Vet-China produziertMit Tantalkarbid beschichteter Wafer-Suszeptor, das modernste CVD-Beschichtungstechnologie nutzt und unter extremen Arbeitsbedingungen gute Leistungen erbringt. SeineTantalcarbidDas Material vereint Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und ist daher die ideale Wahl für die Halbleiterfertigungsindustrie.
In Umgebungen mit hohen Temperaturen und KorrosionsbeständigkeitTantalcarbid-beschichtet Wafer-Suszeptorweist eine ausgezeichnete chemische Inertheit und thermische Stabilität auf und widersteht effektiv der Erosion verschiedener chemischer Medien, was einen langfristigen Einsatz unter rauen Bedingungen gewährleistet. Diese Eigenschaft verleiht unseren Führungsringen großes Anwendungspotenzial in der Halbleiterverarbeitung, in chemischen Anwendungen und anderen Bereichen.
Auswahl von Vet-China'sTantalcarbid-beschichtet Wafer-Suszeptorkann nicht nur Ihre Produktionseffizienz verbessern, sondern auch die Lebensdauer der Geräte verlängern. Unsere Produkte unterliegen einer strengen Qualitätskontrolle, um sicherzustellen, dass jedes Produkt den höchsten Industriestandards entspricht und den unterschiedlichen Anforderungen der Kunden gerecht wird.
Durch kontinuierliche technologische Innovation ist Vet-China bestrebt, seinen Kunden zuverlässige Lösungen zu bieten und den Branchenfortschritt zu fördern. Unsere Tantalcarbid-BeschichtungWaffelSusceptor ist Ihre bewährte Wahl für Umgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion und hilft Ihren Anwendungen, neue Höhen zu erreichen.
Bei der TaC-Beschichtung handelt es sich um eine Art Tantalkarbid-Beschichtung (TaC), die durch physikalische Gasphasenabscheidung hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:
1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen. Es handelt sich um eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.
3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen ihre hervorragende Leistung.
4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度 / Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度 / Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Schichtdicke | ≥20 µm typischer Wert (35 µm±10 µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger, fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, erneuerbaren Energien, Metallurgie usw.
Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionellere Materiallösungen bieten.
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