Sekepe sa Quartz ke eng?
A sekepe sa quartzke sesebelisoa se nepahetseng se entsoeng ka silica e kopantsoeng e hloekileng haholo, hangata e nang le moralo oa li-slot tse ngata. E sebelisoa ho tšoara li-wafer tsa silicon, li-substrate tsa semiconductor, kapa thepa e 'ngoe nakong ea lits'ebetso tsa mocheso o phahameng. Tlhahisong ea photovoltaic le semiconductor, likepe tsa quartz ke lisebelisoa tsa bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tsa bohlokoa tse kang ho hasana, ho beha mouoane oa lik'hemik'hale (CVD), le ho annealing, tse amang ka kotloloho katleho ea tlhahiso le chai ea sehlahisoa.
Mesebetsi ea Bohlokoa:
Li-photovoltaic: E sebediswa ho hasaneng ha phosphorus (ho theha dikopano tsa PN) le ho bewa ha lera la passivation bakeng sa di-wafer tsa silicon ka diontong tse nang le mocheso o phahameng.
Li-semiconductor: E jara di-wafer nakong ya oxidation, etching, le ho beoa ha filimi e tshesane tlhahisong ya di-chip.
Sekepe sa Quartz se Etsoa Joang le ho Etsoa Joang?
Moralo oasekepe sa wafer sa quartze tlameha ho fihlela litlhoko tse latelang:
-Bohloeki bo Phahameng ka ho Fetisisa:
Thepa e tala ea SiO2 e lokela ho feta bohloeki ba 99.99% ho qoba tšilafalo.
-Khanyetso ea Mocheso o Phahameng:
E mamella ho pepesehela mocheso o fetang 1200℃ nako e telele ntle le ho senyeha ha sebopeho.
-Katoloso e Tlase ea Thermal:
Coefficient of thermal expansion (CTE) e tlameha ho fokotsoa (≈5.5 10-6/℃) ho thibela ho sotha kapa ho petsoha.
-Moralo oa Sebaka se Nepahetseng:
Mamello ea sebaka sa slot e laoloa ka hare ho ± 0.1mm ho netefatsa hore ho futhumala ho tšoana.
Sekepe sa quartz se etsoa joang?
Ho Hloekisa Lintho Tse Tala:
Lehlabathe la tlhaho la quartz le qhibilihisoa ka ontong ea motlakase ea arc ka mocheso oa 2000°C ho tlosa litšila tse kang Fe, Al, le Na.
Mekhoa ea ho Theha:
Mechini ea CNC: Lisebelisoa tse tataisoang ke khomphutha li betla likheo ka ho nepahala ha submillimeter.
Ho Lahla Hlobo: Bakeng sa li-geometri tse rarahaneng, silica e kopantsoeng e tšeloa ka har'a hlobo ea graphite ebe e siloa.
Phethahalo ea Bokaholimo:
Ho bentša ha daemane ho etsa hore bokaholimo bo be bo sa hlakang (Ra) <0.5 μm, e leng se fokotsang ho khomarela ha likaroloana.
Ho hlatswa ka asiti (mohlala, HCl) ho tlosa ditshila tse setseng.
Teko e Matla:
Teko ea ho Tšoha ha Thermal: E potlakisoa ka lebelo pakeng tsa 25℃ le 1200℃ ho hlahloba ho hanyetsa mapetso.
Tlhahlobo ea Bohloeki: Glow discharge mass spectrometry (GDMS) e lemoha litšila tse sa bonahaleng.
Ke hobane'ng ha likepe tsa quartz li sa nkeloe sebaka ke liindasteri tsena?
Ho se sebetse ha lik'hemik'hale: E hanela dikarabelo tse nang le di-acid, di-alkali, chlorine, le dikgase tse sebetsang mochesong o phahameng.
Ho Tsitsisa ha Thermal: E phahame haholo ho feta litšepe kapa liseramike ka potoloho e potlakileng ea mocheso ka lebaka la CTE e tlase haholo.
Ponaletso ea Optical: E dumella phetiso ya lesedi la UV-IR bakeng sa ditshebetso tsa CVD tse thuswang ke foto.
Papiso:
Sekepe sa Silicon Carbide (SiC): Litšenyehelo tse phahameng le ho sebetsa hape ka oksijene (e hlahisa CO2).
Sekepe sa Graphite: Kotsi ea tšilafalo ea khabone e amang ho hanyetsa ha wafer.
Likepe tsa quartz li sebetsa joang meleng ea tlhahiso ea photovoltaic?
Ho Hasana ha Phosphorus:
Ts'ebetso: Li-wafer tsa silicon li kenngoa ka likepeng tsa quartz 'me li pepesetsoa khase ea POCl3 mochesong oa 850-950℃ ho theha li-junction tsa PN.
Quartz e na le khanyetso e phahameng ea ho bola khahlanong le tikoloho e mabifi ea POCl3.
Phallo ea Sele ea PERC:
Ts'ebetso: E tšoara li-wafer nakong ea ho kenngoa ha Al2O3 bakeng sa ho fetisoa ha bokaholimo ba ka morao, e leng se eketsang katleho ea phetoho.
Paramethara ea Bohlokoa: Moralo oa slot o netefatsa hore botenya ba filimi bo tšoana ≤3%.
Likepe tsa quartz li netefatsa ho nepahala ha ts'ebetso ea wafer joang?
Mekhoa ea ho ntša oksijene:
Ts'ebetso: Li-wafer li kenngoa ka ho otloloha ka sekepeng sa quartz bakeng sa oxidation e omileng/e metsi ka 1100℃ ho holisa mekhahlelo ea SiO2.
Sebopeho sa Moralo: Mabota a nang le sekhutlo ho 5-10° ho thibela ho thella ha wafer.
Mekhoa ea CVD:
Ts'ebetso: E nolofalletsa kabo e ts'oanang ea plasma nakong ea Si3N4 kapa ho kenngoa ha polysilicon.
Ntlafatso: Meralo e tsoetseng pele e kenyelletsa likanale tsa phallo ea khase bakeng sa ho ntlafatsa botsitso ba filimi.
Ke mekhoa efe e eketsang bophelo ba quartz boa ha ka nako e ts'oanang e fokotsa nako ea ho phomola?
Meketjana ea ho Hloekisa:
Letsatsi le letsatsi: Ho hlwekisa lehloa la metsi a hloekisitsoeng + CO2 ho tlosa dikarolwana tse hlephileng.
Beke le beke: Ho qoelisoa ka har'a 5% citric acid ho 80℃ ho qhala li-oxide tsa tšepe.
Lethathamo la Tlhahlobo:
Ho fetoha ha matheba: Matheba a masoeu holim'a quartz a bontša ho kristaleha; a nke sebaka haeba sekoahelo se feta 5%.
Mapetso a manyane: Sebelisa teko ea ho penyeletsa dae ho fumana liphoso tse ka tlas'a bokaholimo.
Ke liphetoho life tse tla ntlafatsa theknoloji ea likepe tsa quartz?
Likepe tse Nolofalitsoeng ke IoT:
Li-sensor tsa Bragg grating (FBG) tse kentsoeng ka faeba li hlokomela maemo a mocheso a nako ea sebele (ho nepahala ha ±1°C).
Liaparo tse Tsoetseng Pele:
Liaparo tsa Yttria-stabilized zirconia (YSZ) li fokotsa ho bokellana ha silicon carbide ka 70% ho li-reactor tsa epitaxial.
Tlhahiso e Eketsehileng:
Likepe tsa quartz tse hatisitsoeng ka 3D tse nang le meaho ea lattice li fokolitse boima ka 40% ha li ntse li boloka matla.
Qetello
Ho tloha ho nolofatseng mapolasi a letsatsi a tekanyo ea terawatt ho isa ho matlafatseng phetohelo ea AI ka li-semiconductor tse tsoetseng pele,sekepe sa quartzke mesebetsi e sa ikgohomoseng ya theknoloji ya sejwalejwale. Ha diindasteri di ntse di sutumelletsa meedi ya ho etsa dintho ka boqhetseke le bokgoni, boqapi ba moralo wa sekepe sa quartz le saense ya thepa bo tla dula bo le bohlokwa—ho paka hore esita le mehleng ya AI le dikhomphutha tsa quantum, thepa e meng ya "sekolo sa kgale" e ntse e na le dinotlolo tsa bokamoso.
Nako ea poso: Hlakubele-20-2025