Hadafkayagu waa inuu noqdaa mid xoojiya oo kor u qaada tayada iyo adeegga badeecadaha jira, isla markaana si joogto ah u soo saara badeecooyin iyo xalal cusub si loo daboolo baahida macaamiisha ee qiimaha ugu fiican ee Shiinaha ee Heerkulka Sare ee u adkaysta Graphite Crucible/Doon Sahayda, Xasuuso inaad xor u noqoto inaad nala hadasho si aad u hesho abaabul. Waxaanna aaminsanahay inaan la wadaagi doonno khibradda ganacsi ee ugu faa'iidada badan dhammaan ganacsatadayada.
Hadafkayagu waa inuu noqdaa mid xoojiya oo kor u qaada tayada iyo adeegga sare ee alaabta jirta, isla markaana si joogto ah u sameeya badeecooyin iyo xalal cusub si loo daboolo baahiyaha macaamiisha kala duwanShidaalka Macdanta Shiinaha ee Graphite, Qalabka Garaafiga ee CrucibleSi macaamiishu ay noogu kalsoonaadaan oo ay u helaan adeegga ugu raaxada badan, waxaan shirkaddayada ku maamulnaa daacadnimo, daacadnimo iyo tayo wanaagsan. Waxaan si adag u aaminsanahay inay farxad noo tahay inaan macaamiisha ka caawinno inay si guul leh u maamulaan ganacsigooda, iyo in taladayada iyo adeeggeenna khibradda leh ay u horseedi karto doorasho ku habboon macaamiisha.
Isku-darka Kaarboon / Kaarboon(halkan waxaa loogu yeeraa ""C/C ama CFC") waa nooc ka mid ah walxaha isku dhafan oo ku salaysan kaarboon waxaana xoojiyay fiilada kaarboon iyo alaabteeda (preform-ka fiilada kaarboon). Waxay leedahay labadaba firfircoonida kaarboonka iyo xoogga sare ee fiilada kaarboonka. Waxay leedahay sifooyin farsamo oo wanaagsan, iska caabinta kulaylka, iska caabinta daxalka, yaraynta is jiidjiidka iyo astaamaha gudbinta kulaylka iyo korontada.
CVD-SiCdahaarka wuxuu leeyahay astaamo qaab-dhismeed isku mid ah, walxo is haysta, iska caabin heerkul sare, iska caabin oksaydh, daahirnimo sare, iska caabin aashito & alkali iyo reagent organic, oo leh sifooyin jireed iyo kiimiko oo deggan.
Marka la barbardhigo walxaha graphite-ka ee saafiga sare leh, graphite-ku wuxuu bilaabaa inuu oksaydheeyo 400C, taasoo sababi doonta luminta budada oksaydheynta awgeed, taasoo keenta wasakhowga deegaanka ee aaladaha durugsan iyo qolalka faakiyuumka, waxayna kordhisaa wasakhda deegaanka ee saafiga sare leh.
Si kastaba ha ahaatee, dahaarka SiC wuxuu ilaalin karaa xasilloonida jireed iyo kiimikada 1600 digrii. Waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha casriga ah, gaar ahaan warshadaha semiconductor-ka.
Shirkaddayadu waxay bixisaa adeegyada habka dahaarka SiC iyadoo la adeegsanayo habka CVD ee dusha sare ee garaafitka, dhoobada iyo agabyada kale, si gaasaska gaarka ah ee ka kooban kaarboon iyo silikoon ay uga falceliyaan heerkulka sare si ay u helaan molecules-ka SiC ee saafiga ah, molecules-ka lagu shubo dusha sare ee agabka dahaarka leh, iyagoo sameeya lakab ilaalin SIC ah. SIC-ga la sameeyay si adag ayuu ugu xiran yahay saldhigga garaafitka, isagoo siinaya sifooyin gaar ah saldhigga garaafitka, sidaas darteedna wuxuu ka dhigayaa dusha sare ee garaafitka mid is haysta, aan lahayn porosity, iska caabin heerkul sare, iska caabin daxaleed iyo iska caabin oksaydh.
Astaamaha ugu muhiimsan:
1. Iska caabinta oksaydhka heerkulka sare:
Iska caabbinta oksaydhku wali aad bay u fiican tahay marka heerkulku uu gaaro 1600 C.
2. Nadiifnimo sare: waxaa lagu sameeyaa kaydka uumiga kiimikada iyadoo xaalad koloriin heerkul sare leh.
3. Iska caabbinta nabaad-guurka: adkaansho sare, dusha sare oo is haysta, walxo yaryar.
4. Iska caabbinta daxalka: aashitada, alkali, milixda iyo walxaha dabiiciga ah.
Tilmaamaha ugu Muhiimsan ee Dahaadhka CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| Cufnaanta | (g/cc)
| 3.21 |
| Xoogga dabacsanaanta | (Mpa)
| 470 |
| Ballaarinta kulaylka | (10-6/K) | 4
|
| Gudbinta kulaylka | (W/mK) | 300
|
