سي سيان ۾ وڏي بينڊ گيپ، اعليٰ حرارتي چالکائي، اعليٰ نازڪ بريڪ ڊائون فيلڊ طاقت، ۽ اعليٰ اليڪٽران سيچوريشن ڊرفٽ ريٽ جون خاصيتون آهن. اهو اعليٰ درجه حرارت، اعليٰ دٻاءُ، اعليٰ فريڪوئنسي، ۽ اعليٰ طاقت جي حالتن ۾ ايپليڪيشن گهرجن کي پورو ڪري سگهي ٿو. ان کي نئين توانائي گاڏين، فوٽووولٽڪ، صنعتي ڪنٽرول، ريڊيو فريڪوئنسي ڪميونيڪيشن ۽ ٻين شعبن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ڪري سگهجي ٿو. لاڳاپيل صنعتن جي تيز ترقي سان، سلڪون ڪاربائيڊ جي نمائندگي ڪندڙ ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر مارڪيٽ نوان موقعا پيدا ڪيا آهن.
ڪرسٽل جي واڌ سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽ جي پيداوار جو بنيادي ڪڙي آهي، ۽ بنيادي سامان ڪرسٽل جي واڌ فرنس آهي. روايتي ڪرسٽل سلڪون گريڊ ڪرسٽل جي واڌ فرنس وانگر، فرنس جي جوڙجڪ تمام پيچيده ناهي. اهو بنيادي طور تي فرنس باڊي، حرارتي نظام، ڪوئل ٽرانسميشن ميڪانيزم، ويڪيوم حاصل ڪرڻ ۽ ماپڻ وارو نظام، گئس رستو نظام، کولنگ سسٽم، ڪنٽرول سسٽم، وغيره تي مشتمل آهي. حرارتي ميدان ۽ عمل جون حالتون سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل جي معيار، سائيز، چالکائي ۽ ٻين اهم اشارن جي اهم اشارن کي طئي ڪن ٿيون.
Ⅰ. سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل واڌ جي ٽيڪنالاجي ۾ مشڪلاتون
سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل جي واڌ جو گرمي پد تمام گهڻو آهي ۽ ان جي نگراني نه ٿي ڪري سگهجي، تنهن ڪري مکيه ڏکيائي عمل ۾ ئي آهي:
(1)حرارتي ميدان کي ڪنٽرول ڪرڻ ۾ مشڪل: بند ٿيل اعليٰ درجه حرارت واري گفا جي نگراني ڏکيو ۽ بي قابو آهي. روايتي سلڪون تي ٻڌل حل سان ڇڪيل ڪرسٽل واڌ جي سامان جي برعڪس، جنهن ۾ اعليٰ درجي جي آٽوميشن آهي ۽ ڪرسٽل واڌ جي عمل کي ڏسي، ڪنٽرول ۽ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل 2,000 °C کان مٿي اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ بند جاءِ تي وڌندا آهن، ۽ پيداوار دوران واڌ جي گرمي پد کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ جي ضرورت آهي، جيڪو گرمي پد کي ڪنٽرول ڪرڻ ڏکيو بڻائي ٿو؛
(2)ڪرسٽل فارم کي ڪنٽرول ڪرڻ ۾ مشڪل: مائڪرو پائپ، پوليمورفڪ انڪلوزيشن، ڊسلوڪيشن ۽ ٻيا نقص واڌ ويجهه جي عمل دوران ٿيڻ جو امڪان آهن، ۽ اهي هڪ ٻئي تي اثر انداز ٿين ٿا ۽ ارتقا ڪن ٿا. مائڪرو پائپ (ايم پي) ڪيترن ئي مائڪرون کان ڏهه مائڪرون جي سائيز سان ٿرو ٽائپ نقص آهن، جيڪي ڊوائيسز جا قاتل نقص آهن. سلڪون ڪاربائيڊ سنگل ڪرسٽل ۾ 200 کان وڌيڪ مختلف ڪرسٽل فارم شامل آهن، پر صرف ڪجهه ڪرسٽل ڍانچي (4H قسم) پيداوار لاءِ گهربل سيمي ڪنڊڪٽر مواد آهن. واڌ جي عمل دوران ڪرسٽل فارم ٽرانسفارميشن ٿيڻ جو امڪان آهي، جنهن جي نتيجي ۾ پوليمورفڪ شموليت ۾ خرابيون پيدا ٿين ٿيون. تنهن ڪري، سلڪون-ڪاربن تناسب، واڌ جي درجه حرارت جي گريڊينٽ، ڪرسٽل واڌ جي شرح، ۽ گئس جي وهڪري جي دٻاءُ جهڙن پيرا ميٽرز کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ ضروري آهي.
ان کان علاوه، سلڪون ڪاربائيڊ سنگل ڪرسٽل جي واڌ جي حرارتي ميدان ۾ هڪ گرمي پد جو درجو آهي، جيڪو ڪرسٽل جي واڌ جي عمل دوران مقامي اندروني دٻاءُ ۽ نتيجي ۾ ٿيندڙ خلل (بيسل پلين ڊسلوڪيشن بي پي ڊي، اسڪرو ڊسلوڪيشن ٽي ايس ڊي، ايج ڊسلوڪيشن ٽي اي ڊي) جو سبب بڻجندو آهي، جنهن جي ڪري بعد ۾ ايپيٽيڪسي ۽ ڊوائيسز جي معيار ۽ ڪارڪردگي متاثر ٿيندي آهي.
(3)ڊوپنگ تي ڏکيو ڪنٽرول: هدايتي ڊوپنگ سان هڪ ڪنڊڪٽو ڪرسٽل حاصل ڪرڻ لاءِ ٻاهرين نجاست جي تعارف کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو وڃي؛
(4)سست واڌ جي شرح: سلڪون ڪاربائيڊ جي واڌ جي شرح تمام سست آهي. روايتيسلڪون موادڪرسٽل راڊ ۾ وڌڻ لاءِ صرف 3 ڏينهن گهرجن ٿا، جڏهن ته سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل راڊ کي 7 ڏينهن گهرجن ٿا. اهو قدرتي طور تي سلڪون ڪاربائيڊ جي پيداوار جي ڪارڪردگي گهٽائي ٿو ۽ پيداوار تمام محدود ڪري ٿو.
ٻئي طرف، سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽيڪسيل واڌ جا پيرا ميٽر انتهائي گهربل آهن، جن ۾ سامان جي هوا بند ٿيڻ، رد عمل چيمبر ۾ گئس پريشر جي استحڪام، گئس جي تعارف جي وقت جو صحيح ڪنٽرول، گئس جي تناسب جي درستگي، ۽ جمع ٿيڻ جي درجه حرارت جو سخت انتظام شامل آهن. خاص طور تي، ڊوائيس جي برداشت وولٽيج جي سطح جي بهتري سان، ايپيٽيڪسيل ويفر جي بنيادي پيرا ميٽرز کي ڪنٽرول ڪرڻ جي مشڪل ۾ خاص طور تي اضافو ٿيو آهي.
ان کان علاوه، ايپيٽيڪسيل پرت جي ٿلهي ۾ واڌ سان، مزاحمت جي هڪجهڙائي کي ڪيئن ڪنٽرول ڪجي ۽ ٿلهي کي يقيني بڻائيندي خرابي جي کثافت کي ڪيئن گھٽائجي، اهو هڪ ٻيو وڏو چئلينج بڻجي ويو آهي. برقي ڪنٽرول سسٽم ۾، اهو ضروري آهي ته اعليٰ درستگي واري سينسر ۽ ايڪٽيوٽرز کي ضم ڪيو وڃي ته جيئن مختلف پيرا ميٽرز کي صحيح ۽ مستحڪم طور تي منظم ڪري سگهجي. ساڳئي وقت، ڪنٽرول الگورتھم جي اصلاح پڻ اهم آهي. ان کي مختلف تبديلين سان مطابقت پيدا ڪرڻ لاءِ فيڊ بيڪ سگنل جي مطابق حقيقي وقت ۾ ڪنٽرول حڪمت عملي کي ترتيب ڏيڻ جي قابل هجڻ جي ضرورت آهي.سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽيڪسيل واڌعمل.
Ⅱ. سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي تياري ۾ مکيه مشڪلاتون:
1. واڌ جو گرمي پد 2000 ℃ کان مٿي آهي، جيڪو سلڪون جي ڀيٽ ۾ ٻه ڀيرا وڌيڪ آهي.
2. ڪرسٽل جي واڌ جي عرصي دوران ڪرسٽل راڊ جي ٿولهه ننڍي هوندي آهي، ۽ 2 سينٽي ميٽر سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل راڊ 7 ڏينهن ۾ وڌندو آهي.
3. ڪرسٽل قسم جون گهرجون تمام گهڻيون آهن، ۽ ڪرسٽل جي بناوتن سان صرف چند سنگل ڪرسٽل سلڪون ڪاربائيڊ آهن.
4. ڪٽڻ جو لباس وڌيڪ آهي، ۽ سلڪون ڪاربائيڊ ۾ انتهائي سختي آهي.
خلاصو، مهانگو وقت ۽ پيچيده پروسيسنگ ٽيڪنالاجي سلڪون ڪاربائيڊ سبسٽريٽس جي اعليٰ قيمت جو تعين ڪري ٿي، جيڪا سلڪون ڪاربائيڊ جي استعمال کي محدود ڪري ٿي.
III. ڪرسٽل گروٿ فرنس جي درجه بندي
مختلف حرارتي طريقن جي مطابق، ڪرسٽل واڌ جي فرنس کي انڊڪشن قسم ۽ مزاحمت جي قسم ۾ ورهائي سگهجي ٿو. هن وقت، مارڪيٽ ۾ گهڻا سامان انڊڪشن قسم جو آهي، جنهن ۾ گهٽ قيمت، سادي جوڙجڪ، آسان سار سنڀال ۽ اعلي حرارتي ڪارڪردگي جا فائدا آهن. جڏهن ته، برقي مقناطيسي انڊڪشن اثر جي ڪري، انڊڪشن حرارتي جو محوري گرمي پد ۽ ريڊيل گرمي پد گڏ ٿيل آهن، ۽ ڪرسٽل واڌ جي رفتار ۽ ڪرسٽل واڌ جي معيار ٻنهي کي حساب ۾ رکڻ ناممڪن آهي.
مزاحمتي حرارتي ميدان جي واڌ جو پليٽ فارم محوري گرمي پد ۽ ريڊيل گرمي پد کي ترتيب وار ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو، جيڪو وڏي سائيز جي ڪرسٽل جي واڌ لاءِ سازگار آهي ۽ ڪرسٽل جي واڌ جي شرح کي بهتر بڻائي ٿو. اهو مستقبل جي اعليٰ معيار جي 8 انچ سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل جي واڌ لاءِ حلن مان هڪ آهي.
انڊڪشن طريقي ۽ مزاحمت جي طريقي جي وچ ۾ مقابلو:
| انڊڪشن جو طريقو | مزاحمت جو طريقو | |
| ڪم ڪندڙ اصول | انڊڪشن هيٽنگ هڪ گرمي علاج جو طريقو آهي جيڪو برقي ڪرنٽ جي مقناطيسي اثر کي استعمال ڪندي ورڪ پيس جي مٿاڇري جي پرت تي انڊسڊ ڪرنٽ جي نسبتاً وڌيڪ کثافت پيدا ڪري ٿو، ان کي جلدي آسٽينائيٽ حالت ۾ گرم ڪري ٿو، ۽ پوءِ ان کي جلدي ٿڌو ڪري ٿو ته جيئن مارٽينيٽڪ ڍانچي حاصل ڪري سگهجي. | مزاحمتي حرارتي حرڪت، موصل مان گذرندڙ ڪرنٽ ذريعي پيدا ٿيندڙ جول گرمي کي گرمي جي ذريعن طور استعمال ڪري ٿي. ان کي ٻن ڀاڱن ۾ ورهائي سگهجي ٿو: اڻ سڌي مزاحمتي حرارتي (برقي حرارتي عنصر يا ڪنڊڪٽو وچولي) ۽ سڌي مزاحمتي حرارتي. |
| گرمي پد ڪنٽرول | انڊڪشن طريقو ڪروسيبل جي ٻاهران انڊڪشن ڪوئل ذريعي اندروني مقناطيسي ميدان کي گرم ڪري ٿو. گرم ڪرڻ جي رفتار تيز آهي، پر انڊڪشن ڪوئل ۽ ڪروسيبل جي وچ ۾ فاصلو تمام گهڻو آهي، تابڪاري وارو علائقو منتشر آهي، ۽ ڪروسيبل جي مٿاڇري جي گرمي جي پيداوار کي افقي طرف صحيح طور تي ڪنٽرول ڪرڻ ڏکيو آهي. | مزاحمت جو طريقو هڪ الڳ هيٽر مقرر ڪري ٿو، جيڪو ڪروسيبل جي ويجهو آهي. هيٽر کي ترتيب ڏيڻ سان، ڪروسيبل جي مٿاڇري جي گرمي پد کي وڌيڪ صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو. |
| وڏي سائيز جي ڪرسٽل واڌ | جڏهن انڊڪشن طريقي جي حرارتي فيلڊ جي جوڙجڪ ۾ ڪيترائي حرارتي ڪوئل شامل ڪيا وڃن ٿا، ته مقناطيسي فيلڊ هڪ ٻئي سان مداخلت ڪري سگهن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾ مقناطيسي فيلڊ ۽ گرمي ڊيزائن جي مقصد مطابق آساني سان ورهائي نه ٿي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري حرارتي اثر ۽ ڪرسٽل جي واڌ متاثر ٿئي ٿي. | مزاحمتي حرارتي ڪرسٽل واڌ جي سامان لاءِ ملٽي اسٽيج آزاد ڪنٽرول حرارتي نظام ٺاهڻ آسان آهي، ۽ سامان جو ريڊيل گريڊينٽ پاڻ ننڍو آهي، جيڪو وڏي سائيز جي ڪرسٽل واڌ جي ضرورتن کي پورو ڪري سگهي ٿو. |
| ڪرسٽل جي واڌ جو چڪر | انڊڪشن طريقو ڪرسٽل جي واڌ ۾ لڳ ڀڳ 10 ڏينهن لڳن ٿا، اينيلنگ ۾ 10-15 ڏينهن لڳن ٿا، ۽ مجموعي واڌ جو چڪر 20-25 ڏينهن آهي. | ڪرسٽل جي واڌ جو چڪر لڳ ڀڳ 5-7 ڏينهن جو آهي، ۽ ان کي پاڻمرادو اينيل ڪري سگهجي ٿو، ۽ بجلي جي ناڪامي کان پوءِ گرمي پد آهستي آهستي گهٽجي ويندو آهي. |
| توانائي جو واھپو | مزاحمتي طريقي جي توانائي جو استعمال انڊڪشن طريقي جي ڀيٽ ۾ 2-3 ڀيرا وڌيڪ آهي. | |
| پيداوار جي سطح | مزاحمتي طريقي سان ڪرسٽل گروٿ فرنس ذريعي اُڀريل ڪرسٽل جي پيداوار انڊڪشن طريقي سان ڪرسٽل گروٿ فرنس جي مقابلي ۾ تمام گهڻي بهتر آهي. | |
پوسٽ جو وقت: جون-24-2025