CácỐng lò thạch anhlà vật tư tiêu hao cốt lõi trong sản xuất chất bán dẫn, công nghiệp quang điện, xử lý nhiệt vật liệu và nghiên cứu trong phòng thí nghiệm. Chúng được làm bằng silica nóng chảy có độ tinh khiết cao (SiO2) với độ ổn định nhiệt, độ trơ hóa học và độ trong suốt quang học tuyệt vời. Sản phẩm này được thiết kế cho các quy trình nhiệt độ cao (như khuếch tán, oxy hóa, CVD, ủ, v.v.) và có thể thích ứng với nhiều loại lò ống và thiết bị PECVD, được sử dụng rộng rãi trong chế biến wafer, phủ tế bào quang điện, phát triển epitaxial LED và các lĩnh vực có độ chính xác cao khác.
Những ưu điểm cốt lõi của ống thạch anh VET Energy:
-Vật liệu có độ tinh khiết cực cao
Sử dụng cát thạch anh có độ tinh khiết cao 99,99% trở lên, hàm lượng tạp chất (Na, K, Fe, v.v.) <10ppm, để tránh ô nhiễm môi trường quy trình nhạy cảm.
Độ hoàn thiện bề mặt Ra≤0.8μm, giảm độ bám dính của hạt và đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ.
-Khả năng chịu nhiệt độ tuyệt vời
Nhiệt độ làm việc dài hạn: 1200℃ (sử dụng liên tục); nhiệt độ đỉnh ngắn hạn: 1450℃ (≤2 giờ).
Hệ số giãn nở nhiệt thấp (5,5x10-7/℃), khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, có thể chịu được sự tăng giảm nhiệt độ nhanh chóng (≤10℃/phút).
- Kiểm soát kích thước chính xác
Dung sai đường kính trong ±0,5mm, sai số độ thẳng <1mm/m, để đảm bảo khớp chặt với thân lò.
Hỗ trợ tùy chỉnh không theo tiêu chuẩn, phạm vi đường kính trong 20mm-500mm, chiều dài 100mm-3000mm.
- Tính trơ về mặt hóa học và khả năng chống ăn mòn
Chịu được axit mạnh (trừ HF), kiềm mạnh và hầu hết các dung môi hữu cơ, kéo dài tuổi thọ.
Độ kín khí tuyệt vời, tỷ lệ rò rỉ <＜1x10-9Pa.m3/s, thích hợp cho môi trường chân không hoặc khí bảo vệ.
- Dịch vụ tùy chỉnh
Hỗ trợ các lỗ mở, mặt bích, nhiều kênh, cấu trúc định hình và các thiết kế khác để đáp ứng các yêu cầu quy trình đặc biệt.
Có thể mạ sẵn lớp phủ silicon carbide (SiC) để tăng khả năng chống kết tinh.
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ningbo là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào phát triển và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp, các vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, silicon carbide, gốm sứ, xử lý bề mặt như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước và đã phát triển nhiều công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo hiệu suất và chất lượng sản phẩm, đồng thời có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp.
