ເຮືອ Quartz: ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳໄຟຟ້າແສງຕາເວັນ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນຳ

ເຮືອ Quartz ແມ່ນຫຍັງ?

A ເຮືອ quartzເປັນຕົວນຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ເຮັດດ້ວຍຊິລິກາທີ່ປະສົມຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະມີການອອກແບບຫຼາຍຊ່ອງ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຖືແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ຊັ້ນຮອງເຄິ່ງຕົວນໍາ, ຫຼືວັດສະດຸອື່ນໆໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໃນການຜະລິດແສງອາທິດ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນໍາ, ເຮືອ quartz ແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການວາງໄອເຄມີ (CVD), ແລະການຫົດ, ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບການຜະລິດ ແລະ ຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນ.

ໜ້າທີ່ຫຼັກ:

ພະລັງງານແສງຕາເວັນໃຊ້ໃນການແຜ່ກະຈາຍຟອສຟໍຣັດ (ເພື່ອສ້າງຈຸດຕໍ່ PN) ແລະ ການວາງຊັ້ນປ້ອງກັນສຳລັບແຜ່ນຊິລິໂຄນໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ເຄິ່ງຕົວນຳ: ແບກຫາບແຜ່ນແພໃນລະຫວ່າງການຜຸພັງ, ການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆໃນການຜະລິດຊິບ.

ເຮືອ Quartz ຖືກອອກແບບ ແລະ ຜະລິດແນວໃດ?

ການອອກແບບຂອງເຮືອເວເຟີ quartzຕ້ອງຕອບສະໜອງເງື່ອນໄຂດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
-ຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ:

ວັດສະດຸ SiO2 ດິບຕ້ອງມີຄວາມບໍລິສຸດເກີນ 99.99% ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນ.

-ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ:

ທົນທານຕໍ່ການສຳຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1200℃ ເປັນເວລາດົນນານໂດຍບໍ່ມີການເຊື່ອມໂຊມຂອງໂຄງສ້າງ.

-ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ:

ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຫຼຸດຜ່ອນໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ (≈5.5 10-6/℃) ເພື່ອປ້ອງກັນການບິດເບືອນ ຫຼື ການແຕກ.

-ການອອກແບບຊ່ອງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:

ຄວາມທົນທານຂອງໄລຍະຫ່າງຂອງຊ່ອງຄວບຄຸມພາຍໃນ± 0.1 ມມ ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ເຮືອ quartz ຖືກຜະລິດແນວໃດ?

ການເຮັດໃຫ້ບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸດິບ:

ດິນຊາຍຄວດສ໌ທຳມະຊາດຖືກລະລາຍໃນເຕົາໄຟຟ້າທີ່ອຸນຫະພູມ 2000°C ເພື່ອກຳຈັດສິ່ງເຈືອປົນເຊັ່ນ: Fe, Al, ແລະ Na.

ເຕັກນິກການສ້າງຮູບແບບ:

ການເຄື່ອງຈັກ CNC: ເຄື່ອງມືທີ່ນຳທາງດ້ວຍຄອມພິວເຕີຈະແກະສະຫຼັກຮ່ອງດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳຕ່ຳກວ່າມິນລີແມັດ.
ການຫລໍ່ແມ່ພິມ: ສຳລັບຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ຊິລິກາທີ່ປະສົມແລ້ວຈະຖືກຖອກໃສ່ແມ່ພິມແກຣໄຟ ແລະ ເຜົາ.

ຄວາມສົມບູນແບບຂອງພື້ນຜິວ:

ການຂັດເງົາເຄື່ອງມືເພັດບັນລຸຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (Ra) <0.5 μm, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ.
ການລ້າງດ້ວຍກົດ (ເຊັ່ນ: HCl) ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ຍັງເຫຼືອ.

ການທົດສອບທີ່ເຂັ້ມງວດ:

ການທົດສອບການຊ໊ອກດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ: ໝຸນວຽນຢ່າງໄວວາລະຫວ່າງ 25℃ ແລະ 1200℃ ເພື່ອກວດສອບຄວາມຕ້ານທານຮອຍແຕກ.
ການວິເຄາະຄວາມບໍລິສຸດ: ການວິເຄາະມວນສານແບບແສງ (GDMS) ສາມາດກວດຫາສິ່ງເຈືອປົນໄດ້ຕາມຮ່ອງຮອຍ.

ເປັນຫຍັງເຮືອ quartz ຈຶ່ງບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເຫຼົ່ານີ້?

ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີຕ້ານທານປະຕິກິລິຍາກັບກົດ, ດ່າງ, ຄລໍຣີນ, ແລະ ອາຍແກັສໃນຂະບວນການທີ່ອຸນຫະພູມສູງ.

ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນດີກ່ວາໂລຫະ ຫຼື ເຊລາມິກຫຼາຍໃນວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ໄວ ເນື່ອງຈາກ CTE ຕ່ຳຫຼາຍ.

ຄວາມໂປ່ງໃສທາງດ້ານແສງອະນຸຍາດໃຫ້ສົ່ງຜ່ານແສງ UV-IR ສຳລັບຂະບວນການ CVD ທີ່ມີການຊ່ວຍເຫຼືອຈາກແສງ.

ການປຽບທຽບ:

ເຮືອຊິລິກອນຄາໄບ (SiC): ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ ແລະ ປະຕິກິລິຍາກັບອົກຊີເຈນສູງຂຶ້ນ (ສ້າງ CO2).

ເຮືອກຣາໄຟດຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຄາບອນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຕ້ານທານຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ເຮືອ quartz ເຮັດວຽກແນວໃດໃນສາຍການຜະລິດ photovoltaic?

ການແຜ່ກະຈາຍຟອສຟໍຣັດ:
ຂະບວນການ: ເວເຟີຊິລິໂຄນຖືກໂຫຼດເຂົ້າໄປໃນເຮືອ quartz ແລະ ສຳ ຜັດກັບອາຍແກັສ POCl3 ທີ່ 850-950 ℃ເພື່ອສ້າງຈຸດຕໍ່ PN.
Quartz ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມ POCl3 ທີ່ຮຸກຮານ.

ການເຮັດໃຫ້ຈຸລັງ PERC ເປັນຕົວກະຕຸ້ນ:
ຂະບວນການ: ຍຶດແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການຕົກຕະກອນ Al2O3 ສຳລັບການເຮັດໃຫ້ຜິວໜ້າດ້ານຫຼັງເປັນຮູບຊົງກົມ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບການປ່ຽນຮູບ.
ພາລາມິເຕີທີ່ສຳຄັນ: ການອອກແບບຊ່ອງຮັບປະກັນຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບ ≤3%.

ເຮືອ quartz ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການປຸງແຕ່ງ wafer ໄດ້ແນວໃດ?

ຂະບວນການຜຸພັງ:
ຂະບວນການ: ແຜ່ນເວເຟີຖືກໂຫຼດລົງໃນເຮືອ quartz ແນວຕັ້ງເພື່ອການຜຸພັງແບບແຫ້ງ/ປຽກທີ່ 1100 ℃ ເພື່ອປູກຊັ້ນ SiO2.
ລັກສະນະການອອກແບບ: ກຳແພງຊ່ອງມີມຸມ 5-10° ເພື່ອປ້ອງກັນການເລື່ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ຂະບວນການ CVD:
ຂະບວນການ: ເຮັດໃຫ້ການແຈກຢາຍພລາສມາເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງການວາງ Si3N4 ຫຼື ໂພລີຊິລິຄອນ.
ນະວັດຕະກໍາ: ການອອກແບບທີ່ກ້າວໜ້າປະກອບມີຊ່ອງທາງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສເພື່ອປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຟິມ.

ມີວິທີປະຕິບັດອັນໃດແດ່ທີ່ຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງງູ quartz ໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ບໍ່ເຮັດວຽກ?

ວົງຈອນການທຳຄວາມສະອາດ:
ທຸກໆມື້: ການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ + ເຄື່ອງສີດຫິມະ CO2 ກຳຈັດອະນຸພາກທີ່ວ່າງອອກ.

ອາທິດ: ການແຊ່ໃນກົດຊິຕຣິກ 5% ທີ່ອຸນຫະພູມ 80 ℃ ຈະລະລາຍໂລຫະອອກໄຊ.

ລາຍການກວດສອບ:
ການຫຼຸດລະດັບສີ: ຈຸດສີຂາວເທິງຫີນຄວດສ໌ຊີ້ບອກເຖິງການເກີດຜລຶກ; ປ່ຽນໃໝ່ຖ້າຄວາມຄຸມຂັງເກີນ 5%.
ຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ: ໃຊ້ການທົດສອບການຊຶມເຂົ້າຂອງສີຍ້ອມເພື່ອກວດຫາຂໍ້ບົກຜ່ອງໃຕ້ພື້ນຜິວ.

ຄວາມກ້າວໜ້າອັນໃດແດ່ທີ່ຈະກຳນົດນິຍາມເຕັກໂນໂລຢີເຮືອ quartz ຄືນໃໝ່?

ເຮືອທີ່ໃຊ້ IoT:
ເຊັນເຊີເສັ້ນໄຍ Bragg grating (FBG) ທີ່ຝັງຢູ່ຈະຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນເວລາຈິງ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ±1°C).

ການເຄືອບຂັ້ນສູງ:
ການເຄືອບເຊີໂຄເນຍທີ່ສະຖຽນລະພາບດ້ວຍ Yttria (YSZ) ຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຂອງຊິລິກອນຄາໄບໄດ້ 70% ໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxial.

ການຜະລິດສານເຕີມແຕ່ງ:
ເຮືອ quartz ທີ່ພິມດ້ວຍ 3D ທີ່ມີໂຄງສ້າງຕາຂ່າຍຊ່ວຍຫຼຸດນ້ຳໜັກໄດ້ 40% ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມແຂງແຮງ.

ສະຫຼຸບ

ຕັ້ງແຕ່ການເປີດໃຊ້ຟາມພະລັງງານແສງຕາເວັນຂະໜາດເທຣາວັດ ຈົນເຖິງການຂັບເຄື່ອນການປະຕິວັດ AI ຜ່ານເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ,ເຮືອ quartzເປັນເຄື່ອງມືທີ່ບໍ່ມີຄວາມໂດດເດັ່ນຂອງເທັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆກຳລັງຍູ້ຂອບເຂດຂອງການຫຍໍ້ຂະໜາດ ແລະ ປະສິດທິພາບ, ນະວັດຕະກຳໃນການອອກແບບເຮືອ quartz ແລະ ວິທະຍາສາດວັດສະດຸຈະຍັງຄົງເປັນຈຸດສຳຄັນ - ພິສູດວ່າເຖິງແມ່ນວ່າໃນຍຸກຂອງ AI ແລະ ການປະມວນຜົນ quantum, ວັດສະດຸ "ແບບເກົ່າ" ບາງຢ່າງຍັງຄົງເປັນກຸນແຈສູ່ອະນາຄົດ.