Kini ọkọ oju omi Quartz kan?
A kuotisi ọkọni a konge ti ngbe ṣe ti ga-mimọ dapo yanrin, ojo melo ifihan a olona-Iho oniru. O ti wa ni lo lati mu ohun alumọni wafers, semikondokito sobsitireti, tabi awọn ohun elo miiran nigba ga-otutu lakọkọ. Ni iṣelọpọ fọtovoltaic ati semikondokito, awọn ọkọ oju omi quartz jẹ awọn irinṣẹ pataki fun awọn ilana to ṣe pataki bii kaakiri, ifisilẹ eefin kemikali (CVD), ati annealing, ni ipa taara iṣelọpọ iṣelọpọ ati ikore ọja.
Awọn iṣẹ mojuto:
Photovoltaics: Ti a lo ninu itọka irawọ owurọ (lati ṣe agbekalẹ awọn ipade PN) ati fifisilẹ Layer pasivation fun awọn ohun alumọni silikoni ni awọn ileru iwọn otutu giga.
Semiconductors: N gbe awọn wafers lakoko ifoyina, etching, ati ifisilẹ fiimu tinrin ni iṣelọpọ chirún.
Bawo ni a ṣe apẹrẹ ọkọ oju omi Quartz ati Ṣelọpọ?
Apẹrẹ tikuotisi wafer ọkọgbọdọ pade awọn ibeere wọnyi:
-Ultra-High ti nw:
Ohun elo SiO2 Raw gbọdọ kọja 99.99% mimọ lati yago fun idoti.
-Giga-otutu Resistance:
Duro ifihan igba pipẹ si awọn iwọn otutu ti o ju 1200 ℃ laisi ibajẹ igbekalẹ.
-Low Gbona Imugboroosi:
Olùsọdipúpọ̀ ìmúgbòòrò gbígbóná (CTE) gbọ́dọ̀ dín kù (≈5.5 10-6/℃) láti dènà ìkọlù tàbí wíwú.
-konge Iho Design:
Ifarada aaye aaye Iho iṣakoso laarin ± 0.1mm lati rii daju alapapo aṣọ.
Bawo ni a ṣe ṣelọpọ ọkọ oju omi quartz?
Aise elo ìwẹnumọ:
Yanrin kuotisi adayeba jẹ yo ninu ileru arc ina ni 2000 ° C lati yọ awọn aimọ bi Fe, Al, ati Na kuro.
Ṣiṣe awọn ilana:
Ẹrọ CNC: Awọn irinṣẹ itọnisọna Kọmputa gbe awọn iho pẹlu išedede-millimita.
Simẹnti m: Fun awọn geometries ti o nipọn, yanrin ti a dapọ ni a da sinu awọn molds graphite ati sintered.
Dada Pipe:
Diọpa-ọpa didan ṣe aṣeyọri roughness dada (Ra) <0.5 μm, dinku ifaramọ patiku.
Fifọ acid (fun apẹẹrẹ, HCl) yọkuro awọn idoti to ku.
Idanwo lile:
Idanwo Gbigbọn Gbona: Yiyara gigun laarin 25 ℃ ati 1200 ℃ lati ṣayẹwo idena kiraki.
Itupalẹ Iwa mimọ: Iwoye ibi-iṣanjade ti o ni imọlẹ (GDMS) ṣe awari awọn idoti itọpa.
Kini idi ti awọn ọkọ oju omi quartz ko ṣe rọpo ni awọn ile-iṣẹ wọnyi?
Kẹmika Inertness: Koju awọn aati pẹlu acids, alkalis, chlorine, ati awọn gaasi ilana ni awọn iwọn otutu giga.
Gbona Iduroṣinṣin: Ju jina si awọn irin tabi awọn ohun elo amọ ni gigun kẹkẹ igbona iyara nitori CTE-kekere.
Opitika akoyawo: Faye gba UV-IR ina gbigbe fun Fọto-iranlọwọ awọn ilana CVD.
Ifiwera:
Silicon Carbide (SiC) Ọkọ: Iye owo ti o ga julọ ati ifaseyin pẹlu atẹgun (awọn ipilẹṣẹ CO2).
Lẹẹdi Boat: Ewu ti erogba kontaminesonu nyo wafer resistivity.
Bawo ni awọn ọkọ oju omi quartz ṣe n ṣiṣẹ ni awọn laini iṣelọpọ fọtovoltaic?
Ìtànká Fọsifọọsi:
Ilana: Silicon wafers ti wa ni ti kojọpọ sinu awọn ọkọ oju omi quartz ati ti o farahan si gaasi POCl3 ni 850-950 ℃ lati ṣe awọn ipade PN.
Quartz ni resistance ipata ti o ga julọ si awọn agbegbe POCl3 ibinu.
PERC Cell Passivation:
Ilana: Dimu awọn wafers lakoko Al2O3deposition fun ipalọlọ-pada-dada, igbelaruge ṣiṣe iyipada.
Paramita pataki: Apẹrẹ Iho ṣe idaniloju isokan sisanra fiimu ≤3%.
Bawo ni awọn ọkọ oju omi quartz ṣe rii daju pe konge ni sisẹ wafer?
Awọn ilana Oxidation:
Ilana: Wafers ni a kojọpọ ni inaro sinu ọkọ oju omi quartz fun gbigbẹ / ifoyina tutu ni 1100 ℃ lati dagba awọn ipele SiO2.
Ẹya Apẹrẹ: Awọn odi Iho ni igun 5-10 ° lati ṣe idiwọ yiyọ wafer.
Awọn ilana CVD:
Ilana: Nṣiṣẹ pinpin pilasima aṣọ ile nigba Si3N4 tabi ifisilẹ polysilicon.
Innovation: Awọn aṣa ilọsiwaju ṣafikun awọn ikanni ṣiṣan gaasi fun imudara imudara fiimu.
Awọn iṣe wo ni o fa igbesi aye boa quartz kan pọ lakoko ti o dinku akoko idinku?
Cleaning cycles:
Lojoojumọ: Omi ti a fi omi ṣan + CO2 egbon ọkọ ofurufu mimọ n yọ awọn patikulu alaimuṣinṣin kuro.
Osẹ-ọsẹ: Immersion ni 5% citric acid ni 80℃ tu irin oxides.
Atokọ Ayẹwo:
Devitrification: Awọn aaye funfun lori quartz tọkasi crystallization; rọpo ti agbegbe ba kọja 5%.
Microcracks: Lo idanwo penetrant dye lati ṣawari awọn abawọn abẹ-ilẹ.
Awọn aṣeyọri wo ni yoo tun ṣe alaye imọ-ẹrọ ọkọ oju omi quartz?
Awọn ọkọ oju-omi ti o ni IoT:
Awọn sensosi okun ti a fi sinu Bragg grating (FBG) ṣe atẹle awọn iwọn otutu akoko gidi (± 1°C deede).
To ti ni ilọsiwaju aso:
Yttria-stabilized zirconia (YSZ) awọn aṣọ wiwọ din ohun alumọni carbide buildup nipasẹ 70% ni epitaxial reactors.
Fikun iṣelọpọ:
Awọn ọkọ oju omi quartz ti a tẹjade 3D pẹlu awọn ẹya lattice ge iwuwo nipasẹ 40% lakoko mimu agbara mu.
Ipari
Lati muu awọn oko oorun terawatt ni agbara si agbara Iyika AI nipasẹ awọn alamọdaju ti ilọsiwaju,kuotisi ọkọjẹ awọn iṣẹ-ṣiṣe aibikita ti imọ-ẹrọ ode oni. Bi awọn ile-iṣẹ ṣe titari awọn aala ti miniaturization ati ṣiṣe, awọn imotuntun ni apẹrẹ ọkọ oju omi quartz ati imọ-jinlẹ ohun elo yoo wa ni pataki-ifihan pe paapaa ni ọjọ-ori AI ati iṣiro kuatomu, diẹ ninu awọn ohun elo “ile-iwe atijọ” tun mu awọn bọtini si ọjọ iwaju.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-20-2025