ເຮືອ Quartz Wafer ແມ່ນຫຍັງ?

ເຮືອເວເຟີ Quartzເປັນເຄື່ອງມືພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສຳລັບການແບກຫາບ ແລະ ຂົນສົ່ງແຜ່ນຊິລິໂຄນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ, ເຮືອແຜ່ນ quartz ຈຶ່ງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີສູງຫຼາຍຢ່າງ. ມັນມັກຈະເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SiO2), ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີໃນອຸນຫະພູມສູງເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ ຫຼື ສານເຄມີປົນເປື້ອນແຜ່ນ.
ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດດ້ວຍແສງ, ການວາງຟິມບາງ, ການແກະສະຫຼັກ ແລະ ຂະບວນການອື່ນໆ, ແຜ່ນເວເຟີຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ມັກຕ້ອງການປະຕິກິລິຍາໃນບັນຍາກາດພິເສດ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການນີ້, ເຮືອເວເຟີ, ໃນຖານະເປັນຕົວບັນທຸກ, ສາມາດຮອງຮັບ ແລະ ຂົນສົ່ງແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຢ່າງໝັ້ນຄົງ, ຮັບປະກັນວ່າໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ.

ແອັບພລິເຄຊັນ

1. ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ
ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນຂົງເຂດການນຳໃຊ້ຫຼັກຂອງເຮືອເວເຟີ quartz. ເຮືອເວເຟີມັກຖືກນຳໃຊ້ໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ (IC), ລວມທັງການວາງຟິມບາງ (ເຊັ່ນ: ການວາງໄອນ້ຳເຄມີ ແລະ ການວາງໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບ) ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເຊັ່ນ: ການຜຸພັງ ແລະ ການອົບແຫ້ງ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ເຮືອເວເຟີມີໜ້າທີ່ຂົນສົ່ງເວເຟີໃນເຕົາປະຕິກອນຢ່າງເປັນເອກະພາບ ແລະ ຮັບປະກັນວ່າພວກມັນໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນຢ່າງສະເໝີພາບຕະຫຼອດຂະບວນການ.
2. ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD)
ໃນຂະບວນການ CVD, ເຮືອເວເຟີ quartz ສາມາດຂົນສົ່ງເວເຟີໄດ້ຢ່າງໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງເງິນຝາກ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນທາງເຄມີ. ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸຂອງເຮືອເວເຟີ, ມັນສາມາດຫຼີກລ່ຽງການແຊກແຊງຂອງປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ CVD ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງເວເຟີ.
3. ຂະບວນການຫລອມໂລຫະ
ການຫົດຕົວເປັນການດໍາເນີນງານທົ່ວໄປໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ແຜ່ນເວເຟີເພື່ອປ່ອຍຄວາມກົດດັນພາຍໃນ ຫຼື ສ້ອມແປງຂໍ້ບົກຜ່ອງບາງຢ່າງ. ເຮືອແຜ່ນເວເຟີ Quartz ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການນີ້ເພື່ອຂົນສົ່ງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຮັບປະກັນວ່າພວກມັນໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນຢ່າງເປັນເອກະພາບໃນເຕົາອົບ.
4. ການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ
ໃນການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າບາງຢ່າງ, ເຮືອແຜ່ນ quartz ຍັງສາມາດນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ໂດຍສະເພາະໃນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຊິລິໂຄນດ່ຽວ ແລະ ວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳອື່ນໆ. ໃນການນຳໃຊ້ເຫຼົ່ານີ້, ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງເຮືອ quartz ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ.

ການອອກແບບເຮືອ wafer quartz ຕ້ອງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຫຼາຍຢ່າງ:

• ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມສູງ:ຈຸດລະລາຍຂອງວັດສະດຸ quartz ແມ່ນສູງກວ່າ 1600 ° C, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ມັນສາມາດຮັກສາສະຖຽນລະພາບທາງດ້ານຮ່າງກາຍ ແລະ ເຄມີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
• ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ:ຫີນ Quartz ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໄດ້ໄວ, ແລະບໍ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະແຕກ.
• ບໍ່ມີມົນລະພິດ:Quartz ເປັນວັດສະດຸທີ່ບໍລິສຸດຫຼາຍທີ່ສາມາດປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີໄດ້. ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການປົນເປື້ອນເລັກນ້ອຍສາມາດນຳໄປສູ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ, ສະນັ້ນການເລືອກວັດສະດຸ quartz ຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ.

ວິທີການເລືອກເຮືອ Wafer Quartz?

1. ຈຳນວນ ແລະ ຂະໜາດຂອງແຜ່ນເວເຟີ
ຂະບວນການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນສຳລັບເຮືອເວເຟີ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ຂະໜາດຂອງເຮືອເວເຟີ, ຈຳນວນຊ່ອງ, ແລະອື່ນໆ ຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ກຳນົດໂດຍອີງໃສ່ຂະໜາດ ແລະ ປະລິມານຂອງເວເຟີທີ່ຈະປຸງແຕ່ງ. ການໃຊ້ເວເຟີຫຼາຍເກີນໄປອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ສະນັ້ນ ການພິຈາລະນາຢ່າງລະອຽດແມ່ນຈຳເປັນໃນລະຫວ່າງການອອກແບບ ແລະ ການຄັດເລືອກ.
2. ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ
ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດທີ່ສູງຫຼາຍໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ການເລືອກວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດຕ່ຳອາດຈະປົນເປື້ອນແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການຫຼຸດລົງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.
3. ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ
ໃນບາງຂະບວນການ, ເຮືອແຜ່ນຈຳເປັນຕ້ອງສະຫຼັບລະຫວ່າງສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນເລື້ອຍໆ, ສະນັ້ນຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ. ວັດສະດຸ Quartz ເອງມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ແຕ່ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນຂອງເຮືອແຜ່ນ quartz ທີ່ຜະລິດໂດຍຜູ້ຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນອາດແຕກຕ່າງກັນ.
4. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ
ສານເຄມີທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳມັກຈະມີການກັດກ່ອນສູງ, ສະນັ້ນເຮືອເວເຟີ quartz ຈຳເປັນຕ້ອງມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີສູງເພື່ອຫຼີກລ່ຽງປະຕິກິລິຍາກັບສານເຄມີເຫຼົ່ານີ້.
5. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານ
ເນື່ອງຈາກເຮືອເວເຟີ quartz ເຮັດວຽກຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ພວກມັນມັກຈະປະສົບກັບການສວມໃສ່ທາງກາຍະພາບ. ດັ່ງນັ້ນ, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງພວກມັນຍັງເປັນປັດໄຈໜຶ່ງທີ່ຕ້ອງໄດ້ພິຈາລະນາ. ການເລືອກເຮືອເວເຟີທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານໃນໄລຍະຍາວໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

 ວິທີການຮັກສາເຮືອ Wafer Quartz?

1. ເຮັດຄວາມສະອາດ
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການນຳໃຊ້, ເຮືອເວເຟີ quartz ອາດຈະສະສົມສານເຄມີ ຫຼື ອະນຸພາກລະອຽດບາງຊະນິດ, ເຊິ່ງອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງເວເຟີ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍທີ່ຈະຕ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດເຮືອເວເຟີເປັນປະຈຳ. ວິທີການທຳຄວາມສະອາດທົ່ວໄປລວມມີການໃຊ້ເຄື່ອງທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ ultrasonic, ການລ້າງດ້ວຍກົດ, ແລະ ນ້ຳຢາກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະອື່ນໆ.
2. ກວດສອບຮອຍແຕກ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍ
ເນື່ອງຈາກຄວາມຈິງທີ່ວ່າເຮືອເວເຟີ quartz ມັກຈະຕ້ອງທົນກັບອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກສູງຫຼາຍ, ອາດຈະເກີດຮອຍແຕກ ຫຼື ການສວມໃສ່ຫຼັງຈາກການນຳໃຊ້ເປັນເວລາດົນ. ໃຫ້ກວດກາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງເຮືອເວເຟີເປັນປະຈຳ ແລະ ປ່ຽນແທນອົງປະກອບທີ່ເສຍຫາຍໃຫ້ທັນເວລາເພື່ອຫຼີກເວັ້ນບັນຫາໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ.
3. ປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນໄປ
ເຖິງແມ່ນວ່າຫີນ Quartz ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີພໍສົມຄວນ, ແຕ່ມັນອາດຈະຍັງໄດ້ຮັບຄວາມເສຍຫາຍພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮ້າຍແຮງບາງຢ່າງ. ດັ່ງນັ້ນ, ເມື່ອປະຕິບັດງານ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເອົາໃຈໃສ່ກັບການຫຼີກລ່ຽງອຸນຫະພູມສູງເກີນໄປ ແລະ ອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ.