Salaku jinis bahan semikonduktor anyar, SiC parantos janten bahan semikonduktor anu paling penting pikeun ngadamel alat optoéléktronik panjang gelombang pondok, alat suhu luhur, alat tahan radiasi sareng alat éléktronik daya luhur/daya luhur kusabab sipat fisik sareng kimia sareng sipat listrikna anu saé pisan. Utamana nalika diterapkeun dina kaayaan anu ekstrim sareng kasar, karakteristik alat SiC jauh ngaleuwihan alat Si sareng alat GaAs. Ku alatan éta, alat SiC sareng rupa-rupa sénsor laun-laun janten salah sahiji alat konci, anu maénkeun peran anu beuki penting.
Alat sareng sirkuit SiC parantos mekar gancang ti saprak taun 1980-an, khususna ti saprak taun 1989 nalika wafer substrat SiC anu munggaran asup ka pasar. Dina sababaraha widang, sapertos dioda pemancar cahaya, alat kakuatan tinggi frékuénsi luhur sareng tegangan tinggi, alat SiC parantos seueur dianggo sacara komersil. Pangwangunanna gancang. Saatos ampir 10 taun pamekaran, prosés alat SiC parantos tiasa ngadamel alat komérsial. Sajumlah perusahaan anu diwakilan ku Cree parantos mimiti nawiskeun produk komérsial alat SiC. Lembaga panalungtikan sareng universitas domestik ogé parantos ngadamel prestasi anu nyugemakeun dina kamekaran bahan SiC sareng téknologi manufaktur alat. Sanaos bahan SiC gaduh sipat fisik sareng kimia anu unggul pisan, sareng téknologi alat SiC ogé parantos dewasa, tapi kinerja alat sareng sirkuit SiC henteu langkung unggul. Salian ti bahan SiC sareng prosés alat kedah terus ditingkatkeun. Langkung seueur usaha kedah dilakukeun ngeunaan kumaha ngamangpaatkeun bahan SiC ku cara ngaoptimalkeun struktur alat S5C atanapi ngusulkeun struktur alat énggal.
Ayeuna. Panalungtikan ngeunaan alat SiC utamina museur kana alat diskrit. Pikeun unggal jinis struktur alat, panalungtikan awal nyaéta ngan saukur mindahkeun struktur alat Si atanapi GaAs anu saluyu kana SiC tanpa ngaoptimalkeun struktur alat. Kusabab lapisan oksida intrinsik SiC sami sareng Si, nyaéta SiO2, éta hartosna kalolobaan alat Si, khususna alat m-pa, tiasa diproduksi dina SiC. Sanaos ngan ukur transplantasi saderhana, sababaraha alat anu diala parantos ngahontal hasil anu nyugemakeun, sareng sababaraha alat parantos lebet ka pasar pabrik.
Alat optoelektronik SiC, khususna dioda pancar cahaya biru (LED sinar-BLU), parantos lebet ka pasar dina awal taun 1990-an sareng mangrupikeun alat SiC anu diproduksi sacara massal anu munggaran. Dioda SiC Schottky tegangan tinggi, transistor daya RF SiC, MOSFET SiC sareng mesFET ogé sayogi sacara komersil. Tangtosna, kinerja sadaya produk SiC ieu jauh tina maénkeun karakteristik super bahan SiC, sareng fungsi sareng kinerja alat SiC anu langkung kuat masih kedah ditalungtik sareng dikembangkeun. Transplantasi saderhana sapertos kitu sering henteu tiasa ngamangpaatkeun kaunggulan bahan SiC sacara pinuh. Bahkan dina widang sababaraha kaunggulan alat SiC. Sababaraha alat SiC anu mimitina diproduksi henteu tiasa cocog sareng kinerja alat Si atanapi CaAs anu saluyu.
Dina raraga ngarobah kaunggulan karakteristik bahan SiC kana kaunggulan alat SiC, ayeuna kami nuju nalungtik kumaha ngaoptimalkeun prosés manufaktur alat sareng struktur alat atanapi ngembangkeun struktur énggal sareng prosés énggal pikeun ningkatkeun fungsi sareng kinerja alat SiC.
Waktos posting: 23 Agustus 2022