Vet-Chinaは炭化タンタルコーティングされたウェーハサセプタ最先端のCVDコーティング技術を採用しており、過酷な作業条件下でも優れた性能を発揮します。炭化タンタルこの材料は耐摩耗性と耐腐食性を兼ね備えているため、半導体製造業界にとって理想的な選択肢となる。
高温および腐食性環境下では、炭化タンタルコーティング ウェーハサセプター優れた耐薬品性と耐熱性を備え、様々な化学媒体による腐食に効果的に耐えることができ、過酷な条件下でも長期使用が可能です。この特性により、当社のガイドリングは半導体製造、化学用途、その他の分野において大きな応用可能性を秘めています。
Vet-Chinaを選ぶ炭化タンタルコーティング ウェーハサセプター生産効率の向上だけでなく、機器の耐用年数の延長にも貢献します。当社の製品は厳格な品質管理のもと、業界最高水準を満たし、お客様の多様なニーズにお応えします。
Vet-Chinaは、継続的な技術革新を通じて、お客様に信頼性の高いソリューションを提供し、業界の発展を促進することに尽力しています。当社のタンタルカーバイドコーティングウェハーSusceptorは、高温および腐食性環境において信頼できる選択肢であり、お客様のアプリケーションを新たな高みへと導きます。
TaCコーティングは、物理蒸着技術によって作製される炭化タンタル（TaC）コーティングの一種であり、以下の特徴を有しています。
1. 高硬度: TaC コーティングの硬度は高く、通常 2500～3000HV に達し、優れた硬質コーティングです。
2. 耐摩耗性：TaCコーティングは非常に耐摩耗性に優れており、使用中の機械部品の摩耗や損傷を効果的に軽減できます。
3. 優れた耐高温性：TaCコーティングは高温環境下でも優れた性能を維持できます。
4. 優れた化学的安定性：TaCコーティングは優れた化学的安定性を持ち、酸や塩基などの多くの化学反応に耐えることができます。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的性質 TaC コーティング | |
| 密度 / 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張係数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度 / 硬度 (HK) | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5オーム・センチメートル |
| 熱安定性・熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズ変更 | -10～-20μm |
| 塗層厚さ / コーティング厚さ | 20μm以上（標準値：35μm±10μm） |
寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンド先端材料の製造・販売に特化したハイテク企業です。取り扱う材料と技術は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、表面処理など多岐にわたります。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう！
