CVD 코팅이 적용된 재결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

간단한 설명:

VET 에너지 재결정화 탄화규소 웨이퍼 보트는 장기간 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 분야에 완벽한 솔루션입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

재결정된 탄화규소의 특성

재결정 탄화규소(R-SiC)는 2000℃ 이상의 고온에서 형성되어 다이아몬드에 이어 두 번째로 높은 경도를 가진 고성능 소재입니다. 고온 강도, 강한 내식성, 우수한 산화방지제, 우수한 열충격 저항성 등 SiC의 여러 우수한 특성을 그대로 유지합니다.

● 우수한 기계적 특성. 재결정 탄화규소는 탄소 섬유보다 강도와 강성이 높고, 내충격성이 우수하며, 극한 온도 환경에서도 우수한 성능을 발휘하고 다양한 상황에서 더 나은 균형 성능을 발휘합니다. 또한, 유연성이 뛰어나고 신축 및 굽힘에 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.

● 높은 내식성. 재결정된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 높은 내식성을 가지고 있어 다양한 부식성 매체의 침식을 방지하고, 기계적 특성을 장기간 유지하며, 접착력이 강하여 사용 수명이 길어집니다. 또한, 열 안정성이 우수하여 특정 온도 변화에 적응할 수 있어 적용 효과를 향상시킵니다.

● 소결 시 수축이 발생하지 않습니다. 소결 과정에서 수축이 발생하지 않으므로 잔류 응력으로 인한 제품 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 고정밀도의 부품을 제작할 수 있습니다.

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中结晶碳化硅물리특성

재결정된 탄화규소의 물리적 특성

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

사용온도/ 작동 온도(°C)

1600°C(산소 존재), 1700°C(환원 환경)

SiC/ SiC 함량

> 99.96%

자작Si含량/ 무료 Si 콘텐츠

< 0.1%

체감도/체적 밀도

2.60~2.70g/cm3

气孔率/ 겉보기 다공성

< 16%

抗压强도/ 압축 강도

> 600엠파

常温抗弯强degree/냉간 굽힘 강도

80~90MPa(20°C)

고온발효도열간 굽힘 강도

90-100MPa(1400°C)

热膨胀系数/ 열팽창 @1500°C

4.70 10-6/°C

导熭系数/열전도도 @1200°C

23와트/m•K

杨氏模량/ 탄성계수

240 GPa

抗熱震性/ 열충격 저항성

매우 좋음

VET 에너지는 그만큼CVD 코팅을 사용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체공급할 수 있습니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로 구성되어 있어 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.

우리는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 진보된 공정을 개발하고 있습니다.그리고코팅과 기질 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 낮출 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

CVD SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

晶体结构 / 결정 구조

FCC β상多晶,主要为(111) 取向

크기 / 밀도

3.21g/cm³

정도 / 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 입자 크기

2~10㎛

정도 / 화학적 순도

99.99995%

발열 / 열용량

640 J·kg-1·케이-1

升华温도 / 승화 온도

2700℃

抗弯强島 / 굽힘 강도

415 MPa RT 4점

杨氏模량 / 영률

430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃

导熭系数 / 테르마전도도

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 / 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

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우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!

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