벳차이나는 생산합니다탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터이 제품은 최첨단 CVD 코팅 기술을 사용하여 극한의 작업 환경에서도 뛰어난 성능을 발휘할 수 있습니다.탄탈륨 카바이드이 소재는 내마모성과 내식성을 모두 갖추고 있어 반도체 제조 산업에 이상적인 선택입니다.
고온 및 부식성 환경에서탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터본 제품은 탁월한 화학적 불활성 및 열 안정성을 나타내며, 다양한 화학 매체의 침식에 효과적으로 저항하여 가혹한 환경에서도 장기간 사용이 가능합니다. 이러한 특징 덕분에 당사의 가이드 링은 반도체 공정, 화학 응용 분야 및 기타 분야에서 큰 활용 잠재력을 지니고 있습니다.
Vet-China를 선택하세요탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터당사의 제품은 생산 효율을 향상시킬 뿐만 아니라 장비의 수명도 연장시켜 줍니다. 엄격한 품질 관리를 통해 모든 제품이 최고 수준의 산업 표준을 충족하고 고객의 다양한 요구를 만족시키도록 보장합니다.
Vet-China는 지속적인 기술 혁신을 통해 고객에게 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하고 산업 발전을 촉진하기 위해 노력하고 있습니다. 당사의 탄탈륨 카바이드 코팅은 이러한 노력을 뒷받침합니다.웨이퍼Susceptor는 고온 및 부식성 환경에 적합한 믿을 수 있는 솔루션으로, 귀사의 애플리케이션이 새로운 차원으로 도약할 수 있도록 지원합니다.
TaC 코팅은 물리적 증착 기술로 제조된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅의 일종으로, 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.
1. 높은 경도: TaC 코팅은 경도가 높아 일반적으로 2500~3000HV에 달하며, 우수한 경질 코팅입니다.
2. 내마모성: TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
3. 우수한 고온 저항성: TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 화학적 안정성이 뛰어나 산 및 염기와 같은 다양한 화학 반응에 대한 저항성을 갖습니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타씨 코팅 | |
| 치수/밀도 | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / 특정 방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 / 열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도 / 경도 (HK) | 2000 홍콩 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 발열정성 / 열안정성 | <2500℃ |
| stone墨尺寸变化 / 흑연의 크기 변화 | -10~-20μm |
| 涂层厚道 / 코팅두께 | ≥20μm (일반적인 값: 35μm±10μm) |









