Qeyika waferê ya quartzAmûrek taybetî ye ku di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de tê bikar anîn, bi taybetî ji bo hilgirtin û veguhestina waferên silîkonê di hawîrdorên germahiya bilind de. Ji ber berxwedana xwe ya germahiya bilind a hêja û aramiya kîmyewî ya wê, qeyikên waferê yên quartz bi berfirehî di gelek hewcedariyên pêvajoyê yên rastbûna bilind û teknolojiya bilind de têne bikar anîn. Ew bi gelemperî ji materyalê quartz ê paqijiya bilind (SiO2) tê çêkirin, ku ne tenê di germahiyên bilind de aramiya germî ya baş heye lê di heman demê de aramiya kîmyewî jî diparêze, rê li ber gazên reaktîf an kîmyewîyan digire ku waferê qirêj bikin.
Di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de, bi taybetî di fotolîtografî, danîna fîlmên tenik, gravurkirin û pêvajoyên din de, pêdivî ye ku wafer di germahiyên bilind de werin hilberandin û pir caran di atmosferên taybetî de reaksiyonan hewce dikin. Di vê pêvajoyê de, qeyika waferê, wekî hilgirek, dikare bi awayekî domdar waferan piştgirî bike û veguhezîne, piştrast bike ku rûyê waferê qirêj nabe û zirarê herî zêde kêm dike.
Bikaranînî
1. Çêkirina nîvconductor
Pîşesaziya nîvconductor qada sereke ya sepandina qeyikên wafer ên quartz e. Qeyikên wafer pir caran di çêkirina devreyên entegre (IC) de têne bikar anîn, di nav de danîna fîlma zirav (wek danîna buhara kîmyewî û danîna buhara fîzîkî) û her weha pêvajoyên germahiya bilind ên wekî oksîdasyon û germkirinê. Di van pêvajoyan de, qeyika wafer berpirsiyar e ji bo veguhestina yekreng a waferan di reaktorê de û misogerkirina ku ew di tevahiya pêvajoyê de bi rengek wekhev têne germ kirin.
2. Depokirina buxara kîmyewî (CVD)
Di pêvajoya CVD de, qeyikên waferê yên quartz dikarin waferan di germahiyên bilind de bi awayekî stabîl veguhezînin da ku yekrengiya depoyan misoger bikin û qirêjiya kîmyewî kêm bikin. Ji ber taybetmendiyên materyalê yên qeyika waferê, ew dikare bi bandor destwerdana reaksiyonên kîmyewî di dema pêvajoya CVD de dûr bixe, bi vî rengî kalîteya waferan misoger dike.
3. Pêvajoya tamkirinê
Tavkirin di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de operasyoneke hevpar e, ku germkirina waferê ji bo sivikkirina stresa navxweyî an jî sererastkirina hin kêmasiyan vedihewîne. Qeyikên waferê yên quartz di vê pêvajoyê de têne bikar anîn da ku waferan hilgirin û piştrast bikin ku ew di firnê de dermankirina germê ya yekreng werdigirin.
4. Mezinbûna krîstalan
Di hilberîna hin materyalên pêşketî de, qeyikên wafer ên quartz dikarin di pêvajoyên mezinbûna krîstalan de jî werin bikar anîn, nemaze di mezinbûna krîstalên yekane yên silîkonê û materyalên din ên nîvconductor de. Di van serlêdanan de, berxwedana germahiya bilind û aramiya kîmyewî ya qeyikên quartz xwedî girîngiyek girîng in.
Sêwirana qeyikên wafer ên quartz divê gelek pêdiviyan bicîh bîne:
- Stabîlbûna Germahiya Bilind:Xala helandinê ya materyalê quartz ji 1600°C jortir e, ku ew dihêle ku ew di hawîrdorên germahiya bilind de aramiya fîzîkî û kîmyewî biparêze.
- Berxwedana şoka germî:Quartz xwedî berxwedanek şoka germî ya hêja ye, dikare zû bi guherînên germahiyê re adapte bibe, û ne meyldarê şikestinê ye.
- l Bê gemarî:Kwarz madeyek pir paqij e ku dikare pêşî li qirêjbûna rûyê waferê bigire. Di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de, her qirêjbûnek piçûk dikare bibe sedema kêmasiyên hilberê, ji ber vê yekê hilbijartina materyalên kuwarzê pir girîng e.
Meriv çawa Bota Wafer a Quartz hildibijêre?
1. Hejmar û mezinahiya waferan
Pêvajoyên hilberînê yên cuda ji bo qeyikên waferê pêdiviyên cuda hene. Bi gelemperî, mezinahiya qeyika waferê, hejmara qulikan, û hwd. divê li gorî mezinahî û mîqdara waferên ku werin hilberandin werin destnîşankirin. Pir zêde wafer dikarin bandorê li belavkirina germê û yekrengiyê bikin, ji ber vê yekê di dema sêwirandin û hilbijartinê de baldarîyek rast hewce ye.
2. Materyalê quartzê yê paqijiya bilind
Ji ber pêdiviyên paqijiyê yên pir zêde di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de, hilbijartina materyalên kuartzê yên paqijiya bilind pir girîng e. Kuartzê bi paqijiya nizmtir dikare waferan gemarî bike, û bibe sedema kêmbûna kalîteya hilberê.
3. Berxwedana şoka germî
Di hin pêvajoyan de, qeyikên waferê hewce ne ku pir caran di navbera hawîrdorên germahiyên cûda de biguherin, ji ber vê yekê berxwedana şoka germî pir girîng e. Materyalê quartz bi xwe xwedan berxwedana şoka germî ya baş e, lê berxwedana şoka germî ya qeyikên waferê yên quartz ên ku ji hêla hilberînerên cûda ve têne hilberandin dibe ku cûda bibe.
4. Berxwedana li hember korozyonê û aramiya kîmyewî
Reagentên kîmyewî yên ku di çêkirina nîvconductoran de têne bikar anîn pir caran pir korozîf in, ji ber vê yekê qeyikên wafer ên quartz hewce ne ku xwedî îstîqrara kîmyewî ya bilind bin da ku ji reaksiyonên bi van madeyên kîmyewî dûr bikevin.
5. Mesref û Demjimêr
Ji ber ku hilgirên wafer ên kuartz di hawîrdorên germahiya bilind de dixebitin, ew pir caran rastî xirabûn û şikestina fîzîkî tên. Ji ber vê yekê, temenê wan ê xizmetê jî faktorek e ku divê were hesibandin. Hilbijartina qeyikek wafer a bi arzanî dikare bi bandor lêçûnên xebitandinê yên demdirêj kêm bike.
Meriv çawa Qeyika Wafer a Quartz Parast Dike?
1. Paqij bike
Di dema bikaranîna wê de, dibe ku di qeyikên wafer ên kuartzê de hin madeyên kîmyewî an perçeyên nazik kom bibin, ku dibe ku bandorê li kalîteya waferan bike. Ji ber vê yekê, pir girîng e ku qeyikên waferê bi rêkûpêk werin paqijkirin. Rêbazên paqijkirinê yên hevpar karanîna paqijkerên ultrasonîk, şuştina asîdê û çareseriyên dekontaminasyonê û hwd. ne.
2. Ji bo şikestin û ziraran kontrol bikin
Ji ber ku qeyikên wafer ên kuartz rastî germahî û zextên mekanîkî yên pir zêde tên, dibe ku piştî karanîna demdirêj şikestin an jî xisar çêbibin. Ji bo dûrketina ji pirsgirêkan di dema pêvajoya hilberînê de, yekparebûna avahiya qeyika wafer bi rêkûpêk kontrol bikin û pêkhateyên zirardar di wextê xwe de biguherînin.
3. Germbûna zêde asteng bikin
Her çend kuartz li hember şoka germî berxwedanek nisbeten baş hebe jî, dibe ku di hin şert û mercên dijwar de jî zirarê bibîne. Ji ber vê yekê, dema xebitandinê, pêdivî ye ku meriv baldar be ku ji germahiyên pir zêde û şoka germî dûr bisekine.
Dema şandinê: Îlon-02-2025