ເຮືອ Quartz ແມ່ນຫຍັງ?
A ເຮືອ quartzເປັນຕົວບັນຈຸຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ເຮັດດ້ວຍຊິລິກາຟິວສິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວມີການອອກແບບຫຼາຍຊ່ອງ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຖື wafers ຊິລິໂຄນ, substrates semiconductor, ຫຼືວັດສະດຸອື່ນໆໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໃນການຜະລິດ photovoltaic ແລະ semiconductor, ເຮືອ quartz ແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີ (CVD), ແລະການຫມຸນ, ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ.
ຟັງຊັນຫຼັກ:
ພະລັງງານໄຟຟ້າ: ໃຊ້ໃນການແຜ່ກະຈາຍ phosphorus (ເພື່ອສ້າງເປັນ PN junctions) ແລະ passivation layer deposition ສໍາລັບ silicon wafers ໃນ furnaces ອຸນຫະພູມສູງ.
ເຊມິຄອນດັກເຕີ: ປະຕິບັດການ wafers ໃນລະຫວ່າງການຜຸພັງ, etching, ແລະ deposition ຮູບເງົາບາງໆໃນການ fabrication chip.
ເຮືອ Quartz ຖືກອອກແບບແລະຜະລິດແນວໃດ?
ການອອກແບບຂອງເຮືອ quartz waferຕ້ອງມີເງື່ອນໄຂດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
-ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:
ວັດຖຸດິບ SiO2 ຕ້ອງເກີນຄວາມບໍລິສຸດ 99.99% ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນ.
-ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ:
ທົນທານຕໍ່ກັບການສໍາຜັດເປັນເວລາດົນນານກັບອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1200 ℃ໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມຂອງໂຄງສ້າງ.
-ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ:
ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຈະຕ້ອງຖືກຫຼຸດໜ້ອຍທີ່ສຸດ (≈5.5 10-6/℃) ເພື່ອປ້ອງກັນການເກີດການແຕກ ຫຼື ແຕກ.
-ການອອກແບບສະລັອດຕິງ Precision:
ຄວາມທົນທານໄລຍະຫ່າງຂອງສະລັອດຕິງຄວບຄຸມພາຍໃນ± 0.1mm ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ.
ເຮືອ quartz ຜະລິດແນວໃດ?
ການຊໍາລະວັດຖຸດິບ:
ດິນຊາຍ quartz ທໍາມະຊາດຖືກລະລາຍໃນເຕົາໄຟຟ້າທີ່ອຸນຫະພູມ 2000 ອົງສາ C ເພື່ອເອົາສິ່ງສົກກະປົກເຊັ່ນ Fe, Al, ແລະ Na.
ເຕັກນິກການປະກອບ:
CNC Machining: ເຄື່ອງມືຄູ່ມືຄອມພິວເຕີແກະສະລັກສະລັອດຕິງທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຍ່ອຍມີລີແມັດ.
ການຫລໍ່ແມ່ພິມ: ສໍາລັບເລຂາຄະນິດທີ່ສັບສົນ, ຊິລິກາ fused ແມ່ນ poured ເຂົ້າໄປໃນ molds graphite ແລະ sintered.
ຄວາມສົມບູນຂອງພື້ນຜິວ:
ການຂັດເຄື່ອງ Diamond-tool ບັນລຸຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (Ra) <0.5 μm, ຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ.
ການລ້າງອາຊິດ (ຕົວຢ່າງ, HCl) ເອົາສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຕົກຄ້າງ.
ການທົດສອບຢ່າງເຂັ້ມງວດ:
ການທົດສອບການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ: ຮອບວຽນຢ່າງວ່ອງໄວລະຫວ່າງ 25 ℃ແລະ 1200 ℃ເພື່ອກວດກາເບິ່ງຄວາມຕ້ານທານຮອຍແຕກ.
ການວິເຄາະຄວາມບໍລິສຸດ: Glow discharge mass spectrometry (GDMS) ກວດພົບຄວາມບໍ່ສະອາດຕາມຮອຍ.
ເປັນຫຍັງເຮືອ quartz ຈຶ່ງບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເຫຼົ່ານີ້?
ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີ: ຕ້ານການປະຕິກິລິຍາກັບອາຊິດ, ເປັນດ່າງ, chlorine, ແລະທາດອາຍຜິດຂະບວນການໃນອຸນຫະພູມສູງ.
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ: ເໜືອກວ່າໂລຫະ ຫຼືເຊລາມິກໃນວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາເນື່ອງຈາກ CTE ຕໍ່າສຸດ.
ຄວາມໂປ່ງໃສທາງແສງ: ອະນຸຍາດໃຫ້ສົ່ງແສງ UV-IR ສໍາລັບຂະບວນການ CVD ທີ່ມີຮູບພາບຊ່ວຍ.
ການປຽບທຽບ:
ເຮືອ Silicon Carbide (SiC).: ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສູງຂຶ້ນແລະປະຕິກິລິຍາກັບອົກຊີເຈນ (ສ້າງ CO2).
ເຮືອໄຟ: ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຄາບອນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຕ້ານທານຂອງ wafer.
ເຮືອ quartz ເຮັດວຽກແນວໃດໃນສາຍການຜະລິດ photovoltaic?
ການແຜ່ກະຈາຍຟອສຟໍຣັດ:
ຂະບວນການ: Silicon wafers ໄດ້ຖືກບັນຈຸເຂົ້າໄປໃນເຮືອ quartz ແລະສໍາຜັດກັບອາຍແກັສ POCl3 ຢູ່ທີ່ 850-950 ℃ເພື່ອສ້າງເປັນ PN junctions.
Quartz ມີຄວາມຕ້ານທານ corrosion ດີກວ່າຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມ POCl3 ຮຸກຮານ.
PERC ເຊນ Passivation:
ຂະບວນການ: ຖື wafers ໃນໄລຍະ Al2O3deposition ສໍາລັບການ passivation ດ້ານຫລັງ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບການແປງ.
ພາລາມິເຕີທີ່ສໍາຄັນ: ການອອກແບບສະລັອດຕິງຮັບປະກັນຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາເປັນເອກະພາບ≤3%.
ເຮືອ quartz ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການປຸງແຕ່ງ wafer ແນວໃດ?
ຂະບວນການຜຸພັງ:
ຂະບວນການ: wafers ໄດ້ຖືກ loaded ໃນແນວຕັ້ງເຂົ້າໄປໃນເຮືອ quartz ສໍາລັບການຜຸພັງແຫ້ງ / ຊຸ່ມຢູ່ 1100 ℃ການຂະຫຍາຍຕົວຊັ້ນ SiO2.
ຄຸນນະສົມບັດການອອກແບບ: ຝາສະລັອດຕິງເປັນມຸມ 5-10 °ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ wafer slippage.
ຂະບວນການ CVD:
ຂະບວນການ: ເປີດໃຊ້ການແຜ່ກະຈາຍ plasma ເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງ Si3N4 ຫຼື polysilicon deposition.
ນະວັດຕະກໍາ: ການອອກແບບຂັ້ນສູງລວມເອົາຊ່ອງທາງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສສໍາລັບການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາ.
ການປະຕິບັດອັນໃດທີ່ຊ່ວຍຍືດອາຍຸຊີວິດຂອງ quartz boa ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ?
ຮອບວຽນທໍາຄວາມສະອາດ:
ປະຈໍາວັນ: ນ້ໍາ Deionized + CO2 snow jet ທໍາຄວາມສະອາດເອົາອະນຸພາກວ່າງ.
ປະຈໍາອາທິດ: ການແຊ່ນ້ໍາໃນອາຊິດ citric 5% ຢູ່ທີ່ 80 ℃ເຮັດໃຫ້ການລະລາຍອອກໄຊໂລຫະ.
ລາຍການກວດກາ:
Devitrification: ຈຸດສີຂາວເທິງ quartz ຊີ້ໃຫ້ເຫັນເຖິງການໄປເຊຍກັນ; ທົດແທນຖ້າການຄຸ້ມຄອງເກີນ 5%.
Microcracks: ໃຊ້ dye penetrant testing ເພື່ອກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງພື້ນຜິວຍ່ອຍ.
ຄວາມກ້າວຫນ້າອັນໃດທີ່ຈະກໍານົດເຕັກໂນໂລຢີເຮືອ quartz ຄືນໃຫມ່?
ເຮືອທີ່ເປີດໃຊ້ IoT:
ເຊັນເຊີ Bragg grating (FBG) ເສັ້ນໄຍທີ່ຝັງຢູ່ຕິດຕາມການປັບລະດັບອຸນຫະພູມຕາມເວລາຈິງ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ± 1°C).
ການເຄືອບຂັ້ນສູງ:
ການເຄືອບ Yttria-stabilized zirconia (YSZ) ຫຼຸດຜ່ອນການກໍ່ສ້າງ silicon carbide 70% ໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxial.
ການຜະລິດສານເສບຕິດ:
ເຮືອ quartz ພິມ 3D ທີ່ມີໂຄງສ້າງເສັ້ນດ່າງຕັດນ້ໍາຫນັກ 40% ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມແຂງ.
ສະຫຼຸບ
ຈາກການເຮັດໃຫ້ຟາມແສງຕາເວັນຂະໜາດ terawatt ເພື່ອໃຫ້ພະລັງງານການປະຕິວັດ AI ຜ່ານ semiconductors ກ້າວຫນ້າ,ເຮືອ quartzແມ່ນແຮງງານທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງ miniaturization ແລະປະສິດທິພາບ, ການປະດິດສ້າງໃນການອອກແບບເຮືອ quartz ແລະວິທະຍາສາດວັດສະດຸຈະຍັງຄົງເປັນຈຸດສໍາຄັນ - ພິສູດວ່າເຖິງແມ່ນວ່າໃນຍຸກຂອງ AI ແລະຄອມພິວເຕີ້ quantum, ບາງອຸປະກອນ "ເກົ່າແກ່" ຍັງຖືກຸນແຈໄປສູ່ອະນາຄົດ.
ເວລາປະກາດ: 20-03-2025