Sekoahelo sa khabone sa khalase ke mofuta oa sekoahelo se entsoeng ka thepa e khethehileng bakeng sa liteko le lits'ebetso tsa mocheso o phahameng. Se na le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, botsitso bo botle ba lik'hemik'hale le bohloeki bo phahameng, kahoo se sebelisoa haholo masimong a fapaneng, joalo ka tšepe, liseramiki, lik'hemik'hale, li-semiconductor le tse ling.
Ts'ebetso ea tlhahiso ea sebopi sa khabone sa khalase e rarahane haholo, e hlokang ho feta lits'ebetsong tse ngata le taolo e tiileng ea boleng. Taba ea pele, ho hlokahala ho sebelisa lisebelisoa tse tala tse hloekileng haholo, joalo ka graphite, asphalt, jj., kamora kalafo ea mocheso o phahameng le karabelo ea lik'hemik'hale, ho etsa phofo ea khabone ea khalase. Ebe phofo e etsoa ka sebopeho sa sebopi sa khalase kamora ho bopa, ho sila le lits'ebetso tse ling. Qetellong, ho boetse ho hlokahala ho etsa ho annealing, ho sila, ho polishing le mekhoa e meng ea kalafo ea mocheso o phahameng ho netefatsa boleng le ts'ebetso ea sebopi sa khalase.
Ho ikhetha:
Lisebelisoa tse fapaneng tsa graphite li ka sebelisoa e le li-substrate
Thepa ea graphite substrate ha e lahlehe
E ka fokotsa ho thehoa ha lerōle la graphite
E na le ho hanyetsa ho ngoapa ho betere le ho tšoarella ho hong ho thibelang khohlano
Etsa kopo:
Likarolo tsa lisebelisoa tsa ho taka tsa silicon tse se nang kristale
Likarolo tse holang tsa Epitaxial
Tsoelang pele ho lahla shoe
Sekoahelo sa tiiso ea khalase
| Msepakapaka | Bongata ba bongata | Hho ba thata | Ho hanyetsa motlakase | Matla a ho kobeha | Matla a khatello |
| ISEM-3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| GP1B | 0 | + 3% | 0 | + 8% | + 3% |
| GP2Z | 0 | + 3% | - | + 7% | + 4% |
| GP2B | 0 | + 3% | 0 | + 13% | + 3% |
-
Phaephe ea Tantalum carbide
-
Sekepe sa Crystal se entsoeng ka Silicon Carbide se Nchafalitsoeng Bakeng sa ...
-
Khabone e Khalase e sa Keneng Ts'enyeho ea Boleng bo Holimo ...
-
Seaparo sa Tantalum carbide: se hanyetsanang le ho tsofala, se phahameng ...
-
Tantalum carbide e koahetsoeng ka li-porous graphite tse bonahalang
-
Tantalum Carbide Coating Wafer Susceptor

