Gẹ́gẹ́ bí irú ohun èlò semiconductor tuntun kan, SiC ti di ohun èlò semiconductor pàtàkì jùlọ fún ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ optoelectronic oní-ìgbì kukuru, àwọn ẹ̀rọ iwọn otutu gíga, àwọn ẹ̀rọ resistance ìtànṣán àti àwọn ẹ̀rọ itanna alágbára gíga/gíga nítorí àwọn ohun ìní ti ara àti kẹ́míkà tó dára àti àwọn ohun ìní iná mànàmáná rẹ̀. Pàápàá jùlọ nígbà tí a bá lò ó lábẹ́ àwọn ipò líle koko àti líle, àwọn ànímọ́ àwọn ẹ̀rọ SiC ju ti àwọn ẹ̀rọ Si àti àwọn ẹ̀rọ GaA lọ. Nítorí náà, àwọn ẹ̀rọ SiC àti onírúurú àwọn sensọ̀ ti di ọ̀kan lára àwọn ẹ̀rọ pàtàkì díẹ̀díẹ̀, wọ́n ń kó ipa pàtàkì sí i.
Àwọn ẹ̀rọ àti àwọn ẹ̀rọ SiC ti ń dàgbàsókè kíákíá láti ọdún 1980, pàápàá jùlọ láti ọdún 1989 nígbà tí wafer substrate SiC àkọ́kọ́ wọ ọjà. Ní àwọn agbègbè kan, bíi àwọn diode tí ń yọ ìmọ́lẹ̀ jáde, àwọn ẹ̀rọ agbára gíga àti àwọn ẹ̀rọ foliteji gíga, àwọn ẹ̀rọ SiC ni a ti ń lò ní ọjà. Ìdàgbàsókè náà yára kánkán. Lẹ́yìn ọdún mẹ́wàá tí a ti ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀, ìlànà ẹ̀rọ SiC ti lè ṣe àwọn ẹ̀rọ ìṣòwò. Ọ̀pọ̀ ilé-iṣẹ́ tí Cree ṣojú fún ti bẹ̀rẹ̀ sí ní ta àwọn ọjà ìṣòwò ti àwọn ẹ̀rọ SiC. Àwọn ilé-iṣẹ́ ìwádìí àti àwọn yunifásítì ti ṣe àwọn àṣeyọrí tí ó tẹ́ni lọ́rùn nínú ìdàgbàsókè ohun èlò SiC àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ṣíṣe ẹ̀rọ. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ohun èlò SiC ní àwọn ànímọ́ ti ara àti kẹ́míkà tí ó ga jùlọ, àti pé ìmọ̀ ẹ̀rọ SiC náà ti dàgbàsókè, ṣùgbọ́n iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ SiC àti àwọn ẹ̀rọ kò dára. Yàtọ̀ sí ohun èlò àti ilana ẹ̀rọ SiC nílò láti máa mú kí ó dára síi nígbà gbogbo. A gbọ́dọ̀ sapá púpọ̀ sí i lórí bí a ṣe lè lo àǹfààní àwọn ohun èlò SiC nípa ṣíṣe àtúnṣe ìṣètò ẹ̀rọ S5C tàbí dídámọ̀ràn ìṣètò ẹ̀rọ tuntun.
Lọ́wọ́lọ́wọ́ báyìí. Ìwádìí àwọn ẹ̀rọ SiC dá lórí àwọn ẹ̀rọ aláìlẹ́gbẹ́. Fún irú ẹ̀rọ kọ̀ọ̀kan, ìwádìí àkọ́kọ́ ni láti gbé ẹ̀rọ Si tàbí GaAs tó báramu sí SiC láìsí ṣíṣe àtúnṣe sí ẹ̀rọ náà. Níwọ́n ìgbà tí ìpele oxide intrinsic ti SiC bákan náà pẹ̀lú Si, èyí tí í ṣe SiO2, ó túmọ̀ sí wípé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ẹ̀rọ Si, pàápàá jùlọ ẹ̀rọ m-pa, ni a lè ṣe lórí SiC. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó jẹ́ ìyípadà tí ó rọrùn, díẹ̀ lára àwọn ẹ̀rọ tí a rí ti ní àwọn àbájáde tí ó tẹ́ni lọ́rùn, àti pé díẹ̀ nínú àwọn ẹ̀rọ náà ti wọ inú ọjà ilé iṣẹ́.
Àwọn ẹ̀rọ SiC optoelectronic, pàápàá jùlọ àwọn diode tí ń tú iná bulu (BLU-ray leds), ti wọ ọjà ní ìbẹ̀rẹ̀ ọdún 1990, wọ́n sì jẹ́ àwọn ẹ̀rọ SiC àkọ́kọ́ tí a ṣe ní ibi-pupọ. Àwọn diode SiC Schottky tó lágbára, àwọn transistors agbára SiC RF, SiC MOSFETs àti mesFETs náà wà ní ọjà. Dájúdájú, iṣẹ́ gbogbo àwọn ọjà SiC wọ̀nyí kò fi bẹ́ẹ̀ jẹ́ àwọn ànímọ́ tó dára jùlọ ti àwọn ohun èlò SiC, àti pé iṣẹ́ àti ìṣe tó lágbára ti àwọn ẹ̀rọ SiC ṣì nílò láti ṣe ìwádìí àti láti ṣe àgbékalẹ̀ wọn. Irú àwọn ìyípadà tó rọrùn bẹ́ẹ̀ kò sábà lè lo àǹfààní àwọn ohun èlò SiC ní kíkún. Kódà ní agbègbè àwọn àǹfààní díẹ̀ ti àwọn ẹ̀rọ SiC. Díẹ̀ lára àwọn ẹ̀rọ SiC tí a ṣe ní àkọ́kọ́ kò lè bá iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ Si tàbí CaAs mu.
Láti lè yí àwọn àǹfààní àwọn ànímọ́ ohun èlò SiC padà sí àwọn àǹfààní àwọn ẹ̀rọ SiC, a ń kẹ́kọ̀ọ́ lọ́wọ́lọ́wọ́ bí a ṣe lè mú kí iṣẹ́ ṣíṣe ẹ̀rọ àti ètò ẹ̀rọ sunwọ̀n síi tàbí kí a ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ètò tuntun àti àwọn ìlànà tuntun láti mú iṣẹ́ àti iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ SiC sunwọ̀n síi.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-23-2022