Barcaza de cuarzo de alta pureza para el procesamiento de obleas

Barco de oblea de cuarzoEs una herramienta clave en la fabricación de semiconductores, la producción de células fotovoltaicas y la investigación y desarrollo de materiales avanzados, diseñada para la transferencia y el posicionamiento estables de obleas en procesos de alta temperatura. Este producto está fabricado con sílice fundida (SiO2) de ultra alta pureza, con excelente resistencia a la temperatura, estabilidad química y características de contaminación metálica ultrabaja, adecuada para hornos de difusión, hornos de oxidación, PECVD/LPCVD y otros equipos, y ampliamente utilizada en el recubrimiento de obleas, implantación iónica, recocido a alta temperatura y otros procesos fundamentales.

Las principales ventajas del barco de cuarzo de VET Energy:

• Material de ultra alta pureza
  Pureza ≥99,99%: Contenido de impurezas (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, lo que evita la contaminación de la oblea y garantiza el rendimiento del chip.
  Baja precipitación y adsorción: la superficie está superpulida (Ra≤0,4 μm) para reducir la adhesión de partículas y los residuos de gas.
• Alta estabilidad a la temperatura
  Límite de temperatura: Temperatura de trabajo a largo plazo de 1100 ℃, pico a corto plazo de 1300 ℃, sin deformación, sin precipitación de cristales.
  Bajo coeficiente de expansión térmica (5,5x10⁻⁷/℃), excelente resistencia al choque térmico, adaptable a procesos de rápido aumento y disminución de la temperatura (por ejemplo, recocido rápido RTP).
• Diseño estructural preciso
  Precisión de ranura ±0,1 mm: compatible con obleas de 2" a 12", error de uniformidad de espaciado <0,05 mm, lo que garantiza que las obleas no presenten desplazamiento.
  Alta capacidad de carga: Carga máxima de 50 obleas (de 12 pulgadas) en una sola bandeja, lo que permite una transferencia estable de obleas delgadas (≥100 µm).
• inercia química
  Resistencia a la corrosión: Resistente a la corrosión por ácidos (excepto HF), álcalis y disolventes orgánicos, compatible con el proceso de limpieza CMP.
  Excelente estanqueidad a los gases: tasa de fugas <5x10⁻¹⁰ Pa·m³/s, apta para vacío y entornos con gases protectores.
• Larga vida útil y fácil mantenimiento.
  Con una vida útil de al menos 5000 ciclos (en condiciones normales de funcionamiento), la superficie se puede limpiar y utilizar repetidamente, lo que reduce el coste total.
  Diseño modular: permite la sustitución parcial (por ejemplo, de un solo diente de la embarcación), lo que reduce el tiempo de inactividad.

Ofrecemos superficies transparentes y esmeriladas según las necesidades del cliente:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. es una empresa de alta tecnología centrada en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama. Los materiales y la tecnología incluyen grafito, carburo de silicio, cerámica y tratamientos superficiales como recubrimientos de SiC, TaC, carbono vítreo, carbono pirolítico, etc. Estos productos se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables, metalúrgico, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y ha desarrollado múltiples tecnologías patentadas para garantizar el rendimiento y la calidad del producto, además de poder ofrecer a los clientes soluciones profesionales en materia de materiales.