Kvars vafli qayığıyarımkeçirici istehsal prosesində, əsasən yüksək temperaturlu mühitlərdə silikon lövhələrin daşınması və daşınması üçün istifadə olunan ixtisaslaşmış bir alətdir. Əla yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi stabilliyi sayəsində kvars lövhə qayıqları bir çox yüksək dəqiqlikli və yüksək texnologiyalı proses tələblərində geniş istifadə olunur. Adətən yüksək təmizlikli kvars materialından (SiO2) hazırlanır ki, bu da yalnız yüksək temperaturda yaxşı istilik stabilliyinə malik deyil, həm də kimyəvi stabilliyi qoruyur, reaktiv qazların və ya kimyəvi maddələrin lövhəni çirkləndirməsinin qarşısını alır.
Yarımkeçirici istehsalı prosesində, xüsusən də fotolitoqrafiya, nazik təbəqə çökdürmə, aşındırma və digər proseslərdə lövhələrin yüksək temperaturda emal edilməsi tələb olunur və tez-tez xüsusi atmosferlərdə reaksiyalar tələb olunur. Bu proses zamanı lövhə qayığı, daşıyıcı kimi, lövhələri sabit şəkildə dəstəkləyə və nəql edə bilər, lövhə səthinin çirklənməməsini təmin edə və zərəri maksimum dərəcədə minimuma endirə bilər.
Tətbiq
1.Yarımkeçirici istehsalı
Yarımkeçirici sənayesi kvars lövhəli qayıqların əsas tətbiq sahəsidir. Lövhəli qayıqlar tez-tez inteqral sxemlərin (İS) istehsalında, o cümlədən nazik təbəqə çökdürməsində (məsələn, kimyəvi buxar çökdürmə və fiziki buxar çökdürmə), eləcə də oksidləşmə və tavlama kimi yüksək temperaturlu proseslərdə istifadə olunur. Bu proseslər zamanı lövhəli qayıq lövhələrin reaktorda bərabər şəkildə daşınmasından və proses boyunca bərabər şəkildə qızdırılmasından məsuldur.
2. Kimyəvi buxar çöküntüsü (KBuXÇ)
CVD prosesində kvars lövhəli qayıqlar çöküntülərin vahidliyini təmin etmək və kimyəvi çirklənməni azaltmaq üçün lövhələri yüksək temperaturda sabit şəkildə daşıya bilər. Laləli qayığın material xüsusiyyətlərinə görə, CVD prosesi zamanı kimyəvi reaksiyaların müdaxiləsindən effektiv şəkildə qaçınmaq və bununla da lövhələrin keyfiyyətini təmin etmək mümkündür.
3. Tavlama prosesi
Tavlama, yarımkeçirici istehsal prosesində geniş yayılmış bir əməliyyatdır və daxili gərginliyi aradan qaldırmaq və ya müəyyən qüsurları düzəltmək üçün lövhənin qızdırılmasını əhatə edir. Bu prosesdə lövhələrin daşınması və sobada vahid istilik emalından keçməsini təmin etmək üçün kvars lövhə qayıqlarından istifadə olunur.
4. Kristal böyüməsi
Bəzi qabaqcıl materialların istehsalında kvars lövhəli qayıqlar, xüsusən də silikon tək kristallarının və digər yarımkeçirici materialların yetişdirilməsində kristal böyümə proseslərində də istifadə edilə bilər. Bu tətbiqlərdə kvars qayıqlarının yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi stabilliyi həyati əhəmiyyət kəsb edir.
Kvars vafli qayıqlarının dizaynı bir neçə tələbə cavab verməlidir:
- Yüksək temperatur sabitliyi:Kvars materialının ərimə nöqtəsi 1600°C-dən yuxarıdır ki, bu da onun yüksək temperaturlu mühitlərdə fiziki və kimyəvi sabitliyini qorumağa imkan verir.
- Termal şoka davamlılıq:Kvars əla istilik şokuna davamlıdır, temperatur dəyişikliklərinə tez uyğunlaşa bilir və çatlamağa meylli deyil.
- Çirklənmədən azad:Kvars lövhə səthinin çirklənməsinin qarşısını ala bilən çox təmiz bir materialdır. Yarımkeçirici istehsal prosesində hər hansı kiçik çirklənmə məhsul qüsurlarına səbəb ola bilər, buna görə də kvars materiallarının seçimi çox vacibdir.
Kvars Wafer Boat necə seçilir?
1. Vaflilərin sayı və ölçüsü
Müxtəlif istehsal proseslərinin vafli qayıqlar üçün fərqli tələbləri var. Ümumiyyətlə, vafli qayığının ölçüsü, yuvaların sayı və s. emal ediləcək vaflilərin ölçüsünə və miqdarına əsasən müəyyən edilməlidir. Həddindən artıq çox vafli istilik paylanmasına və vahidliyə təsir göstərə bilər, buna görə də dizayn və seçim zamanı dəqiq nəzərə alınmalıdır.
2. Yüksək təmizlikli kvars materialı
Yarımkeçirici istehsal prosesində son dərəcə yüksək təmizlik tələblərinə görə, yüksək təmizlikli kvars materiallarının seçilməsi çox vacibdir. Daha aşağı təmizlikli kvars lövhələri çirkləndirə və məhsulun keyfiyyətinin aşağı düşməsinə səbəb ola bilər.
3. Termal şoka davamlılıq
Bəzi proseslərdə vafli qayıqlar tez-tez müxtəlif temperatur mühitləri arasında keçid etməlidirlər, buna görə də istilik şokuna qarşı müqavimət həyati əhəmiyyət kəsb edir. Kvars materialının özü yaxşı istilik şokuna qarşı müqavimətə malikdir, lakin müxtəlif istehsalçılar tərəfindən istehsal olunan kvars vafli qayıqlarının istilik şokuna qarşı müqaviməti fərqli ola bilər.
4. Korroziyaya davamlılıq və kimyəvi sabitlik
Yarımkeçirici istehsalında istifadə olunan kimyəvi reagentlər çox vaxt yüksək dərəcədə aşındırıcıdır, buna görə də kvars vafli qayıqları bu kimyəvi maddələrlə reaksiyaların qarşısını almaq üçün yüksək kimyəvi stabilliyə malik olmalıdır.
5. Qiymət və Ömür
Kvars lövhə daşıyıcıları yüksək temperaturlu mühitlərdə işlədikləri üçün tez-tez fiziki aşınma və yırtılma ilə qarşılaşırlar. Buna görə də, onların xidmət müddəti də nəzərə alınmalı olan bir amildir. Səmərəli lövhə qayığı seçmək uzunmüddətli istismar xərclərini effektiv şəkildə azalda bilər.
Kvars vafli qayığına necə qulluq etmək olar?
1. Təmiz
İstifadə prosesi zamanı kvars lövhəli qayıqlarda bəzi kimyəvi maddələr və ya xırda hissəciklər toplana bilər ki, bu da lövhələrin keyfiyyətinə təsir göstərə bilər. Buna görə də, lövhəli qayığı müntəzəm olaraq təmizləmək çox vacibdir. Ümumi təmizləmə üsullarına ultrasəs təmizləyicilərindən, turşu ilə yuma və dekontaminasiya məhlullarından istifadə və s. daxildir.
2. Çatları və zədələri yoxlayın
Kvars lövhəli qayıqlar son dərəcə yüksək temperaturlara və mexaniki təzyiqlərə məruz qaldığı üçün uzunmüddətli istifadədən sonra çatlar və ya aşınmalar yarana bilər. İstehsal prosesi zamanı problemlərin qarşısını almaq üçün lövhəli qayığın struktur bütövlüyünü müntəzəm olaraq yoxlayın və zədələnmiş komponentləri vaxtında dəyişdirin.
3. Həddindən artıq istiləşmənin qarşısını alın
Kvars nisbətən yaxşı istilik şokuna davamlı olsa da, bəzi ekstremal şəraitdə zədələnə bilər. Buna görə də, işləyərkən həddindən artıq yüksək temperaturdan və istilik şokundan qaçınmağa diqqət yetirmək lazımdır.
Yazı vaxtı: 02 sentyabr 2025