ക്വാർട്സ് ബോട്ട്: ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്, സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായങ്ങളിലെ ഒരു നിർണായക വാഹകൻ.

ഒരു ക്വാർട്സ് ബോട്ട് എന്താണ്?

A ക്വാർട്സ് ബോട്ട്ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ഒരു പ്രിസിഷൻ കാരിയറാണ്, സാധാരണയായി ഒരു മൾട്ടി-സ്ലോട്ട് ഡിസൈൻ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ, സെമികണ്ടക്ടർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ അല്ലെങ്കിൽ മറ്റ് വസ്തുക്കൾ സൂക്ഷിക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്‌ക്, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, ഡിഫ്യൂഷൻ, കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി), അനീലിംഗ് തുടങ്ങിയ നിർണായക പ്രക്രിയകൾക്ക് ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾ അത്യാവശ്യ ഉപകരണങ്ങളാണ്, ഇത് ഉൽ‌പാദന കാര്യക്ഷമതയെയും ഉൽപ്പന്ന വിളവിനെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

കോർ ഫംഗ്ഷനുകൾ:

ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്‌ക്‌സ്: ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ചൂളകളിൽ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾക്കുള്ള ഫോസ്ഫറസ് ഡിഫ്യൂഷനിലും (പിഎൻ ജംഗ്ഷനുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന്) പാസിവേഷൻ പാളി നിക്ഷേപത്തിലും ഉപയോഗിക്കുന്നു.
സെമികണ്ടക്ടറുകൾ: ചിപ്പ് നിർമ്മാണത്തിൽ ഓക്സീകരണം, എച്ചിംഗ്, നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപം എന്നിവയിൽ വേഫറുകൾ വഹിക്കുന്നു.

ഒരു ക്വാർട്സ് ബോട്ട് എങ്ങനെയാണ് രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത് നിർമ്മിക്കുന്നത്?

രൂപകൽപ്പന ചെയ്തത്ക്വാർട്സ് വേഫർ ബോട്ട്ഇനിപ്പറയുന്ന മാനദണ്ഡങ്ങൾ പാലിക്കണം:
-അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി:

മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കാൻ അസംസ്കൃത SiO2 വസ്തുക്കൾ 99.99% പരിശുദ്ധി കവിയണം.

-ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം:

ഘടനാപരമായ തകർച്ചയില്ലാതെ 1200℃ ന് മുകളിലുള്ള താപനിലയിൽ ദീർഘനേരം എക്സ്പോഷർ ചെയ്യുന്നത് ചെറുക്കുക.

-കുറഞ്ഞ താപ വികാസം:

വളച്ചൊടിക്കലോ വിള്ളലോ തടയുന്നതിന് താപ വികാസ ഗുണകം (CTE) പരമാവധി കുറയ്ക്കണം (≈5.5 10-6/℃).

-പ്രിസിഷൻ സ്ലോട്ട് ഡിസൈൻ:

ഏകീകൃത ചൂടാക്കൽ ഉറപ്പാക്കാൻ സ്ലോട്ട് സ്പേസിംഗ് ടോളറൻസ് ±0.1mm-നുള്ളിൽ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു.

ഒരു ക്വാർട്സ് ബോട്ട് എങ്ങനെയാണ് നിർമ്മിക്കുന്നത്?

അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ ശുദ്ധീകരണം:

Fe, Al, Na തുടങ്ങിയ മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി പ്രകൃതിദത്ത ക്വാർട്സ് മണൽ 2000°C-ൽ ഒരു ഇലക്ട്രിക് ആർക്ക് ഫർണസിൽ ഉരുക്കുന്നു.

രൂപീകരണ വിദ്യകൾ:

സി‌എൻ‌സി മെഷീനിംഗ്: കമ്പ്യൂട്ടർ ഗൈഡഡ് ഉപകരണങ്ങൾ മില്ലിമീറ്ററിൽ താഴെ കൃത്യതയോടെ സ്ലോട്ടുകൾ കൊത്തിയെടുക്കുന്നു.
മോൾഡ് കാസ്റ്റിംഗ്: സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികൾക്കായി, ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക ഗ്രാഫൈറ്റ് മോൾഡുകളിലേക്ക് ഒഴിച്ച് സിന്റർ ചെയ്യുന്നു.

ഉപരിതല പൂർണത:

ഡയമണ്ട്-ടൂൾ പോളിഷിംഗ് ഉപരിതല പരുക്കൻത (Ra) <0.5 μm കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് കണികകളുടെ ഒട്ടിപ്പിടിക്കൽ കുറയ്ക്കുന്നു.
ആസിഡ് വാഷിംഗ് (ഉദാ: HCl) അവശിഷ്ട മാലിന്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നു.

കർശനമായ പരിശോധന:

തെർമൽ ഷോക്ക് ടെസ്റ്റിംഗ്: വിള്ളൽ പ്രതിരോധം പരിശോധിക്കുന്നതിന് 25℃ നും 1200℃ നും ഇടയിൽ വേഗത്തിൽ സൈക്കിൾ ചെയ്തു.
ശുദ്ധതാ വിശകലനം: ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് മാസ് സ്പെക്ട്രോമെട്രി (GDMS) ട്രേസ് മാലിന്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുന്നു.

ഈ വ്യവസായങ്ങളിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾ പകരം വയ്ക്കാൻ കഴിയാത്തത് എന്തുകൊണ്ട്?

രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം: ഉയർന്ന താപനിലയിൽ ആസിഡുകൾ, ക്ഷാരങ്ങൾ, ക്ലോറിൻ, പ്രക്രിയാ വാതകങ്ങൾ എന്നിവയുമായുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളെ പ്രതിരോധിക്കുന്നു.

താപ സ്ഥിരത: വളരെ കുറഞ്ഞ CTE കാരണം ദ്രുത താപ ചക്രീകരണത്തിൽ ലോഹങ്ങളെക്കാളും സെറാമിക്സിനെക്കാളും വളരെ മികച്ചതാണ്.

ഒപ്റ്റിക്കൽ സുതാര്യത: ഫോട്ടോ സഹായത്തോടെയുള്ള സിവിഡി പ്രക്രിയകൾക്ക് UV-IR പ്രകാശ സംപ്രേഷണം അനുവദിക്കുന്നു.

താരതമ്യം:

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) ബോട്ട്: ഉയർന്ന വിലയും ഓക്സിജനുമായുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തനവും (CO2 ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു).

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്: വേഫർ പ്രതിരോധശേഷിയെ ബാധിക്കുന്ന കാർബൺ മലിനീകരണ സാധ്യത.

ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനുകളിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾ എങ്ങനെയാണ് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്?

ഫോസ്ഫറസ് വ്യാപനം:
പ്രക്രിയ: സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകളിൽ കയറ്റുകയും 850-950℃ താപനിലയിൽ POCl3 വാതകവുമായി സമ്പർക്കത്തിൽ വരുത്തി PN ജംഗ്ഷനുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
ആക്രമണാത്മക POCl3 പരിതസ്ഥിതികൾക്കെതിരെ ക്വാർട്സിന് മികച്ച നാശന പ്രതിരോധമുണ്ട്.

PERC സെൽ പാസിവേഷൻ:
പ്രക്രിയ: Al2O3 നിക്ഷേപ സമയത്ത് വേഫറുകൾ ബാക്ക്-സർഫേസ് പാസിവേഷനായി നിലനിർത്തുന്നു, പരിവർത്തന കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
ക്രിട്ടിക്കൽ പാരാമീറ്റർ: സ്ലോട്ട് ഡിസൈൻ ഫിലിം കനം ഏകീകൃതത ≤3% ഉറപ്പാക്കുന്നു.

വേഫർ സംസ്കരണത്തിൽ ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾ എങ്ങനെയാണ് കൃത്യത ഉറപ്പാക്കുന്നത്?

ഓക്സിഡേഷൻ പ്രക്രിയകൾ:
പ്രക്രിയ: 1100℃ താപനിലയിൽ വരണ്ട/നനഞ്ഞ ഓക്സീകരണത്തിനായി വേഫറുകൾ ക്വാർട്സ് ബോട്ടിലേക്ക് ലംബമായി കയറ്റുന്നു, ഇത് SiO2 പാളികൾ വളർത്തുന്നു.
ഡിസൈൻ സവിശേഷത: വേഫർ സ്ലിപ്പേജ് തടയാൻ 5-10° കോണിൽ സ്ലോട്ട് ഭിത്തികൾ.

സിവിഡി പ്രക്രിയകൾ:
പ്രക്രിയ: Si3N4 അല്ലെങ്കിൽ പോളിസിലിക്കൺ നിക്ഷേപ സമയത്ത് ഏകീകൃത പ്ലാസ്മ വിതരണം സാധ്യമാക്കുന്നു.
നൂതനാശയങ്ങൾ: മെച്ചപ്പെട്ട ഫിലിം സ്ഥിരതയ്ക്കായി ഗ്യാസ് ഫ്ലോ ചാനലുകൾ നൂതന ഡിസൈനുകളിൽ ഉൾപ്പെടുത്തിയിട്ടുണ്ട്.

ക്വാർട്സ് ബോവയുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനൊപ്പം പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുന്നതും ഏതൊക്കെ രീതികളാണ്?

സൈക്കിളുകൾ വൃത്തിയാക്കൽ:
ദിവസേന: ഡീയോണൈസ് ചെയ്ത വെള്ളം + CO2 സ്നോ ജെറ്റ് വൃത്തിയാക്കൽ അയഞ്ഞ കണങ്ങളെ നീക്കം ചെയ്യുന്നു.

ആഴ്ചതോറും: 80℃ താപനിലയിൽ 5% സിട്രിക് ആസിഡിൽ മുക്കിവയ്ക്കുന്നത് ലോഹ ഓക്സൈഡുകളെ അലിയിക്കുന്നു.

പരിശോധന ചെക്ക്‌ലിസ്റ്റ്:
ഡീവിട്രിഫിക്കേഷൻ: ക്വാർട്സിലെ വെളുത്ത പാടുകൾ ക്രിസ്റ്റലൈസേഷനെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു; കവറേജ് 5% കവിയുന്നുവെങ്കിൽ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുക.
മൈക്രോക്രാക്കുകൾ: ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ കണ്ടെത്തുന്നതിന് ഡൈ പെനട്രന്റ് ടെസ്റ്റിംഗ് ഉപയോഗിക്കുക.

ക്വാർട്സ് ബോട്ട് സാങ്കേതികവിദ്യയെ പുനർനിർവചിക്കാൻ എന്ത് മുന്നേറ്റങ്ങൾ സഹായിക്കും?

IoT- പ്രാപ്തമാക്കിയ ബോട്ടുകൾ:
എംബഡഡ് ഫൈബർ ബ്രാഗ് ഗ്രേറ്റിംഗ് (FBG) സെൻസറുകൾ തത്സമയ താപനില ഗ്രേഡിയന്റുകൾ (±1°C കൃത്യത) നിരീക്ഷിക്കുന്നു.

അഡ്വാൻസ്ഡ് കോട്ടിംഗുകൾ:
എപ്പിറ്റാക്സിയൽ റിയാക്ടറുകളിൽ യിട്രിയ-സ്റ്റെബിലൈസ്ഡ് സിർക്കോണിയ (YSZ) കോട്ടിംഗുകൾ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് അടിഞ്ഞുകൂടൽ 70% കുറയ്ക്കുന്നു.

അഡിറ്റീവ് നിർമ്മാണം:
ലാറ്റിസ് ഘടനകളുള്ള 3D പ്രിന്റഡ് ക്വാർട്സ് ബോട്ടുകൾ ശക്തി നിലനിർത്തിക്കൊണ്ട് ഭാരം 40% കുറയ്ക്കുന്നു.

തീരുമാനം

ടെറാവാട്ട്-സ്കെയിൽ സോളാർ ഫാമുകൾ പ്രാപ്തമാക്കുന്നത് മുതൽ നൂതന സെമികണ്ടക്ടറുകൾ വഴി AI വിപ്ലവത്തിന് ഊർജ്ജം പകരുന്നത് വരെ,ക്വാർട്സ് ബോട്ട്ആധുനിക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ എളിമയുള്ള വർക്ക്‌ഹോഴ്‌സാണ്. വ്യവസായങ്ങൾ മിനിയേച്ചറൈസേഷന്റെയും കാര്യക്ഷമതയുടെയും അതിരുകൾ കടക്കുമ്പോൾ, ക്വാർട്സ് ബോട്ട് രൂപകൽപ്പനയിലും മെറ്റീരിയൽ സയൻസിലുമുള്ള നൂതനാശയങ്ങൾ നിർണായകമായി തുടരും - AI-യുടെയും ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗിന്റെയും യുഗത്തിൽ പോലും, ചില "പഴയ" വസ്തുക്കൾ ഇപ്പോഴും ഭാവിയിലേക്കുള്ള താക്കോലുകൾ കൈവശം വയ്ക്കുന്നുവെന്ന് ഇത് തെളിയിക്കുന്നു.