Sekoahelo sa khabone sa khalase ke mofuta oa sekoahelo se entsoeng ka thepa e khethehileng bakeng sa liteko le lits'ebetso tsa mocheso o phahameng. Se na le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, botsitso bo botle ba lik'hemik'hale le bohloeki bo phahameng, kahoo se sebelisoa haholo masimong a fapaneng, joalo ka tšepe, liseramiki, lik'hemik'hale, li-semiconductor le tse ling.
Ts'ebetso ea tlhahiso ea sebopi sa khabone sa khalase e rarahane haholo, e hlokang ho feta lits'ebetsong tse ngata le taolo e tiileng ea boleng. Taba ea pele, ho hlokahala ho sebelisa lisebelisoa tse tala tse hloekileng haholo, joalo ka graphite, asphalt, jj., kamora kalafo ea mocheso o phahameng le karabelo ea lik'hemik'hale, ho etsa phofo ea khabone ea khalase. Ebe phofo e etsoa ka sebopeho sa sebopi sa khalase kamora ho bopa, ho sila le lits'ebetso tse ling. Qetellong, ho boetse ho hlokahala ho etsa ho annealing, ho sila, ho polishing le mekhoa e meng ea kalafo ea mocheso o phahameng ho netefatsa boleng le ts'ebetso ea sebopi sa khalase.
Ho ikhetha:
Lisebelisoa tse fapaneng tsa graphite li ka sebelisoa e le li-substrate
Thepa ea graphite substrate ha e lahlehe
E ka fokotsa ho thehoa ha lerōle la graphite
E na le ho hanyetsa ho ngoapa ho betere le ho tšoarella ho hong ho thibelang khohlano
Etsa kopo:
Likarolo tsa lisebelisoa tsa ho taka tsa silicon tse se nang kristale
Likarolo tse holang tsa Epitaxial
Tsoelang pele ho lahla shoe
Sekoahelo sa tiiso ea khalase
| Msepakapaka | Bongata ba bongata | Hho ba thata | Ho hanyetsa motlakase | Matla a ho kobeha | Matla a khatello |
| ISEM-3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| GP1B | 0 | + 3% | 0 | + 8% | + 3% |
| GP2Z | 0 | + 3% | - | + 7% | + 4% |
| GP2B | 0 | + 3% | 0 | + 13% | + 3% |
-
Moetsi oa li-cap tsa graphite tse koahetsoeng ka TaC
-
Masale a Tataiso ea ho Koahela Tantalum Carbide
-
Liphaephe tsa Kholo ea Crystal ea SiC tse nang le Tantalum Carbide ...
-
Sesupa-mollo sa Wafer se koahetsoeng ka TaC bakeng sa Mollo oa MOCVD
-
Lesale le koahetsoeng ka tantalum carbide le nang le bophelo bo bolelele
-
Bongata ba CVD SiC bo Hloekileng bo Phahameng bo nang le Motheo oa Graphite

