trên chất nền đơn tinh thể. Trong quá trình epitaxy, tấm bán dẫn được đặt trên đĩa than chì. Hiệu suất và chất lượng của đĩa than chì đóng vai trò quan trọng đối với chất lượng của lớp epitaxy trên tấm bán dẫn. Trong lĩnh vực sản xuất epitaxy, cần rất nhiều than chì siêu tinh khiết và chất nền than chì tinh khiết cao với lớp phủ SIC.
Vật liệu nền than chì dùng cho quá trình epitaxy bán dẫn của công ty chúng tôi có phạm vi ứng dụng rộng rãi, phù hợp với hầu hết các thiết bị thông dụng trong ngành, có độ tinh khiết cao, lớp phủ đồng đều, tuổi thọ cao, khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt tốt.
03 Phụ kiện than chì cho cấy ion
Cấy ion là quá trình gia tốc chùm tia plasma của boron, phốt pho và asen đến một năng lượng nhất định, sau đó tiêm vào lớp bề mặt của vật liệu bán dẫn để thay đổi tính chất vật liệu của lớp bề mặt. Các bộ phận của thiết bị cấy ion phải được làm bằng vật liệu có độ tinh khiết cao, khả năng chịu nhiệt, dẫn nhiệt tuyệt vời, ít bị ăn mòn do chùm tia ion và hàm lượng tạp chất thấp. Than chì có độ tinh khiết cao đáp ứng được các yêu cầu ứng dụng và có thể được sử dụng cho ống dẫn tia, các khe hở khác nhau, điện cực, vỏ điện cực, ống dẫn, bộ phận kết thúc chùm tia, v.v. của thiết bị cấy ion.
Chúng tôi không chỉ cung cấp tấm chắn than chì cho các loại máy cấy ion khác nhau, mà còn cung cấp điện cực than chì độ tinh khiết cao và nguồn ion có khả năng chống ăn mòn cao với nhiều thông số kỹ thuật khác nhau. Các model áp dụng: Eaton, Azcelis, Quantum, Varian, Nissin, AMAT, LAM và các thiết bị khác. Ngoài ra, chúng tôi cũng có thể cung cấp các sản phẩm gốm, vonfram, molypden, nhôm và các bộ phận được phủ phù hợp.
04 Vật liệu cách nhiệt than chì và các vật liệu khác
Các vật liệu cách nhiệt được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn bao gồm nỉ cứng graphite, nỉ mềm graphite, lá graphite, giấy graphite và dây graphite.
Tất cả nguyên liệu thô của chúng tôi đều là than chì nhập khẩu, có thể được cắt theo kích thước cụ thể theo yêu cầu của khách hàng hoặc bán nguyên khối.
Khay carbon-carbon được sử dụng làm giá đỡ cho quá trình phủ màng trong sản xuất pin mặt trời silicon đơn tinh thể và silicon đa tinh thể. Nguyên lý hoạt động như sau: đặt chip silicon vào khay CFC và đưa vào ống lò để xử lý quá trình phủ màng.
