CáiỐng lò nung thạch anhĐây là vật tư tiêu hao cốt lõi trong sản xuất chất bán dẫn, công nghiệp quang điện, xử lý nhiệt vật liệu và nghiên cứu trong phòng thí nghiệm. Chúng được làm từ silica nung chảy (SiO2) có độ tinh khiết cao với độ ổn định nhiệt, tính trơ hóa học và độ trong suốt quang học tuyệt vời. Sản phẩm này được thiết kế cho các quy trình nhiệt độ cao (như khuếch tán, oxy hóa, CVD, ủ nhiệt, v.v.) và có thể được sử dụng trong nhiều loại lò nung ống và thiết bị PECVD, được sử dụng rộng rãi trong xử lý wafer, phủ tế bào quang điện, tăng trưởng epitaxy LED và các lĩnh vực độ chính xác cao khác.
Ưu điểm cốt lõi của ống thạch anh VET Energy:
-Vật liệu có độ tinh khiết cực cao
Sử dụng cát thạch anh có độ tinh khiết cao từ 99,99% trở lên, hàm lượng tạp chất (Na, K, Fe, v.v.) <10ppm, để tránh gây ô nhiễm môi trường quy trình nhạy cảm.
Độ nhám bề mặt Ra≤0,8μm, giúp giảm sự bám dính của các hạt và đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ.
-Khả năng chịu nhiệt tuyệt vời
Nhiệt độ hoạt động lâu dài: 1200℃ (sử dụng liên tục); nhiệt độ cao nhất trong thời gian ngắn: 1450℃ (≤2 giờ).
Hệ số giãn nở nhiệt thấp (5,5x10-7/℃), khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, có thể chịu được sự tăng giảm nhiệt độ nhanh (≤10℃/phút).
-Kiểm soát kích thước chính xác
Sai số đường kính trong ±0,5mm, sai số độ thẳng <1mm/m, để đảm bảo sự phù hợp chặt chẽ với thân lò.
Hỗ trợ tùy chỉnh phi tiêu chuẩn, đường kính trong từ 20mm-500mm, chiều dài từ 100mm-3000mm.
- Tính trơ về mặt hóa học và khả năng chống ăn mòn
Chống chịu được axit mạnh (trừ HF), kiềm mạnh và hầu hết các dung môi hữu cơ, giúp kéo dài tuổi thọ sử dụng.
Độ kín khí tuyệt vời, tỷ lệ rò rỉ <＜1x10-9Pa.m3/s, thích hợp cho môi trường chân không hoặc khí bảo vệ.
- Dịch vụ tùy chỉnh
Hỗ trợ các lỗ mở, mặt bích, kênh dẫn đa chiều, cấu trúc định hình và các thiết kế khác để đáp ứng các yêu cầu quy trình đặc biệt.
Có thể được mạ trước bằng lớp phủ silicon carbide (SiC) để tăng cường khả năng chống kết tinh.
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng Ningbo VET là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào phát triển và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp. Các vật liệu và công nghệ này bao gồm than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, đã phát triển nhiều công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo hiệu suất và chất lượng sản phẩm, đồng thời có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp.
