Vaixell de galeta de quarsés una eina especialitzada utilitzada en el procés de fabricació de semiconductors, principalment per transportar oblies de silici en entorns d'alta temperatura. A causa de la seva excel·lent resistència a altes temperatures i estabilitat química, les barques d'oblies de quars s'utilitzen àmpliament en molts requisits de processos d'alta precisió i alta tecnologia. Normalment estan fetes de material de quars d'alta puresa (SiO2), que no només té una bona estabilitat tèrmica a altes temperatures, sinó que també manté l'estabilitat química, evitant que els gasos o productes químics reactius contaminin l'oblia.
En el procés de fabricació de semiconductors, especialment en fotolitografia, deposició de pel·lícules primes, gravat i altres processos, les oblies s'han de processar a altes temperatures i sovint requereixen reaccions en atmosferes especials. Durant aquest procés, la barca d'oblies, com a portador, pot suportar i transportar les oblies de manera estable, garantint que la superfície de l'oblia no estigui contaminada i minimitzant al màxim els danys.
Aplicació
1. Fabricació de semiconductors
La indústria dels semiconductors és el principal camp d'aplicació de les barres de quars per a oblies. Les barres de quars s'utilitzen sovint en la fabricació de circuits integrats (CI), incloent-hi la deposició de pel·lícules primes (com la deposició química de vapor i la deposició física de vapor), així com processos d'alta temperatura com l'oxidació i el recuit. Durant aquests processos, la barrera de quars és responsable de transportar uniformement les oblies al reactor i d'assegurar-se que s'escalfin uniformement durant tot el procés.
2. Deposició química de vapor (CVD)
En el procés CVD, les barques de quars per a oblies poden transportar oblies de manera estable a altes temperatures per garantir la uniformitat dels dipòsits i reduir la contaminació química. A causa de les propietats del material de la barca de quars, pot evitar eficaçment la interferència de les reaccions químiques durant el procés CVD, garantint així la qualitat de les oblies.
3. Procés de recuit
El recuit és una operació habitual en el procés de fabricació de semiconductors, que consisteix a escalfar la làmina per alliberar tensions internes o reparar certs defectes. En aquest procés s'utilitzen barques de quars per transportar les làmines i garantir que rebin un tractament tèrmic uniforme al forn.
4. Creixement de cristalls
En la producció d'alguns materials avançats, les barquetes de quars també es poden utilitzar en processos de creixement de cristalls, especialment en el creixement de monocristalls de silici i altres materials semiconductors. En aquestes aplicacions, la resistència a altes temperatures i l'estabilitat química de les barquetes de quars són de vital importància.
El disseny de les bombolles de quars ha de complir diversos requisits:
- Estabilitat a altes temperatures:El punt de fusió del quars és superior a 1600 °C, cosa que li permet mantenir l'estabilitat física i química en ambients d'alta temperatura.
- Resistència al xoc tèrmic:El quars té una excel·lent resistència als xocs tèrmics, s'adapta ràpidament als canvis de temperatura i no és propens a esquerdar-se.
- l Sense contaminació:El quars és un material molt pur que pot evitar la contaminació de la superfície de la làmina. En el procés de fabricació de semiconductors, qualsevol contaminació menor pot provocar defectes del producte, per la qual cosa la selecció de materials de quars és de vital importància.
Com triar una barca de galeta de quars?
1. Nombre i mida de les oblies
Els diferents processos de producció tenen requisits diferents per a les plaques de formigó. Generalment, la mida de la plaque de formigó, el nombre de ranures, etc. s'han de determinar en funció de la mida i la quantitat de les plaques que s'han de processar. Massa plaques poden afectar la distribució i la uniformitat de la calor, per la qual cosa cal tenir-ne en compte les necessitats durant el disseny i la selecció.
2. Material de quars d'alta puresa
A causa dels requisits de neteja extremadament elevats en el procés de fabricació de semiconductors, la selecció de materials de quars d'alta puresa és de vital importància. El quars de menor puresa pot contaminar les oblies, cosa que provoca una disminució de la qualitat del producte.
3. Resistència al xoc tèrmic
En alguns processos, les unitats de fabricació de plaques d'oblies necessiten canviar freqüentment entre diferents entorns de temperatura, per la qual cosa la resistència al xoc tèrmic és de vital importància. El material de quars en si té una bona resistència al xoc tèrmic, però la resistència al xoc tèrmic de les unitats de fabricació de plaques d'oblies de quars produïdes per diferents fabricants pot variar.
4. Resistència a la corrosió i estabilitat química
Els reactius químics utilitzats en la fabricació de semiconductors sovint són altament corrosius, per la qual cosa les plaques de quars han de tenir una alta estabilitat química per evitar reaccions amb aquestes substàncies químiques.
5. Cost i vida útil
Com que els portadors d'oblies de quars operen en entorns d'alta temperatura, sovint experimenten desgast físic. Per tant, la seva vida útil també és un factor que cal tenir en compte. L'elecció d'un portador d'oblies rendible pot reduir eficaçment els costos operatius a llarg termini.
Com mantenir una barca de gotes de quars?
1. Neteja
Durant el procés d'ús, les unitats de quars per a oblícies poden acumular algunes substàncies químiques o partícules fines, que poden afectar la qualitat de les oblícies. Per tant, és molt important netejar les unitats de quars regularment. Els mètodes de neteja habituals inclouen l'ús de netejadors per ultrasons, rentat amb àcid i solucions de descontaminació, etc.
2. Comproveu si hi ha esquerdes i danys
A causa del fet que les unitats de quars estan sotmeses a temperatures i pressions mecàniques extremadament altes, es poden produir esquerdes o desgast després d'un ús prolongat. Inspeccioneu regularment la integritat estructural de la unitat de quars i substituïu els components danyats de manera oportuna per evitar problemes durant el procés de producció.
3. Evitar el sobreescalfament
Tot i que el quars té una resistència al xoc tèrmic relativament bona, encara es pot danyar en condicions extremes. Per tant, durant el funcionament, cal parar atenció a evitar temperatures excessivament altes i xocs tèrmics.
Data de publicació: 02-09-2025