Кварц пластиналы көймәярымүткәргечләр җитештерү процессында кулланыла торган махсуслаштырылган корал, нигездә, югары температуралы мохиттә кремний пластиналарын йөртү һәм ташу өчен. Югары температурага чыдамлыгы һәм химик тотрыклылыгы аркасында, кварц пластиналы көймәләр күп кенә югары төгәллекле һәм югары технологияле процесс таләпләрендә киң кулланыла. Гадәттә ул югары чисталыклы кварц материалыннан (SiO2) ясала, ул югары температурада яхшы җылылык тотрыклылыгына гына түгел, ә химик тотрыклылыкны да саклый, реактив газлар яки химик матдәләр пластинаны пычратуны булдырмый.
Ярымүткәргечләр җитештерү процессында, бигрәк тә фотолитография, юка пленка урнаштыру, гравюра ясау һәм башка процессларда, пластиналарны югары температурада эшкәртергә кирәк һәм еш кына махсус атмосферада реакцияләр таләп ителә. Бу процесс барышында пластина көймәсе, ташучы буларак, пластиналарны тотрыклы тотып тора һәм ташый ала, пластина өслегенең пычранмавын тәэмин итә һәм зыянны максималь дәрәҗәдә киметә.
Кушымта
1. Ярымүткәргечләр җитештерү
Ярымүткәргечләр сәнәгате кварц пластиналы көймәләрнең төп куллану өлкәсе булып тора. Вафли көймәләре еш кына интеграль микросхемалар (ИК) җитештерүдә кулланыла, шул исәптән юка пленкалы чүпләү (мәсәлән, химик пар чүпләү һәм физик пар чүпләү), шулай ук оксидлашу һәм җылыту кебек югары температуралы процессларда. Бу процесслар вакытында пластиналы көймә пластиналарны реакторда тигез ташу һәм аларның процесс дәвамында тигез җылынуын тәэмин итү өчен җаваплы.
2. Химик пар утырмасы (ХПК)
CVD процессында кварц пластиналы көймәләр пластиналарны югары температурада тотрыклы рәвештә ташый ала, бу утырмаларның бердәмлеген тәэмин итә һәм химик пычрануны киметә. Вафли көймәсенең материал үзенчәлекләре аркасында, ул CVD процессында химик реакцияләрнең комачаулавыннан нәтиҗәле рәвештә котыла ала, шуның белән пластиналарның сыйфатын тәэмин итә.
3. Кыздыру процессы
Ябыту - ярымүткәргечләр җитештерү процессында киң таралган операция, ул эчке киеренкелекне бетерү яки билгеле бер җитешсезлекләрне төзәтү өчен пластинаны җылытуны үз эченә ала. Бу процесста кварц пластиналы көймәләр пластиналарны ташу һәм аларның мичтә бердәм җылылык эшкәртүен тәэмин итү өчен кулланыла.
4. Кристалл үсеше
Кайбер алдынгы материаллар җитештерүдә, кварц пластиналы көймәләрне кристалл үстерү процессларында, бигрәк тә кремний монокристалларын һәм башка ярымүткәргеч материалларны үстерүдә кулланырга мөмкин. Бу кушымталарда кварц көймәләренең югары температурага чыдамлыгы һәм химик тотрыклылыгы бик мөһим.
Кварц пластиналы көймәләр конструкциясе берничә таләпкә җавап бирергә тиеш:
- Югары температура тотрыклылыгы:Кварц материалының эрү температурасы 1600°C тан югарырак, бу аңа югары температуралы мохиттә физик һәм химик тотрыклылыкны сакларга мөмкинлек бирә.
- Термик шокка каршы торучанлык:Кварцның җылылык бәрелүләренә бик яхшы чыдамлыгы бар, температура үзгәрешләренә тиз җайлаша ала һәм ярылырга бирешми.
- Пычранусыз:Кварц - пластина өслегенең пычрануын булдырмый торган бик чиста материал. Ярымүткәргеч җитештерү процессында теләсә нинди кечкенә пычрану продукт кимчелекләренә китерергә мөмкин, шуңа күрә кварц материалларын сайлау бик мөһим.
Кварц вафли көймәсен ничек сайларга?
1. Вафлилар саны һәм зурлыгы
Төрле җитештерү процессларында пластиналы көймәләргә төрле таләпләр куела. Гадәттә, пластиналы көймәнең зурлыгы, уемнар саны һ.б. эшкәртеләчәк пластиналарның зурлыгына һәм санына карап билгеләнергә тиеш. Артык күп пластиналар җылылык бүленешенә һәм бердәмлегенә тәэсир итәргә мөмкин, шуңа күрә проектлау һәм сайлау вакытында төгәл исәпкә алу кирәк.
2. Югары сафлыклы кварц материалы
Ярымүткәргечләр җитештерү процессында бик югары чисталык таләпләре булу сәбәпле, югары чисталыклы кварц материалларын сайлау бик мөһим. Түбәнрәк чисталыклы кварц пластиналарны пычратырга мөмкин, бу исә продукт сыйфатының кимүенә китерә.
3. Термик шокка чыдамлык
Кайбер процессларда пластиналы көймәләргә төрле температура мохитләре арасында еш күчәргә туры килә, шуңа күрә термик бәрелүгә чыдамлык бик мөһим. Кварц материалы үзе яхшы термик бәрелүгә чыдамлыкка ия, ләкин төрле җитештерүчеләр җитештергән кварц пластиналы көймәләрнең термик бәрелүгә чыдамлыгы төрле булырга мөмкин.
4. Коррозиягә чыдамлык һәм химик тотрыклылык
Ярымүткәргечләр җитештерүдә кулланыла торган химик реагентлар еш кына югары коррозиягә дучар булалар, шуңа күрә кварц вафли көймәләренең бу химик матдәләр белән реакцияләрдән качу өчен югары химик тотрыклылыкка ия булуы кирәк.
5. Бәясе һәм гомер озынлыгы
Кварц пластиналы көймәләр югары температуралы мохиттә эшләгәнлектән, алар еш кына физик тузу һәм тузу кичерәләр. Шуңа күрә аларның хезмәт итү вакыты да исәпкә алынырга тиешле фактор булып тора. Чыгымсыз пластиналы көймә сайлау озак вакытлы эксплуатация чыгымнарын нәтиҗәле киметергә мөмкин.
Кварц вафли көймәсен ничек карап тотарга?
1. Чиста
Куллану процессында кварц пластиналы көймәләрдә кайбер химик матдәләр яки вак кисәкчәләр җыелырга мөмкин, бу пластиналарның сыйфатына тәэсир итәргә мөмкин. Шуңа күрә пластиналы көймәне даими чистарту бик мөһим. Гадәти чистарту ысулларына ультратавыш чистарту чаралары, кислота белән юу һәм деконтаминация эремәләре һ.б. куллану керә.
2. Ярыклар һәм зыяннар булуын тикшерегез
Кварц пластиналы көймәләр бик югары температурага һәм механик басымга дучар булганлыктан, озак вакыт кулланганнан соң ярыклар яки тузу барлыкка килергә мөмкин. Җитештерү процессында проблемаларны булдырмас өчен, пластиналы көймәнең конструкция бөтенлеген даими тикшерегез һәм зарарланган компонентларны вакытында алыштырыгыз.
3. Артык кызуны булдырмагыз
Кварц чагыштырмача яхшы термик шокка чыдам булса да, кайбер экстремаль шартларда ул барыбер зыян күрергә мөмкин. Шуңа күрә, эшләгәндә, артык югары температурадан һәм термик шоктан сакланырга кирәк.
Бастырылган вакыты: 2025 елның 2 сентябре