Vet-China에서 생산합니다탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터최첨단 CVD 코팅 기술을 사용하여 극한의 작업 조건에서도 우수한 성능을 발휘합니다.탄탈륨 카바이드이 소재는 내마모성과 내부식성을 모두 갖추고 있어 반도체 제조 산업에 이상적인 선택입니다.
고온 및 부식성 환경에서는탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터탁월한 화학적 불활성 및 열 안정성을 자랑하며, 다양한 화학 매체의 부식을 효과적으로 방지하여 가혹한 조건에서도 장기간 사용할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 당사의 가이드 링은 반도체 공정, 화학 응용 분야 및 기타 분야에서 뛰어난 적용 가능성을 가지고 있습니다.
Vet-China 선택하기탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 서셉터생산 효율성을 향상시킬 뿐만 아니라 장비의 수명도 연장할 수 있습니다. 당사 제품은 엄격한 품질 관리를 통해 모든 제품이 업계 최고 기준을 충족하도록 보장하며, 고객의 다양한 요구를 충족합니다.
Vet-China는 끊임없는 기술 혁신을 통해 고객에게 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하고 업계 발전을 촉진하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 탄탈륨 카바이드 코팅웨이퍼Susceptor는 고온 및 부식성 환경에서 신뢰할 수 있는 선택으로, 귀하의 응용 분야가 새로운 차원으로 도약하는 데 도움이 됩니다.
TaC 코팅은 물리 기상 증착 기술을 사용하여 제조된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅의 일종으로 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다.
1. 높은 경도: TaC 코팅 경도는 높고, 일반적으로 2500-3000HV에 도달할 수 있으며, 우수한 경질 코팅입니다.
2. 내마모성: TaC 코팅은 내마모성이 매우 뛰어나 사용 중 기계 부품의 마모와 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
3. 우수한 고온 내구성: TaC 코팅은 고온 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다.
4. 우수한 화학적 안정성: TaC 코팅은 우수한 화학적 안정성을 가지고 있어 산, 염기 등 많은 화학 반응에 저항할 수 있습니다.
| 碳化钽涂层물리特性식물리특성 물리적 특성 타크 코팅 | |
| 치수/밀도 | 14.3(g/cm³) |
| 比辐射率 / 특정 방사율 | 0.3 |
| 热膨胀系数 / 열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬도 / 경도 (HK) | 2000 홍콩달러 |
| 电阻 / 저항 | 1×10-5옴*cm |
| 발열정성 / 열안정성 | <2500℃ |
| stone墨尺寸变化 / 흑연의 크기 변화 | -10~-20um |
| 涂层厚道 / 코팅두께 | ≥20um 일반적인 값(35um±10um) |










