តើទូក Quartz ជាអ្វី?
A ទូករ៉ែថ្មខៀវគឺជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលមានភាពជាក់លាក់ដែលផលិតពីស៊ីលីកាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលជាធម្មតាមានការរចនារន្ធដោតច្រើន។ វាត្រូវបានប្រើដើម្បីកាន់ស៊ីលីកុន wafers ស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ឬវត្ថុធាតុផ្សេងទៀតកំឡុងពេលដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នៅក្នុងការផលិត photovoltaic និង semiconductor ទូករ៉ែថ្មខៀវគឺជាឧបករណ៍សំខាន់សម្រាប់ដំណើរការសំខាន់ៗដូចជា ការសាយភាយ ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) និងការ annealing ដែលជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងទិន្នផលផលិតផល។
មុខងារស្នូល:
សូលុយស្យុង: ប្រើក្នុងការសាយភាយផូស្វ័រ (ដើម្បីបង្កើតជាប្រសព្វ PN) និងការដាក់ស្រទាប់ passivation សម្រាប់ស៊ីលីកុន wafers នៅក្នុង furnaces សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក៖ ផ្ទុក wafers កំឡុងពេលអុកស៊ីតកម្ម ឆ្លាក់ និងស្រទាប់ស្តើងនៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីប។
តើទូក Quartz ត្រូវបានរចនា និងផលិតដោយរបៀបណា?
ការរចនានៃទូក quartz waferត្រូវតែបំពេញតាមលក្ខណៈវិនិច្ឆ័យដូចខាងក្រោមៈ
-ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត:
វត្ថុធាតុដើម SiO2 ត្រូវតែលើសពីភាពបរិសុទ្ធ 99.99% ដើម្បីជៀសវាងការចម្លងរោគ។
-ធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។:
ទប់ទល់នឹងការប៉ះពាល់រយៈពេលយូរទៅនឹងសីតុណ្ហភាពលើសពី 1200 ℃ ដោយគ្មានការរិចរិលរចនាសម្ព័ន្ធ។
-ការពង្រីកកំដៅទាប:
មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) ត្រូវតែត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា (≈5.5 10-6/℃) ដើម្បីការពារការឡើងរឹង ឬប្រេះ។
-ការរចនារន្ធដោតភាពជាក់លាក់:
ការអត់ធ្មត់ចន្លោះរន្ធត្រូវបានគ្រប់គ្រងក្នុង± 0.1mm ដើម្បីធានាឱ្យមានកំដៅឯកសណ្ឋាន។
តើទូករ៉ែថ្មខៀវផលិតដោយរបៀបណា?
ការបន្សុតវត្ថុធាតុដើម:
ខ្សាច់រ៉ែថ្មខៀវធម្មជាតិត្រូវបានរលាយនៅក្នុងចង្រ្កានធ្នូអគ្គិសនីនៅ 2000 ° C ដើម្បីលុបមិនស្អាតដូចជា Fe, Al និង Na ។
បច្ចេកទេសបង្កើត:
CNC Machining: ឧបករណ៍ដែលណែនាំដោយកុំព្យូទ័រ ឆ្លាក់រន្ធដែលមានភាពត្រឹមត្រូវអនុមីលីម៉ែត្រ។
ការបោះផ្សិត៖ សម្រាប់ធរណីមាត្រស្មុគ្រស្មាញ ស៊ីលីកាដែលផ្សំត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងផ្សិតក្រាហ្វិត និងដុត។
ភាពល្អឥតខ្ចោះនៃផ្ទៃ:
ការដុសខាត់ឧបករណ៍ពេជ្រសម្រេចបានភាពរដុបលើផ្ទៃ (Ra) <0.5 μm កាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិត។
ការលាងអាស៊ីត (ឧទាហរណ៍ HCl) យកសារធាតុកខ្វក់ដែលនៅសេសសល់។
ការធ្វើតេស្តយ៉ាងម៉ត់ចត់:
ការធ្វើតេស្តការឆក់កម្ដៅ៖ ជិះកង់យ៉ាងលឿនចន្លោះពី 25 ℃ ទៅ 1200 ℃ ដើម្បីពិនិត្យមើលភាពធន់នឹងការប្រេះ។
ការវិភាគភាពបរិសុទ្ធ៖ ការបញ្ចេញពន្លឺបញ្ចេញពន្លឺ (GDMS) រកឃើញភាពមិនបរិសុទ្ធតាមដាន។
ហេតុអ្វីបានជាទូករ៉ែថ្មខៀវមិនអាចជំនួសបាននៅក្នុងឧស្សាហកម្មទាំងនេះ?
ភាពអសកម្មគីមី៖ ទប់ទល់នឹងប្រតិកម្មជាមួយអាស៊ីត អាល់កាឡាំង ក្លរីន និងឧស្ម័នដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ស្ថេរភាពកំដៅ៖ ខ្លាំងជាងលោហធាតុ ឬសេរ៉ាមិចក្នុងការជិះកង់កម្ដៅយ៉ាងលឿន ដោយសារ CTE ទាបបំផុត។
តម្លាភាពអុបទិក៖ អនុញ្ញាតការបញ្ជូនពន្លឺ UV-IR សម្រាប់ដំណើរការ CVD ដែលជំនួយដោយរូបថត។
ការប្រៀបធៀប:
ទូក Silicon Carbide (SiC)៖ តម្លៃខ្ពស់ជាងមុន និងមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីហ្សែន (បង្កើត CO2)។
ទូកក្រាហ្វិច៖ ហានិភ័យនៃការបំពុលកាបូនដែលប៉ះពាល់ដល់ភាពធន់របស់ wafer ។
តើទូករ៉ែថ្មខៀវមានដំណើរការយ៉ាងដូចម្តេចនៅក្នុងខ្សែផលិតកម្ម photovoltaic?
ការសាយភាយផូស្វ័រ:
ដំណើរការ៖ ស៊ីលីកុន wafers ត្រូវបានផ្ទុកទៅក្នុងទូករ៉ែថ្មខៀវ និងត្រូវបានប៉ះពាល់ទៅនឹងឧស្ម័ន POCl3 នៅសីតុណ្ហភាព 850-950 ℃ ដើម្បីបង្កើតជាប្រសព្វ PN ។
រ៉ែថ្មខៀវមានភាពធន់ទ្រាំនឹងការច្រេះដ៏ប្រសើរប្រឆាំងនឹងបរិស្ថាន POCl3 ដែលឈ្លានពាន។
ការឆ្លងកោសិកា PERC:
ដំណើរការ៖ ផ្ទុក wafers កំឡុងពេល Al2O3deposition សម្រាប់ passivation ផ្ទៃខាងក្រោយ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែង។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់៖ ការរចនារន្ធដោតធានាភាពឯកសណ្ឋាននៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ≤3%។
តើទូករ៉ែថ្មខៀវធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ក្នុងដំណើរការ wafer យ៉ាងដូចម្តេច?
ដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម:
ដំណើរការ៖ Wafers ត្រូវបានផ្ទុកបញ្ឈរទៅក្នុងទូករ៉ែថ្មខៀវសម្រាប់ការកត់សុីស្ងួត/សើមនៅសីតុណ្ហភាព 1100 ℃ ដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ SiO2 ។
លក្ខណៈពិសេសនៃការរចនា៖ ជញ្ជាំងរន្ធមានមុំ 5-10° ដើម្បីការពារការរអិល។
ដំណើរការ CVD:
ដំណើរការ៖ បើកការចែកចាយប្លាស្មាឯកសណ្ឋានកំឡុងពេល Si3N4 ឬប៉ូលីស៊ីលីកនធ្លាក់។
ការច្នៃប្រឌិត៖ ការរចនាកម្រិតខ្ពស់រួមបញ្ចូលបណ្តាញលំហូរឧស្ម័នសម្រាប់ការកែលម្អភាពជាប់លាប់នៃខ្សែភាពយន្ត។
តើការអនុវត្តអ្វីខ្លះដែលពន្យារអាយុជីវិតរបស់ quartz boa ខណៈពេលដែលកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ?
វដ្តសម្អាត:
ប្រចាំថ្ងៃ៖ ទឹក Deionized + CO2 snow jet cleaning យកភាគល្អិតរលុង។
ប្រចាំសប្តាហ៍៖ ការជ្រមុជក្នុងទឹកអាស៊ីតនៃក្រូចឆ្មា 5% នៅសីតុណ្ហភាព 80 ℃ រំលាយអុកស៊ីដលោហៈ។
បញ្ជីត្រួតពិនិត្យ:
Devitrification: ចំណុចពណ៌សនៅលើរ៉ែថ្មខៀវបង្ហាញពីគ្រីស្តាល់; ជំនួសប្រសិនបើការគ្របដណ្តប់លើសពី 5% ។
Microcracks៖ ប្រើការធ្វើតេស្តជ្រលក់ជ្រលក់ដើម្បីរកឱ្យឃើញនូវពិការភាពនៃផ្ទៃរង។
តើរបកគំហើញអ្វីខ្លះដែលនឹងកំណត់ឡើងវិញនូវបច្ចេកវិទ្យាទូករ៉ែថ្មខៀវ?
ទូកដែលបើកដំណើរការ IoT:
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា Bragg grating (FBG) ដែលមានសរសៃអំបោះ ត្រួតពិនិត្យជម្រាលសីតុណ្ហភាពតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង (ភាពត្រឹមត្រូវ±1°C)។
ថ្នាំកូតកម្រិតខ្ពស់:
ថ្នាំកូត Yttria-stabilized zirconia (YSZ) កាត់បន្ថយការបង្កើតស៊ីលីកុនកាបែត 70% នៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ epitaxial ។
ការផលិតសារធាតុបន្ថែម:
ទូករ៉ែថ្មខៀវ 3D ដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធបន្ទះឈើកាត់បន្ថយទម្ងន់បាន 40% ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវកម្លាំង។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
ចាប់ពីការបើកដំណើរការកសិដ្ឋានថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យខ្នាត terawatt ដល់ការផ្តល់ថាមពលដល់បដិវត្តន៍ AI តាមរយៈ semiconductors កម្រិតខ្ពស់។ទូករ៉ែថ្មខៀវគឺជាកម្លាំងពលកម្មដ៏អស្ចារ្យនៃបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។ នៅពេលដែលឧស្សាហកម្មជំរុញព្រំដែននៃការបង្រួមតូច និងប្រសិទ្ធភាព ការច្នៃប្រឌិតថ្មីក្នុងការរចនាទូករ៉ែថ្មខៀវ និងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈនឹងនៅតែជាចំណុចសំខាន់ ដែលបង្ហាញថា សូម្បីតែនៅក្នុងយុគសម័យនៃ AI និង quantum computing សម្ភារៈ "សាលាចាស់" មួយចំនួននៅតែរក្សាគន្លឹះទៅកាន់អនាគត។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២០ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៥