Sekepe sa wafer sa Quartzke sesebelisoa se ikhethileng se sebelisoang ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, haholo-holo bakeng sa ho jara le ho tsamaisa li-wafer tsa silicon libakeng tse nang le mocheso o phahameng. Ka lebaka la ho hanyetsa mocheso o phahameng haholo le botsitso ba lik'hemik'hale, likepe tsa quartz wafer li sebelisoa haholo litlhokong tse ngata tsa ts'ebetso tse nepahetseng le tsa theknoloji e phahameng. Hangata e entsoe ka thepa ea quartz e hloekileng haholo (SiO2), e seng feela e nang le botsitso bo botle ba mocheso mochesong o phahameng empa hape e boloka botsitso ba lik'hemik'hale, e thibela likhase tse arabelang kapa lik'hemik'hale ho silafatsa wafer.
Ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, haholo-holo ho photolithography, ho beoa ha filimi e tšesaane, ho fata le lits'ebetso tse ling, li-wafer li hloka ho sebetsoa mochesong o phahameng 'me hangata li hloka likarabo libakeng tse khethehileng. Nakong ea ts'ebetso ena, sekepe sa wafer, joalo ka mojari, se ka tšehetsa le ho tsamaisa li-wafer ka botsitso, ho netefatsa hore bokaholimo ba wafer ha boa silafala le ho fokotsa tšenyo ka tekanyo e kholo.
Kopo
1. Tlhahiso ea semiconductor
Indasteri ea semiconductor ke sebaka se seholo sa ts'ebeliso ea likepe tsa quartz wafer. Likepe tsa wafer hangata li sebelisoa tlhahisong ea lipotoloho tse kopantsoeng (IC), ho kenyeletsoa le ho beoa ha filimi e tšesaane (joalo ka ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale le ho beoa ha mouoane oa 'mele) hammoho le lits'ebetso tsa mocheso o phahameng joalo ka oxidation le annealing. Nakong ea lits'ebetso tsena, sekepe sa wafer se ikarabella bakeng sa ho tsamaisa li-wafer ka mokhoa o ts'oanang ka har'a reactor le ho netefatsa hore li futhumatsoa ka ho lekana nakong eohle ea ts'ebetso.
2. Ho ntsha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD)
Ts'ebetsong ea CVD, likepe tsa wafer tsa quartz li ka tsamaisa li-wafer ka mokhoa o tsitsitseng mochesong o phahameng ho netefatsa hore li-depositi lia tšoana le ho fokotsa tšilafalo ea lik'hemik'hale. Ka lebaka la thepa ea thepa ea sekepe sa wafer, se ka qoba ka katleho tšitiso ea lik'hemik'hale nakong ea ts'ebetso ea CVD, ka hona se netefatsa boleng ba li-wafer.
3. Ts'ebetso ea ho bokella
Ho kenya di-wafer ke tshebetso e tlwaelehileng tshebetsong ya tlhahiso ya di-semiconductor, e kenyeletsang ho futhumatsa wafer ho lokolla kgatello ya ka hare kapa ho lokisa diphoso tse itseng. Dikepe tsa wafer tsa Quartz di sebediswa tshebetsong ena ho jara di-wafer le ho netefatsa hore di fumana kalafo e tshwanang ya mocheso ka ontong.
4. Kgolo ya kristale
Tlhahisong ea thepa e 'ngoe e tsoetseng pele, likepe tsa quartz wafer li ka boela tsa sebelisoa lits'ebetsong tsa kholo ea kristale, haholo-holo kholong ea likristale tse le 'ngoe tsa silicon le lisebelisoa tse ling tsa semiconductor. Ts'ebetsong tsena, khanyetso ea mocheso o phahameng le botsitso ba lik'hemik'hale ba likepe tsa quartz ke tsa bohlokoa haholo.
Moralo oa likepe tsa quartz wafer o hloka ho fihlela litlhoko tse ngata:
- Botsitso ba mocheso o phahameng:Sebaka sa ho qhibiliha ha thepa ea quartz se ka holimo ho 1600°C, e leng se e nolofalletsang ho boloka botsitso ba 'mele le lik'hemik'hale libakeng tse nang le mocheso o phahameng.
- Ho hanyetsa ho ts'oaroa ke mocheso:Quartz e na le khanyetso e ntle ea ho thothomela ha mocheso, e ka ikamahanya le liphetoho tsa mocheso kapele, 'me ha e na monyetla oa ho petsoha.
- l Ha e na tšilafalo:Quartz ke thepa e hloekileng haholo e ka thibelang tšilafalo ea bokaholimo ba wafer. Ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, tšilafalo efe kapa efe e nyane e ka lebisa ho sekoli sa sehlahisoa, kahoo khetho ea thepa ea quartz ke ea bohlokoa haholo.
Mokhoa oa ho khetha sekepe sa Quartz Wafer?
1. Palo le boholo ba di-wafer
Mekhoa e fapaneng ea tlhahiso e na le litlhoko tse fapaneng bakeng sa likepe tsa wafer. Ka kakaretso, boholo ba sekepe sa wafer, palo ea libaka, jj. li hloka ho khethoa ho latela boholo le bongata ba li-wafer tse lokelang ho sebetsoa. Li-wafer tse ngata haholo li ka ama kabo ea mocheso le ho tšoana, kahoo ho hlokahala ho nahana ka hloko nakong ea moralo le khetho.
2. Thepa ea quartz e hloekileng haholo
Ka lebaka la litlhoko tse phahameng haholo tsa bohloeki ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, khetho ea thepa ea quartz e hloekileng haholo ke ea bohlokoa haholo. Quartz e hloekileng hanyane e ka silafatsa li-wafer, e leng se lebisang ho theoheng ha boleng ba sehlahisoa.
3. Khanyetso ea ho tšoha ha mocheso
Mekhoeng e meng, likepe tsa wafer li hloka ho fetoha khafetsa lipakeng tsa maemo a fapaneng a mocheso, kahoo ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso ke habohlokoa haholo. Thepa ea quartz ka boeona e na le ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso hantle, empa ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso ha likepe tsa wafer tsa quartz tse hlahisoang ke bahlahisi ba fapaneng ho ka fapana.
4. Ho hanyetsa ts'enyeho le botsitso ba lik'hemik'hale
Li-reagent tsa lik'hemik'hale tse sebelisoang tlhahisong ea li-semiconductor hangata li senya haholo, kahoo likepe tsa quartz wafer li hloka ho ba le botsitso bo phahameng ba lik'hemik'hale ho qoba ho arabela ka lintho tsena tsa lik'hemik'hale.
5. Litšenyehelo le Nako ea Bophelo
Kaha li-wafer tsa quartz li sebetsa libakeng tse nang le mocheso o phahameng, hangata li na le ts'enyeho ea 'mele. Ka hona, bophelo ba tsona ba ts'ebeletso le bona ke ntlha e lokelang ho nahanoa. Ho khetha sekepe sa wafer se theko e tlase ho ka fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebetso ea nako e telele ka katleho.
Mokhoa oa ho Boloka Sekepe sa Quartz Wafer?
1. Hloekisa
Nakong ea ts'ebetso ea ts'ebeliso, likepe tsa wafer tsa quartz li ka bokella lintho tse ling tsa lik'hemik'hale kapa likaroloana tse nyane, tse ka amang boleng ba li-wafer. Ka hona, ho bohlokoa haholo ho hloekisa sekepe sa wafer khafetsa. Mekhoa e tloaelehileng ea ho hloekisa e kenyelletsa ho sebelisa li-cleaner tsa ultrasonic, ho hlatsoa asiti le litharollo tsa ho tlosa litšila, jj.
2. Hlahloba mapetso le tšenyo
Ka lebaka la hore likepe tsa wafer tsa quartz li tlas'a mocheso o phahameng haholo le khatello ea mechine, mapetso kapa ho tsofala ho ka hlaha kamora tšebeliso ea nako e telele. Kamehla hlahloba botšepehi ba sebopeho sa sekepe sa wafer 'me u nke likarolo tse senyehileng sebaka ka nako e loketseng ho qoba mathata nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso.
3. Thibela ho chesa haholo
Leha quartz e na le khanyetso e ntle ea mocheso, e ntse e ka senyeha tlas'a maemo a mang a feteletseng. Ka hona, ha e sebetsa, ho hlokahala ho ela hloko ho qoba mocheso o phahameng haholo le ho tšoha ha mocheso.
Nako ea poso: Loetse-02-2025