Portaobjetos de oblea MOCVD de grafito con recubrimiento de SiCSusceptores de grafitopara la epitaxia de SiC,
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El recubrimiento de CVD-SiC se caracteriza por tener una estructura uniforme, un material compacto, alta resistencia a la temperatura, resistencia a la oxidación, alta pureza, resistencia a ácidos y álcalis y a reactivos orgánicos, además de propiedades físicas y químicas estables.

En comparación con los materiales de grafito de alta pureza, el grafito comienza a oxidarse a 400 °C, lo que provoca una pérdida de polvo debido a la oxidación, lo que resulta en contaminación ambiental para los dispositivos periféricos y las cámaras de vacío, y aumenta las impurezas en el entorno de alta pureza.

Sin embargo, el recubrimiento de SiC puede mantener la estabilidad física y química a 1600 grados, y se utiliza ampliamente en la industria moderna, especialmente en la industria de semiconductores.

Nuestra empresa ofrece servicios de recubrimiento de SiC mediante el método CVD sobre superficies de grafito, cerámica y otros materiales. Mediante gases especiales que contienen carbono y silicio, se obtienen moléculas de SiC de alta pureza que se depositan sobre la superficie de los materiales recubiertos, formando una capa protectora de SiC. El SiC formado se adhiere firmemente a la base de grafito, otorgándole propiedades especiales. Esto se traduce en una superficie de grafito compacta, sin porosidad, resistente a altas temperaturas, a la corrosión y a la oxidación.

Solicitud:

Características principales:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:

La resistencia a la oxidación sigue siendo muy buena incluso a temperaturas tan altas como 1700 °C.

2. Alta pureza: fabricado mediante deposición química de vapor bajo condiciones de cloración a alta temperatura.

3. Resistencia a la erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.

4. Resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

Especificaciones principales de los recubrimientos CVD-SIC:

Capacidad de suministro:

10.000 piezas al mes
Embalaje y entrega:
Embalaje: Embalaje estándar y resistente
Bolsa de polietileno + Caja + Cartón + Palé
Puerto:
Ningbo/Shenzhen/Shanghái
Plazo de entrega: