Mgbaaka mkpuchi CVD lekwasịrị anyana-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkụpụta semiconductor nke oge a site n'ịkwado ókè plasma ma hụ na nkesa ion otu nhata n'ofe wafer ahụ. Isiokwu a na-akọwa ihe mere ha ji dị mkpa maka nodes dị elu, na-akọwapụta mmetụta ha na nhazi etch, njikwa CD, mbelata mmetọ, na mmepụta usoro zuru oke.
Ⅰ. Site na Plasma Etching ruo na Injinia Mgbaaka Lekwasịrị Anya
Ịmepụta Plasma bụ otu n'ime teknụzụ nhazi ihe osise kachasị mkpa na mmepụta semiconductor nke oge a, na-enye ohere ịmepụta atụmatụ nanoscale dị mkpa maka ngwaọrụ ezi uche dị elu na ebe nchekwa. Ka akụkụ teknụzụ na-aga n'ihu na-ebelata n'okpuru nanomita 10 na usoro nhazi ngwaọrụ na-agbanwe gaa na nhazi FinFET na Gate-All-Around (GAA), nnabata maka mgbanwe usoro ebelatala nke ukwuu. Taa, a ga-ejikwa paramita dịka nhazi etch, njikwa akụkụ dị mkpa (CD), na njupụta ntụpọ na-achịkwa ya na nkenke atomic dị nso.
Ọ bụ ezie na nhazi usoro na-elekwasịkarị anya na kemistri plasma, ike redio ugboro (RF), na nhazi ụlọ, ihe dị mkpa - mana ọ naghị apụta ìhè - dị n'ịchịkwa ọnọdụ ókèala na nsọtụ wafer. Nke a bụ kpọmkwem ebe mgbanaka lekwasịrị anya na-arụ ọrụ dị oke mkpa. N'ebe dị gburugburu wafer na electrostatic chuck (ESC), mgbanaka lekwasịrị anya na-arụ ọrụ dị ka ihe na-agbanwe ókèala, na-agbanwe mpaghara eletriki mpaghara, na-eme ka mkpuchi plasma sie ike, ma na-ahụ na nkesa ion otu nhata n'elu wafer dum.
N'ebe e ji ihe e ji arụ ọrụ nke ọma, mgbaaka e ji ihe ndị e ji ihe ndị dị ndụ kpuchie (CVD) aghọọla ọkọlọtọ ụlọ ọrụ n'ihi ihe ndị dị na ha. Ihe ndị a abụghị naanị ihe a na-eri; ha bụ ihe ndị e ji ihe ndị e ji ihe ndị dị ndụ mepụta nke na-emetụta omume plasma kpọmkwem, nkwụsi ike usoro, ma na-ekpebi mmepụta ngwaọrụ.
Ⅱ. Ihe Mere Mgbaaka Nlebara Anya Ji Dị Mkpa n'Ịkpụcha Ihe Dị Elu
N'ime sistemụ etching plasma, akụkụ wafer na-egosipụta nkwụsị na ọnọdụ geometry na ókèala eletriki. Na-enweghị usoro nkwụghachi ụgwọ kwesịrị ekwesị, nkwụsị a na-eduga na mgbagwoju anya dị ukwuu na mpaghara eletriki na sheath plasma, na-akpali ihe a na-akpọ "mmetụta njedebe." Mmetụta a na-egosipụta dị ka akụkụ ihe omume ion na-abụghị otu na mgbanwe na njupụta flux ion, na-ebute mgbanwe na ọnụego etch na profaịlụ etch dị nso na nsọtụ wafer.
Ọmụmụ ihe nnwale na nke echiche na-egosi na, na enweghị usoro nkwụghachi ụgwọ n'akụkụ, mpaghara ahụ nke na-agbatị ọtụtụ millimita n'ime site na nsọtụ wafer na-aghọ mpaghara nsọtụ a na-apụghị iji. Maka oghere teknụzụ dị elu, ebe nha chip buru ibu na oke usoro dị oke njọ, mfu mpaghara dị otú ahụ abụghị ihe a na-anabata n'ụzọ akụ na ụba.
Ntinye nke mgbanaka na-elekwasị anya na-agbatị ókè plasma ahụ nke ọma karịa nsọtụ anụ ahụ nke wafer ahụ, si otú a na-emepụta nhazi sheath ka mma. Site n'inye gburugburu eletriki na anụ ahụ a na-achịkwa, mgbanaka na-elekwasị anya na-eme ka usoro nke ion nọgide na-agbanwe agbanwe n'elu wafer dum. Nke a dị oke mkpa maka iru ọkwa nha nha nke mmepụta oke ọgbara ọhụrụ chọrọ; na gburugburu nrụpụta dị otú ahụ, a na-etinyekarị ihe mgbaru ọsọ maka nha nha in-wafer etch n'ime oke ±2%.
Ọzọkwa, site n'ịkwado ọnọdụ ókè nke ụlọ ahụ n'ofe wafer dị iche iche, mgbanaka na-elekwasị anya na-enyere aka ime ka usoro mmegharị ahụ dịkwuo mma. N'ebe nrụpụta dị elu, ọbụna obere mgbanwe na ọnọdụ ọnụ nwere ike ibute mgbanwe usoro; ya mere, nkwụsi ike nke arụmọrụ mgbanaka lekwasịrị anya dị oke mkpa.
Ⅲ. Uru Dị Mkpa nke Mkpuchi CVD
Ka usoro ịkpụcha ihe na plasma na-aghọwanye ihe siri ike—karịsịa site na nnabata nke usoro kemịkalụ dabere na fluorine na chlorine—ihe achọrọ maka mgbaaka lekwasịrị anya aghọọlakwa ihe siri ike karị. Ihe ọdịnala dịka quartz ma ọ bụ seramiiki buru ibu na-enwekarị oke etch, ọchịchọ imepụta ihe ndị dị na ya, na enweghị nkwụsi ike n'okpuru ikpughe plasma ogologo oge. Mkpuchi CVD—karịsịa CVD SiC (silicon carbide) na mkpuchi carbon CVD—na-emeri oke ndị a nke ọma n'ihi obere nhazi na ihe kemịkalụ ha pụrụ iche.
Isi ihe dị mkpa nke mkpuchi CVD bụ oke njupụta ha, nke dị nso na njupụta echiche, yana obere porosity ha, nke na-eme ka ha sie ike nke ukwuu megide ihe e ji mee ka plasma kpụọ. Ọmụmụ ihe egosila② na n'ime gburugburu plasma nke fluorine, ọnụego etch nke CVD SiC bụ naanị obere akụkụ nke quartz, na-eme ka ọ bụrụ ihe zuru oke maka usoro etching ogologo oge, nke nwere ike dị elu. Ogologo oge a na-abawanye na-apụta ozugbo na ndụ akụkụ dị ogologo na mbelata ugboro ole mmezi.
Ihe dịkwa mkpa bụ okwu gbasara njikwa mmetọ. Ihe ndị mejupụtara ụlọ na-emepụta ka bụ otu n'ime ihe ndị bụ isi na-akpata mfu mkpụrụ na usoro mmepụta semiconductor dị elu. Dịka ụkpụrụ SEMI na ọmụmụ njikwa mmetọ dị mkpa si dị, ọbụna obere ihe ndị dị n'okpuru micron nwere ike ibute ntụpọ dị oke njọ, ọkachasị na obere ihe nhazi dị elu n'okpuru nanomita 10. Mkpuchi CVD, yana ihe onwunwe ha dị oke ma kwụsie ike, na-ebelata nke ukwuu ihe egwu nke obere ihe na-apụta na mwepụta adịghị ọcha n'elu, si otú a na-enyere aka ịmepụta gburugburu usoro dị ọcha ma melite mmepụta.
CVD SiC Film Crystal na Micro Structure
Akụkụ ọzọ dị oke mkpa bụ njikwa nke mwepụ elektrọn nke abụọ (SEE). Mmekọrịta dị n'etiti plasma na elu ụlọ ahụ na-enwe mmetụta siri ike site na njirimara SEE, nke na-emetụta njupụta na nkwụsi ike plasma. Ma e jiri ya tụnyere ihe ndị e ji eme ihe ọdịnala, elu ndị a kpuchiri CVD na-egosipụta njirimara SEE na-agbanwe agbanwe ma na-ebu amụma, na-eme ka njikwa nke ọma karịa nke ọnọdụ plasma ma na-eme ka usoro ahụ dịkwuo mma.
Nkwụsi ike okpomọkụ bụ uru ọzọ dị mkpa nke mkpuchi CVD. Usoro plasma dị elu na-emepụta ibu okpomọkụ dị mkpa, karịsịa na mpaghara akụkụ wafer. Ihe ndị dị ka CVD SiC nwere ezigbo njikwa okpomọkụ na ihe ndị a na-achịkwa maka mmụba okpomọkụ, na-ebelata ihe ize ndụ nke mgbawa, warping, ma ọ bụ delamination n'okpuru nrụgide okpomọkụ cyclic. Nguzozi nhazi a dị oke mkpa maka ijide n'aka na arụmọrụ na-aga n'ihu n'oge usoro agbatịkwuru.
Ⅳ. Mmetụta na Usoro Arụmọrụ Ịcha Isi
Mgbaaka Nchedo CVD agbakwunyere
Mgbaaka a ga-enwe mmetụta kpọmkwem na nke a pụrụ ịtụle na ọtụtụ usoro arụmọrụ dị mkpa na usoro nhazi semiconductor. Otu n'ime usoro nhazi kachasị mkpa bụ nha nha etch. Site n'ịkwụsi ike na mkpuchi plasma na ijide n'aka na nkesa ion flux otu, mgbanaka nhazi CVD nke a kpuchiri na-enye ohere ijikwa nke ọma na nha nha wafer n'obosara, na-enwetakarị nkenke ±2% achọrọ maka nrụpụta ngwaọrụ dị elu. Ọkwa njikwa a dị oke mkpa maka usoro nhazi akụkụ dị elu, ebe ọbụna obere mgbanwe nwere ike ibute nnukwu mgbanwe profaịlụ etch.
Njikwa Oke Nha (CD)
Mgbanwe na akụkụ ion nke na-apụta n'akụkụ wafer nwere ike ibute mgbanwe CD, nsogbu a na-aghọkwa ihe ịma aka ka nha atụmatụ na-aga n'ihu na-ebelata. Site n'ịnọgide na-enwe ọnọdụ ọkụ eletrik na-agbanwe agbanwe, mgbanaka na-elekwasị anya na-enyere aka hụ na e nwere otu nha na ụzọ ion, si otú a na-ebelata mgbanwe CD n'ofe wafer niile. Nke a dị oke mkpa maka ịnọgide na-enwe arụmọrụ ngwaọrụ na izute nkọwapụta nhazi na nodes usoro dị elu.
Imeziwanye Usoro Mmeghachi na Ịkwụsi Ike
Mkpuchi CVD na-enye elu kwụsiri ike ma sie ike nke ihe onwunwe ya na-adịgide adịgide ka oge na-aga, si otú a na-ebelata mgbanwe ọnọdụ plasma ma na-eme ka arụmọrụ na-aga n'ihu n'ofe wafers. N'ebe nrụpụta dị elu, nke a dị oke mkpa maka itinye njikwa usoro ọnụọgụgụ (SPC) n'ọrụ.
Arụmọrụ Njikwa Ihe Ngwugwu Emelitere
Mbelata iyi na mmezi elu nke ọma na-ebelata mmepụta ihe ndị dị n'ime ya, nke na-emetụta kpọmkwem mmepụta na ntụkwasị obi ngwaọrụ. N'ime mmepụta semiconductor dị elu, ebe ebumnuche njikwa njupụta ntụpọ siri ike, uru a zuru oke iji kwado nnabata nke ihe mkpuchi CVD.
Ka ọchịchọ ụlọ ọrụ semiconductor maka nhazi njikwa usoro na arụmọrụ ihe na-aga n'ihu na-arị elu, mmepe na ọkọnọ nkeMgbaaka lekwasịrị anya nke a kpuchiri CVDna-agbakọta nke ukwuu n'etiti ụfọdụ ndị nrụpụta pụrụ iche, ndị na-akwalite teknụzụ.Hexkabọn, Vetek Semiconductor, naSemiceraeguzobewo ọnọdụ ahịa siri ike n'ọhịa a site na teknụzụ mkpuchi CVD ha dị elu, ikike nhazi ihe dị ọcha dị elu, na njikọta miri emi na ihe achọrọ maka akụrụngwa semiconductor. Karịsịa, ụlọ ọrụ dịka Vetek na Semicera na-elekwasị anya n'inye ngwọta injinia ahaziri ahazi, na-ahazi atụmatụ mgbanaka lekwasịrị anya na usoro kemịkalụ etch na nyiwe akụrụngwa; ebe Hexcarbon ewulitela aha ahịa siri ike dabere na ahụmịhe ya na graphite dị ọcha na ihe mkpuchi maka ngwa semiconductor. Njikọta nke ahụmịhe sayensị ihe na ihe ọmụma teknụzụ usoro na-enyere ụlọ ọrụ ndị a aka imezu ihe siri ike nke mmepụta semiconductor ọgbọ na-abịa.
Ntụaka:
"Ụkpụrụ nke Ịwụpụ Plasma na Nhazi Ihe"
"Akwụkwọ akụkọ nke Sayensị na Teknụzụ Vacuum A"
Oge ozi: Maachị-20-2026