குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகு என்றால் என்ன?

குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகுறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்பாட்டில், குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலைச் சூழல்களில் சிலிக்கான் வேஃபர்களைக் கொண்டு செல்வதற்கும் எடுத்துச் செல்வதற்கும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு வாய்ந்த கருவி குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகு ஆகும். அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை காரணமாக, பல உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் தொழில்நுட்ப செயல்முறைத் தேவைகளில் குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இது பொதுவாக உயர் தூய்மை கொண்ட குவார்ட்ஸ் பொருளால் (SiO2) ஆனது. இது உயர் வெப்பநிலைகளில் நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருப்பது மட்டுமல்லாமல், வேதியியல் நிலைத்தன்மையையும் பராமரித்து, வினைபுரியும் வாயுக்கள் அல்லது வேதிப்பொருட்கள் வேஃபரை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்பாட்டில், குறிப்பாக ஒளிக்கல்லச்சு, மென்படலப் படிவு, அரித்தல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் தகடுகளை உயர் வெப்பநிலையில் பதப்படுத்த வேண்டியுள்ளது, மேலும் அவற்றுக்கு பெரும்பாலும் சிறப்புச் சூழல்களில் வினைகள் தேவைப்படுகின்றன. இந்தச் செயல்பாட்டின் போது, ​​சிலிக்கான் தகடு தாங்கியானது, சிலிக்கான் தகடுகளை நிலையாகத் தாங்கிச் செல்கிறது. இதன்மூலம், சிலிக்கான் தகட்டின் மேற்பரப்பு மாசுபடாமல் இருப்பது உறுதி செய்யப்படுவதோடு, சேதமும் முடிந்தவரை குறைக்கப்படுகிறது.

விண்ணப்பம்

1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
குறைக்கடத்தித் தொழில் என்பது குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகளின் முக்கியப் பயன்பாட்டுத் துறையாகும். வேஃபர் படகுகள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் (IC) உற்பத்தியில், குறிப்பாக மெல்லிய படலப் படிவு (வேதி ஆவிப் படிவு மற்றும் இயற்பியல் ஆவிப் படிவு போன்றவை) மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம், பதப்படுத்துதல் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்தச் செயல்முறைகளின் போது, ​​உலைக்குள் வேஃபர்களைச் சீராகக் கொண்டு செல்வதற்கும், செயல்முறை முழுவதும் அவை சமமாக வெப்பப்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்வதற்கும் வேஃபர் படகு பொறுப்பாகும்.
2. இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD)
CVD செயல்முறையில், குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகள் அதிக வெப்பநிலையில் வேஃபர்களை நிலையாகக் கொண்டு செல்வதன் மூலம், படிவுகளின் சீரான தன்மையை உறுதிசெய்து, இரசாயன மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன. வேஃபர் படகின் மூலப்பொருள் பண்புகளின் காரணமாக, CVD செயல்முறையின் போது ஏற்படும் இரசாயன எதிர்வினைகளின் குறுக்கீட்டைத் திறம்படத் தவிர்க்கிறது, இதன் மூலம் வேஃபர்களின் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
3. பதப்படுத்தும் செயல்முறை
குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையில் பதப்படுத்துதல் என்பது ஒரு பொதுவான செயல்பாடாகும். இதில், உள் அழுத்தத்தை விடுவிக்கவும் அல்லது சில குறைபாடுகளைச் சரிசெய்யவும் சிலிக்கான் தகடு சூடுபடுத்தப்படுகிறது. இந்தச் செயல்முறையில், சிலிக்கான் தகடுகளை எடுத்துச் செல்லவும், உலையில் அவை சீரான வெப்பச் சிகிச்சையைப் பெறுவதை உறுதி செய்யவும் குவார்ட்ஸ் சிலிக்கான் தகடு படகுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
4. படிக வளர்ச்சி
சில மேம்பட்ட பொருட்களின் உற்பத்தியில், படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளிலும், குறிப்பாக சிலிக்கான் ஒற்றைப் படிகங்கள் மற்றும் பிற குறைக்கடத்திப் பொருட்களின் வளர்ச்சியிலும் குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகள் பயன்படுத்தப்படலாம். இந்தப் பயன்பாடுகளில், குவார்ட்ஸ் படகுகளின் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவை மிக முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை.

குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகளின் வடிவமைப்பு பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்:

• உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை:குவார்ட்ஸ் பொருளின் உருகுநிலை 1600°C-க்கு மேல் இருப்பதால், அது உயர் வெப்பநிலைச் சூழல்களிலும் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்க உதவுகிறது.
• வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத்திறன்:குவார்ட்ஸ் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு விரைவாகத் தகவமைத்துக் கொள்ளும், மேலும் எளிதில் விரிசல் அடையாது.
• மாசு இல்லாதது:குவார்ட்ஸ் என்பது வேஃபர் மேற்பரப்பு மாசுபடுவதைத் தடுக்கக்கூடிய மிகவும் தூய்மையான ஒரு பொருளாகும். குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்பாட்டில், எந்தவொரு சிறிய மாசுபடுதலும் தயாரிப்புக் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், எனவே குவார்ட்ஸ் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது.

குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகை எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது?

1. வேஃபர்களின் எண்ணிக்கை மற்றும் அளவு
வெவ்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு வேஃபர் போட்களுக்கான தேவைகள் வேறுபடுகின்றன. பொதுவாக, பதப்படுத்தப்பட வேண்டிய வேஃபர்களின் அளவு மற்றும் எண்ணிக்கையைப் பொறுத்து, வேஃபர் போட்டின் அளவு, ஸ்லாட்டுகளின் எண்ணிக்கை போன்றவை தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும். அதிகப்படியான வேஃபர்கள் வெப்பப் பரவல் மற்றும் சீரான தன்மையைப் பாதிக்கக்கூடும், எனவே வடிவமைப்பு மற்றும் தேர்வின் போது துல்லியமான பரிசீலனை தேவைப்படுகிறது.
2. உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருள்
குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறையில் மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகள் இருப்பதால், உயர் தூய்மை கொண்ட குவார்ட்ஸ் பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது. குறைந்த தூய்மை கொண்ட குவார்ட்ஸ், வேஃபர்களை மாசுபடுத்தி, உற்பத்திப் பொருளின் தரத்தில் சரிவுக்கு வழிவகுக்கக்கூடும்.
3. வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
சில செயல்முறைகளில், வேஃபர் படகுகள் வெவ்வேறு வெப்பநிலைச் சூழல்களுக்கு அடிக்கடி மாற வேண்டியிருப்பதால், வெப்ப அதிர்ச்சித் தடுப்புத்திறன் மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்ததாகிறது. குவார்ட்ஸ் பொருளுக்கே நல்ல வெப்ப அதிர்ச்சித் தடுப்புத்திறன் உள்ளது, ஆனால் வெவ்வேறு உற்பத்தியாளர்களால் தயாரிக்கப்படும் குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகளின் வெப்ப அதிர்ச்சித் தடுப்புத்திறன் மாறுபடலாம்.
4. அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வேதிப் பொருள்கள் பெரும்பாலும் அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை, எனவே இந்த வேதிப் பொருள்களுடன் வினைபுரிவதைத் தவிர்க்க, குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகள் உயர் வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
5. செலவு மற்றும் ஆயுட்காலம்
குவார்ட்ஸ் வேஃபர் கேரியர்கள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் இயங்குவதால், அவை அடிக்கடி பௌதீகத் தேய்மானத்திற்கு உள்ளாகின்றன. எனவே, அவற்றின் சேவைக்காலமும் கருத்தில் கொள்ளப்பட வேண்டிய ஒரு காரணியாகும். செலவு குறைந்த வேஃபர் போட்டைத் தேர்ந்தெடுப்பது, நீண்ட கால இயக்கச் செலவுகளைத் திறம்படக் குறைக்கும்.

 குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகை எவ்வாறு பராமரிப்பது?

1. சுத்தம் செய்யவும்
பயன்பாட்டுச் செயல்பாட்டின் போது, ​​குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகளில் சில இரசாயனப் பொருட்கள் அல்லது நுண்ணிய துகள்கள் சேரக்கூடும், இது வேஃபர்களின் தரத்தைப் பாதிக்கலாம். எனவே, வேஃபர் படகைத் தவறாமல் சுத்தம் செய்வது மிகவும் முக்கியம். பொதுவான சுத்தம் செய்யும் முறைகளில் மீயொலி சுத்திகரிப்பான்களைப் பயன்படுத்துதல், அமிலக் கழுவல் மற்றும் கிருமி நீக்கக் கரைசல்கள் போன்றவை அடங்கும்.
2. விரிசல்கள் மற்றும் சேதங்கள் உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும்.
குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகள் மிக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு உட்படுவதால், நீண்ட காலப் பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு விரிசல்கள் அல்லது தேய்மானம் ஏற்படலாம். உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது சிக்கல்களைத் தவிர்ப்பதற்காக, வேஃபர் படகின் கட்டமைப்பு உறுதித்தன்மையைத் தவறாமல் பரிசோதித்து, சேதமடைந்த பாகங்களை உரிய நேரத்தில் மாற்றவும்.
3. அதிக வெப்பமாவதைத் தடுக்கவும்
குவார்ட்ஸிற்கு ஒப்பீட்டளவில் நல்ல வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் திறன் இருந்தாலும், சில தீவிரமான சூழ்நிலைகளில் அது சேதமடையக்கூடும். எனவே, அதைப் பயன்படுத்தும்போது, ​​அதிகப்படியான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சியைத் தவிர்ப்பதில் கவனம் செலுத்த வேண்டியது அவசியம்.