Shuruudaha warshadaha Semiconductor ee shuruudaha walxaha graphite waa kuwo aad u sarreeya, cabbirka walxaha khafiifka ah ee graphite wuxuu leeyahay saxnaan sare, iska caabin heerkul sare, xoog sare, khasaaro yar iyo faa'iidooyin kale, sida: alaabada graphite ee sintered caaryada.Maadaama qalabka garaafka ee loo isticmaalo warshadaha semiconductor-ka (oo ay ku jiraan kuleyliyeyaasha iyo diishadooda wasakhaysan) looga baahan yahay inay u adkeystaan hawlgallada kululaynta iyo qaboojinta ee soo noqnoqda, si loo kordhiyo cimriga adeegga qalabka garaafka, waxaa badanaa loo baahan yahay in walxaha garaafka ee la isticmaalo ay leeyihiin waxqabad deggan iyo shaqo saameyn ku leh kulaylka.
01 Qalabka Graphite ee koritaanka kiristaalka semiconductor-ka
Dhammaan hababka loo isticmaalo in lagu beero kiristaalo semiconductor ah waxay ku shaqeeyaan jawi heerkul sare iyo daxal leh. Aagga kulul ee foornada koritaanka kiristaalka waxaa badanaa lagu qalabeeyaa qaybo graphite ah oo nadiif ah oo kulaylka u adkaysta oo u adkaysta daxalka, sida kuleyliyaha, tuubada, dhululubada dahaarka, dhululubada hagaha, elektroodka, hayaha korontada, lawska korontada, iwm.
Waxaan soo saari karnaa dhammaan qaybaha garaafitka ee qalabka wax soo saarka kiristaalka, kuwaas oo si gaar ah loo bixin karo ama loo qaybin karo, ama qaybo garaafit ah oo loo habeeyey cabbirro kala duwan iyadoo loo eegayo shuruudaha macaamiisha. Cabbirka alaabta waxaa lagu cabbiri karaa goobta, dambaska alaabta la dhammeeyayna wuu yaraan karaa.in ka badan 5ppm.
02 Qalabka Graphite ee loogu talagalay epitaxy semiconductor
Habka Epitaxial wuxuu tilmaamayaa koritaanka lakabka walxaha kiristaalka ah ee keli ah oo leh qaab isku mid ah oo shabag ah sida substrate-ka ku yaal substrate-ka keli ah ee kiristaalka ah. Habka epitaxial-ka, wafer-ka waxaa lagu shubaa saxanka garaafka. Waxqabadka iyo tayada saxanka garaafka ayaa door muhiim ah ka ciyaara tayada lakabka epitaxial-ka ee wafer-ka. Dhinaca wax soo saarka epitaxial-ka, waxaa loo baahan yahay garaafka saafiga ah ee aadka u sarreeya iyo saldhigga garaafka saafiga ah ee sarreeya oo leh dahaarka SIC.
Saldhigga garaafiga ee shirkaddayada ee epitaxy semiconductor wuxuu leeyahay codsiyo kala duwan, wuxuu la jaan qaadi karaa inta badan qalabka loo isticmaalo warshadaha, wuxuuna leeyahay daahirnimo sare, dahaar isku mid ah, cimri adeeg oo aad u fiican, iyo iska caabin kiimiko oo sare iyo xasillooni kuleyl.
03 Qalabka Graphite ee loogu talagalay beerista ion
Ku-tallaalidda Ion-ka waxaa loola jeedaa habka loo dedejiyo fallaadhaha balaasmaha ee boron, fosfooraska iyo arsenic ilaa tamar gaar ah, ka dibna lagu duro lakabka dusha sare ee wafer-ka si loo beddelo sifooyinka maaddada ee lakabka dusha sare. Qaybaha qalabka ku-tallaalidda ion-ka waa inay ka samaysan yihiin walxo saafi ah oo leh iska caabin kulayl oo aad u fiican, hab-dhaqan kuleyl, daxal yar oo ay keento fallaadhaha ion-ka iyo wasakh yar. Graphite-ka saafiga ah wuxuu buuxiyaa shuruudaha codsiga, waxaana loo isticmaali karaa tuubada duulimaadka, jeexitaanno kala duwan, elektaroodhada, daboollada elektaroodhada, tuubooyinka, joojinta fallaadhaha, iwm. ee qalabka ku-tallaalidda ion-ka.
Ma bixin karno oo keliya daboolka gaashaamaynta garaafka ee mashiinnada kala duwan ee lagu tallaalo ion, laakiin sidoo kale waxaan bixin karnaa elektroodhada garaafka saafiga ah iyo ilaha ion oo leh iska caabin daxal sare oo leh tilmaamo kala duwan. Moodooyinka khuseeya: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM iyo qalab kale. Intaa waxaa dheer, waxaan sidoo kale bixin karnaa alaabada dhoobada ah, tungsten, molybdenum, aluminium iyo qaybo dahaar leh.
04 Qalabka dahaarka graphite iyo kuwa kale
Qalabka dahaarka kulaylka ee loo isticmaalo qalabka wax soo saarka semiconductor-ka waxaa ka mid ah dareemaha adag ee graphite, dareemaha jilicsan, foil graphite, warqad graphite ah, iyo xarig graphite ah.
Dhammaan agabkayaga ceeriin waa graphite la soo dhoofiyay, kaas oo la jari karo iyadoo loo eegayo cabbirka gaarka ah ee shuruudaha macaamiisha ama la iibin karo guud ahaan.
Saxanka kaarboon-kaarboon waxaa loo isticmaalaa sidii side loogu talagalay dahaarka filimka ee habka wax soo saarka ee silikoon monocrystalline ee qoraxda iyo unugyada silikoon polycrystalline. Mabda'a shaqadu waa: geli jajabka silikoon saxaaradda CFC oo u dir tuubada foornada si loo farsameeyo dahaarka filimka.
