Vet-Chinaが生産炭化タンタルコーティングされたウェーハサセプタ最先端のCVDコーティング技術を採用し、過酷な作業条件でも優れた性能を発揮します。炭化タンタルこの材料は耐摩耗性と耐腐食性を兼ね備えており、半導体製造業界に最適です。
高温および腐食性の環境では、タンタルカーバイドコーティング ウェーハサセプター優れた化学的不活性性と熱安定性を備え、様々な化学媒体による侵食に効果的に抵抗し、過酷な条件下での長期使用を保証します。この特性により、当社のガイドリングは半導体プロセス、化学アプリケーションなどの分野で大きな応用可能性を秘めています。
Vet-Chinaの選択タンタルカーバイドコーティング ウェーハサセプター生産効率を向上させるだけでなく、設備の耐用年数を延ばすことも可能です。当社の製品は厳格な品質管理を受けており、お客様の多様なニーズにお応えできるよう、業界最高水準の基準を満たしています。
ベットチャイナは、継続的な技術革新を通じて、お客様に信頼性の高いソリューションを提供し、業界の発展を促進することに尽力しています。当社のタンタルカーバイドコーティングウェーハサセプターは、高温および腐食性の環境に最適な信頼できる選択肢であり、アプリケーションを新たなレベルに引き上げるのに役立ちます。
TaC コーティングは物理蒸着技術によって製造されるタンタルカーバイド (TaC) コーティングの一種で、次のような特徴があります。
1.高硬度：TaCコーティングの硬度は高く、通常2500〜3000HVに達し、優れたハードコーティングです。
2. 耐摩耗性：TaCコーティングは耐摩耗性に優れており、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減します。
3. 優れた耐高温性: TaC コーティングは、高温環境下でも優れた性能を維持します。
4. 優れた化学的安定性: TaC コーティングは化学的安定性に優れ、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的特性 タック コーティング | |
| 密度 / 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張係数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度 / 硬度 (HK) | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5オーム*cm |
| 熱安定性・熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更 | -10～-20μm |
| 塗層厚さ / コーティング厚さ | ≥20umの標準値（35um±10um） |
寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンド先端材料の製造・販売を専門とするハイテク企業です。グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、表面処理などの材料と技術を扱っており、製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く利用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
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