CVD 코팅 처리된 재결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

간략한 설명:

VET Energy의 재결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 애플리케이션에 최적의 솔루션입니다.


제품 상세 정보

제품 태그

재결정된 탄화규소의 특성

재결정 탄화규소(R-SiC)는 다이아몬드 다음으로 경도가 높은 고성능 소재로, 2000℃ 이상의 고온에서 형성됩니다. R-SiC는 고온 강도, 뛰어난 내식성, 내산화성, 내열충격성 등 기존 탄화규소(SiC)의 우수한 특성을 그대로 유지합니다.

● 탁월한 기계적 특성. 재결정화된 탄화규소는 탄소섬유보다 강도와 강성이 높고 충격 저항성이 뛰어나 극한 온도 환경에서도 우수한 성능을 발휘하며 다양한 상황에서 균형 유지에 탁월한 효과를 제공합니다. 또한, 유연성이 뛰어나 늘어나거나 구부러져도 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.

● 높은 내식성. 재결정화된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 높은 내식성을 지니고 있어, 다양한 부식성 매체에 의한 침식을 방지하고, 기계적 특성을 장기간 유지할 수 있으며, 접착력이 강하여 수명이 연장됩니다. 또한, 열 안정성이 우수하여 일정 범위의 온도 변화에 적응할 수 있어 적용 효과를 향상시킵니다.

● 소결 공정은 수축이 일어나지 않습니다. 소결 공정에서 수축이 발생하지 않기 때문에 잔류 응력으로 인한 제품 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 높은 정밀도를 요구하는 부품을 제작할 수 있습니다.

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中结晶碳化硅물리특성

재결정된 탄화규소의 물리적 특성

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

사용온도/ 작동 온도 (°C)

1600°C (산소 존재 시), 1700°C (환원 환경)

SiC/ SiC 함량

> 99.96%

자작Si含량/ 무료 Si 콘텐츠

< 0.1%

체감도/부피 밀도

2.60-2.70 g/cm3

气孔率/ 겉보기 다공성

16% 미만

抗压强도압축 강도

> 600MPa

常温抗弯强degree/냉간 굽힘 강도

80-90 MPa (20°C)

고온발효도고온 굽힘 강도

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ 1500°C에서의 열팽창

4.70 10-6/°C

导熭系数/1200°C에서의 열전도율

23워/m•K

杨氏模량탄성 계수

240 GPa

抗熱震性열충격 저항성

매우 좋음

VET Energy는 그만큼CVD 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체입니다.공급 가능합니다다양한반도체 및 태양광 산업용 맞춤형 부품. O저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.

우리는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발하고 있습니다.그리고코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

심혈관 질환 SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

晶体结构 결정 구조

FCC β상多晶,主要为(111) 取向

크기 / 밀도

3.21 g/cm³

정도 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 곡물 크기

2~10μm

정도 화학적 순도

99.99995%

발열 / 열용량

640 J·kg-1·케이-1

升华温도 승화 온도

2700℃

抗弯强島 굽힘 강도

415 MPa RT 4점

杨氏模량 / 영률

430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

导熭系数 / 써마전도도

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

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저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.

生产设备

 

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