실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 웨이퍼를 지지하는 장치로, 주로 태양광 및 반도체 확산 공정에 사용됩니다. 내마모성, 내식성, 고온 충격 저항성, 플라즈마 충격 저항성, 고온 내성, 높은 열전도율, 우수한 방열성 등의 특성을 지니고 있으며, 장기간 사용해도 휘거나 변형되지 않습니다. 당사는 고순도 실리콘 카바이드 소재를 사용하여 긴 수명을 보장하며, 다양한 수직형 및 수평형 웨이퍼 보트를 포함한 맞춤형 설계를 제공합니다.
재료 데이터시트
| 材料재료 | R-SiC |
| 사용온도작동 온도 (°C) | 1600°C ( 氧化气氛산화 환경)1700°C ( 还原气氛환원 환경) |
| SiC 용량SiC 함유량(%) | > 99 |
| 자작Si 량Free Si 함량(%) | < 0.1 |
| 체감도부피 밀도 (g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率겉보기 다공성(%) | < 16 |
| 抗压强도압축 강도(MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强degree냉간 굽힘 강도(MPa) | 80-90도 (20°C) |
| 고온발효도고온 굽힘 강도(MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数열팽창계수 @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导熭系数1200°C에서의 열전도율 (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模량탄성 계수(GPa) | 240 |
| 抗熱震性열충격 저항성 | 很好매우 좋음 |
닝보 VET 에너지 기술 유한회사당사는 고급 첨단 소재의 생산 및 판매에 주력하는 하이테크 기업으로, 소재 및 기술 분야에서 사업을 영위하고 있습니다.포함흑연, 탄화규소, 세라믹, 표면 처리 등 다양한 분야에서 제품을 생산하며, 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 여러 산업 분야에서 널리 사용됩니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.당신을 위한.
저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.
