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  • Quellen der Kontamination und Reinigung von Halbleiterwafern

    Quellen der Kontamination und Reinigung von Halbleiterwafern

    Für die Halbleiterherstellung werden organische und anorganische Substanzen benötigt. Da der Prozess stets in Reinräumen unter menschlicher Beteiligung durchgeführt wird, sind Halbleiterwafer zudem zwangsläufig mit verschiedenen Verunreinigungen kontaminiert.
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  • Verschmutzungsquellen und -prävention in der Halbleiterindustrie

    Verschmutzungsquellen und -prävention in der Halbleiterindustrie

    Die Produktion von Halbleiterbauelementen umfasst hauptsächlich diskrete Bauelemente, integrierte Schaltkreise und deren Verpackungsprozesse. Die Halbleiterproduktion lässt sich in drei Phasen unterteilen: Herstellung des Produktkörpermaterials, Herstellung der Produktwafer und Montage der Bauelemente. Darunter...
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  • Warum ist eine Ausdünnung erforderlich?

    Warum ist eine Ausdünnung erforderlich?

    In der Back-End-Prozessphase muss der Wafer (Siliziumwafer mit Schaltkreisen auf der Vorderseite) vor dem anschließenden Zerteilen, Schweißen und Verpacken auf der Rückseite dünner gemacht werden, um die Montagehöhe des Pakets zu verringern, das Chip-Paketvolumen zu reduzieren und die Wärmediffusion des Chips zu verbessern ...
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  • Syntheseverfahren für hochreines SiC-Einkristallpulver

    Syntheseverfahren für hochreines SiC-Einkristallpulver

    Im Siliziumkarbid-Einkristall-Züchtungsprozess ist der physikalische Dampftransport (PVT) die derzeit gängige Industrialisierungsmethode. Beim PVT-Züchtungsverfahren hat Siliziumkarbidpulver einen großen Einfluss auf den Wachstumsprozess. Alle Parameter des Siliziumkarbidpulvers sind...
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  • Warum sind in einer Oblatenschachtel 25 Oblaten enthalten?

    Warum sind in einer Oblatenschachtel 25 Oblaten enthalten?

    In der hochentwickelten Welt der modernen Technologie sind Wafer, auch Siliziumwafer genannt, die Kernkomponenten der Halbleiterindustrie. Sie bilden die Grundlage für die Herstellung verschiedener elektronischer Komponenten wie Mikroprozessoren, Speicher, Sensoren usw., und jeder Wafer...
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  • Häufig verwendete Sockel für die Dampfphasenepitaxie

    Häufig verwendete Sockel für die Dampfphasenepitaxie

    Bei der Dampfphasenepitaxie (VPE) dient der Sockel dazu, das Substrat zu stützen und eine gleichmäßige Erwärmung während des Wachstums zu gewährleisten. Verschiedene Sockeltypen eignen sich für unterschiedliche Wachstumsbedingungen und Materialsysteme. Im Folgenden sind einige Beispiele aufgeführt...
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  • Wie kann die Lebensdauer von mit Tantalkarbid beschichteten Produkten verlängert werden?

    Wie kann die Lebensdauer von mit Tantalkarbid beschichteten Produkten verlängert werden?

    Tantalkarbidbeschichtete Produkte sind ein häufig verwendetes Hochtemperaturmaterial und zeichnen sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Verschleißfestigkeit aus. Daher werden sie häufig in Branchen wie der Luft- und Raumfahrt, der Chemie und der Energiebranche eingesetzt. Um ...
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  • Was ist der Unterschied zwischen PECVD und LPCVD in Halbleiter-CVD-Geräten?

    Was ist der Unterschied zwischen PECVD und LPCVD in Halbleiter-CVD-Geräten?

    Unter chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) versteht man den Prozess der Abscheidung eines festen Films auf der Oberfläche eines Siliziumwafers durch eine chemische Reaktion eines Gasgemisches. Je nach den unterschiedlichen Reaktionsbedingungen (Druck, Vorläufer) kann CVD in verschiedene Anlagen unterteilt werden.
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  • Eigenschaften der Siliziumkarbid-Graphitform

    Eigenschaften der Siliziumkarbid-Graphitform

    Siliziumkarbid-Graphitform Die Siliziumkarbid-Graphitform ist eine Verbundform mit Siliziumkarbid (SiC) als Basis und Graphit als Verstärkungsmaterial. Diese Form verfügt über eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und...
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