Thuyền wafer thạch anhĐây là một công cụ vận chuyển quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, sản xuất pin quang điện và nghiên cứu phát triển vật liệu tiên tiến, được thiết kế để vận chuyển và định vị wafer ổn định trong các quy trình nhiệt độ cao. Sản phẩm này được làm từ silica nung chảy (SiO2) siêu tinh khiết, có khả năng chịu nhiệt, ổn định hóa học và đặc tính ô nhiễm kim loại cực thấp tuyệt vời, phù hợp với lò khuếch tán, lò oxy hóa, PECVD/LPCVD và các thiết bị khác, được sử dụng rộng rãi trong phủ wafer, cấy ion, ủ nhiệt độ cao và các quy trình cốt lõi khác.
Ưu điểm cốt lõi của thuyền thạch anh VET Energy:
- Vật liệu siêu tinh khiết
Độ tinh khiết ≥99,99%: Hàm lượng tạp chất (Na, K, Fe, v.v.) <5ppm, tránh ô nhiễm tấm bán dẫn và đảm bảo năng suất chip.
Lượng kết tủa và hấp phụ thấp: bề mặt được đánh bóng siêu mịn (Ra≤0,4μm) để giảm sự bám dính của các hạt và lượng khí dư. - Độ ổn định nhiệt độ cao
Giới hạn nhiệt độ: Nhiệt độ làm việc lâu dài 1100℃, nhiệt độ đỉnh ngắn hạn 1300℃, không biến dạng, không kết tủa tinh thể.
Hệ số giãn nở nhiệt thấp (5,5x10-7/℃), khả năng chịu sốc nhiệt tuyệt vời, thích ứng với quá trình tăng và giảm nhiệt độ nhanh (ví dụ: ủ nhanh RTP). - Thiết kế cấu trúc chính xác
Độ chính xác khe ±0,1mm: phù hợp với các tấm wafer từ 2” đến 12”, sai số đồng đều khoảng cách <0,05mm, đảm bảo các tấm wafer không bị lệch.
Khả năng chịu tải cao: Tải trọng tối đa 50 tấm wafer (tính theo wafer 12 inch) trong một khay duy nhất, hỗ trợ vận chuyển ổn định các wafer mỏng (≥100um). - Tính trơ về mặt hóa học
Khả năng chống ăn mòn: Chống ăn mòn bởi axit (trừ HF), kiềm và dung môi hữu cơ, tương thích với quy trình làm sạch CMP.
Độ kín khí tuyệt vời: Tốc độ rò rỉ <5x10-10 Pa.m3/s, thích hợp cho môi trường chân không và khí bảo vệ. - Tuổi thọ cao và khả năng bảo trì tốt
Tuổi thọ ≥ 5000 chu kỳ (trong điều kiện làm việc bình thường), bề mặt có thể được làm sạch và sử dụng nhiều lần, giúp giảm chi phí tổng thể.
Thiết kế dạng mô-đun: hỗ trợ thay thế từng phần (ví dụ: một răng riêng lẻ của thuyền), giảm thời gian ngừng hoạt động.
Chúng tôi cung cấp cả bề mặt trong suốt và bề mặt mờ theo yêu cầu của khách hàng:
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng Ningbo VET là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và kinh doanh các vật liệu tiên tiến cao cấp. Các vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm này được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, đã phát triển nhiều công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo hiệu suất và chất lượng sản phẩm, đồng thời có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp.
