Киштии кварц чист?
A киштии кварцйяк интиқолдиҳандаи дақиқест, ки аз кремнийи омехтаи баландсифат сохта шудааст, ки маъмулан дорои тарҳи бисёрсоҳавӣ мебошад. Он барои нигоҳ доштани пластинҳои кремний, субстратҳои нимноқил ё дигар маводҳо ҳангоми равандҳои ҳарорати баланд истифода мешавад. Дар истеҳсоли фотоэлектрикӣ ва нимноқилҳо, қаиқҳои кварцӣ асбобҳои муҳим барои равандҳои муҳим ба монанди диффузия, рехтани буғи химиявӣ (CVD) ва тозакунӣ мебошанд, ки ба самаранокии истеҳсолот ва ҳосили маҳсулот мустақиман таъсир мерасонанд.
Функсияҳои асосӣ:
Фотоэлектрикҳо: Дар диффузияи фосфор (барои ташаккули пайвандҳои PN) ва таҳшин кардани қабати пассиватсия барои вафли кремний дар печҳои ҳарорати баланд истифода мешавад.
Нимноќилњо: Вафлиҳоро ҳангоми оксидшавӣ, сӯзишворӣ ва рехтани қабати тунук дар истеҳсоли чипҳо мебарад.
Киштии кварц чӣ гуна тарҳрезӣ ва истеҳсол карда мешавад?
Тарҳрезиикиштии вафли кварцйбояд ба меъёрҳои зерин ҷавобгӯ бошанд:
-Ультра-баланд тозалик:
Маводи хоми SiO2 бояд аз 99,99% тозагӣ зиёд бошад, то ифлосшавӣ пешгирӣ карда шавад.
-Муқовимат ба ҳарорати баланд:
Ба таъсири дарозмуддат ба ҳарорати аз 1200 ℃ бе таназзули сохтор тоб оваред.
-Тавсеаи гармии паст:
Коэффисиенти васеъшавии гармидиҳӣ (CTE) бояд ба ҳадди ақал расонида шавад (≈5,5 10-6/℃) барои пешгирӣ кардани шикастан ё кафидан.
-Design ковокии Precision:
Таҳаммулпазирии фосилаи слот дар ҳудуди ± 0,1 мм назорат карда мешавад, то гармии якхела таъмин карда шавад.
Киштии кварц чӣ гуна истеҳсол карда мешавад?
Тозакунии ашёи хом:
Реги табиии кварц дар кӯраи камони барқӣ дар ҳарорати 2000°C гудохта мешавад, то ифлосиҳо ба монанди Fe, Al ва Na тоза карда шавад.
Усулҳои ташаккул:
Коркарди CNC: Асбобҳои бо компютер идорашаванда слотҳоро бо дақиқии зермиллиметрӣ мекананд.
Рехтани қолаб: Барои геометрияҳои мураккаб кремнии омехта ба қолабҳои графитӣ рехта ва синтер карда мешавад.
Мукаммалии рӯизаминӣ:
Садо кардани асбоби алмос ба ноҳамвории рӯизаминӣ (Ra) <0,5 мкм ноил шуда, пайвастшавии зарраҳоро кам мекунад.
Шустани кислота (масалан, HCl) ифлоскунандаҳои боқимондаро нест мекунад.
Санҷиши сахт:
Санҷиши зарбаи гармидиҳӣ: Барои санҷидани муқовимати тарқишҳо дар байни 25 ℃ ва 1200 ℃ зуд давр мезананд.
Таҳлили покӣ: Масс-спектрометрияи разряди дурахшанда (GDMS) ифлосиҳои пайро муайян мекунад.
Чаро дар ин сохахо киштихои кварцй ивазнашавандаанд?
Инертсияи химиявӣ: Ба реаксияҳо бо кислотаҳо, сілтҳо, хлор ва газҳои коркард дар ҳарорати баланд муқовимат мекунад.
Устувории гармӣ: Аз металлҳо ё сафолҳо дар гардиши босуръати гармӣ аз сабаби CTE хеле паст аст.
Шаффофияти оптикӣ: Интиқоли нурҳои ултрабунафш-IR барои равандҳои аксбардории CVD имкон медиҳад.
Муқоиса:
Киштии кремний карбиди (SiC).: Арзиши баландтар ва реактивӣ бо оксиген (CO2 тавлид мекунад).
Киштии Графит: Хатари ифлосшавии карбон, ки ба муқовимати вафли таъсир мерасонад.
Қаиқҳои кварцӣ дар хатҳои истеҳсоли фотоэлектрикӣ чӣ гуна кор мекунанд?
Диффузияи фосфор:
Раванд: Пласформаҳои кремний ба қаиқҳои кварц бор карда мешаванд ва ба гази POCl3 дар 850-950 ℃ дучор мешаванд, то пайвандҳои PN-ро ташкил кунанд.
Кварц бар зидди муҳити хашмгин POCl3 муқовимати олии зангзанӣ дорад.
Пассиватсияи ҳуҷайраҳои PERC:
Раванд: Вафлиҳоро ҳангоми ҷойгиркунии Al2O3 барои пассиватсияи сатҳи пас нигоҳ медорад ва самаранокии табдилро афзоиш медиҳад.
Параметри муҳим: Тарҳрезии слот якрангии ғафсии филмро ≤3% таъмин мекунад.
Чӣ тавр қаиқҳои кварц дақиқро дар коркарди вафли таъмин мекунанд?
Равандҳои оксидшавӣ:
Раванд: Вафли амудӣ ба киштии кварц барои оксидшавии хушк / тар дар 1100 ℃ барои парвариши қабатҳои SiO2 бор карда мешавад.
Хусусияти тарроҳӣ: Деворҳои слот бо кунҷи 5-10 ° барои пешгирии лағжиши вафли.
Равандҳои CVD:
Раванд: тақсимоти якхелаи плазмаро ҳангоми Si3N4 ё таҳшини полисиликон имкон медиҳад.
Навоварӣ: Тарҳҳои пешрафта каналҳои ҷараёни газро барои беҳтар кардани мутобиқати филм дар бар мегиранд.
Кадом таҷрибаҳо умри боаи кварцро ҳангоми кам кардани вақти бекорӣ дароз мекунанд?
Сиклҳои тозакунӣ:
Ҳар рӯз: Оби деионизатсияшуда + Тозакунии реактивии CO2 зарраҳои фуҷурро нест мекунад.
Ҳарҳафтаина: Гирифтан дар 5% кислотаи лимуи дар 80 ℃ оксидҳои металлиро об мекунад.
Рӯйхати санҷиш:
Девитрификация: Доғҳои сафед дар кварц кристаллизатсияро нишон медиҳанд; иваз кунед, агар фарогирӣ аз 5% зиёд бошад.
Microcracks: Барои ошкор кардани нуқсонҳои зеризаминӣ санҷиши воридшавии рангро истифода баред.
Кадом пешрафтҳо технологияи киштии кварцро аз нав муайян мекунанд?
Киштиҳои бо IoT фаъолшуда:
Сенсорҳои дарунсохташудаи нахи гратинги Bragg (FBG) градиентҳои ҳароратро дар вақти воқеӣ назорат мекунанд (дурустии ±1°C).
Сарпӯшҳои пешрафта:
Рӯйпӯшҳои сирконияи итрии устуворшуда (YSZ) ҷамъшавии карбиди кремнийро дар реакторҳои эпитаксиалӣ 70% коҳиш медиҳанд.
Истеҳсоли иловагӣ:
Қаиқҳои кварси бо 3D чопшуда бо сохторҳои торӣ ҳангоми нигоҳ доштани қувват вазнро 40% кам мекунанд.
Хулоса
Аз имкон додани хоҷагиҳои офтобии миқёси терават то инқилоби AI тавассути нимноқилҳои пешрафта,киштии кварцйкорнамоихои начибонаи техникам хозиразамон мебошад. Вақте ки соҳаҳо ҳудуди миниатюризатсия ва самаранокиро пеш мебаранд, навовариҳо дар тарроҳии қаиқҳои кварцӣ ва илмҳои моддӣ муҳим боқӣ мемонанд - исбот мекунад, ки ҳатто дар асри AI ва ҳисоббарории квантӣ, баъзе маводҳои “кӯҳнамактабӣ” то ҳол калидҳои ояндаро нигоҳ медоранд.
Вақти фиристодан: 20 март-2025