Tlhahisong ea li-semiconductor, ts'ebetso ea mocheso o phahameng e bohlokoa bakeng sa mehato ea tlhahiso ea li-wafer tse kang oxidation, diffusion, annealing, le LPCVD deposition. Ts'ebetso tsena hangata li etsoa ka har'a litsamaiso tsa sehatsetsi sa semiconductor tse sebetsang lipakeng tsa 800°C le 1200°C, moo botsitso ba mocheso, taolo ea tšilafalo, le ho tšoana ha khase ho amang ka kotloloho chai ea li-wafer le ts'ebetso ea sesebelisoa.
Har'a likarolo tsa bohlokoa tsa sebōpi,Phaephe ea ho hasana ha SiC— e tsejoang hape e le tube ea ho hasanya silicon carbide kapa tube ea sebōpi sa SiC — e bapala karolo ea bohlokoa ho bolokeng tikoloho e tsitsitseng ea ts'ebetso. Ha e bapisoa le li-tube tsa sebōpi sa quartz tsa setso, li-tube tsa ho hasanya SiC li fana ka conductivity e phahameng ea mocheso, matla a betere a mechini, le khanyetso e phahameng ho lik'hemik'hale tse thata tsa semiconductor, e leng se etsang hore li be bohlokoa haholoanyane tlhahisong e tsoetseng pele ea semiconductor.
Tube ea ho Fapana ha SiC ke Eng?
Tube ea ho hasanya SiC ke kamore ea letsopa e nang le mocheso o phahameng e silindara e sebelisoang ka hare ho litsamaiso tsa ho hasanya ha semiconductor le tsa LPCVD. Mosebetsi oa eona o ka sehloohong ke ho theha tikoloho e hloekileng le e tsitsitseng mochesong bakeng sa ts'ebetso ea wafer.
Nakong ea ts'ebetso, likepe tsa wafer tse tletseng li-wafer tsa silicon li beoa ka har'a tube ha likhase tse sebetsang li phalla ka phapusing tlas'a maemo a mocheso a laoloang ka hloko. Tube ea ho hasana e thusa ho boloka:
●Kabo e tsitsitseng ea mocheso
●Phallo ea khase e tšoanang
●Tšilafalo e tlase ea likaroloana
●Likarabelo tsa lik'hemik'hale tse laoloang
Liphaephe tsa ho hasana ha SiC li sebelisoa haholo ho:
●Lifono tsa ho hasanya tsa semiconductor
●Sistimi ea sebōpi sa LPCVD
● Lisebelisoa tsa ho futhumatsa mocheso
●Mekhoa ea ho hotetsa
Likopo tse tloaelehileng li kenyelletsa:
● Ho qhibilihisa silicone
● Ho hasana ha phosphorus
● Ho ata ha boron
●Ho kenngoa ha polysilicon
● Ho kenngoa ha nitride ka silicon
Litabeng tsa sejoale-joale, litlhoko tsa ho tšoana ha ts'ebetso ea sebōpi li thata haholo. Mohlala, lits'ebetso tse tsoetseng pele tsa LPCVD li ka hloka ho tšoana ha mocheso oa wafer ka hare ho ±1°C ho isa ho ±3°C ho pholletsa le sebaka sa sebōpi. Ts'ebetso ea mocheso ea tube ea ho hasana e ama bokhoni bona ka kotloloho.
Hobaneng ha Silicon Carbide (SiC) e Sebelisoa bakeng sa Liphaephe tsa ho Hasana
Tšebeliso e ntseng e hola ea lipeipi tsa ho hasanya silicon carbide e tsoa thepa e ikhethang ea thepa ea SiC tlas'a maemo a ts'ebetso ea semiconductor ea mocheso o phahameng.
E 'ngoe ea melemo ea bohlokoa ka ho fetisisa ke botsitso ba mocheso. SiC e ka sebetsa ka ho tsoelang pele mochesong o kaholimo ho 1200°C, ha e ntse e boloka botsitso bo matla ba sebopeho nakong ea potoloho ea mocheso e pheta-phetoang.
Molemo o mong oa bohlokoa ke ho tsamaisa mocheso. Ho tsamaisa mocheso ha SiC hangata ho mabapi le:
●120–200 W/m·K bakeng sa SiC e hloekileng haholo
●Ha e bapisoa le quartz ka ~1.4 W/m·K feela
Phapang ena e kholo e dumella phetiso ya mocheso e potlakileng le e tshwanang haholoanyane ka hara onto, e thusang ho ntlafatsa botsitso ba tshebetso ya wafer ho ya wafer.
SiC e boetse e fana ka:
●Khanyetso e babatsehang khahlanong le likhase tse thehiloeng ho chlorine le fluorine
●Matla a mechini a phahameng ho feta quartz
● Ho hanyetsa ho molemo ha mocheso
●Kotsi e tlase ea ho fetoha ha sebopeho nakong ea potoloho e telele ea tlhahiso
Litšobotsi tsena li etsa hore li-tube tsa sebōpi sa SiC li lokele haholo-holo libaka tse tsoetseng pele tsa ts'ebetso ea mocheso oa semiconductor moo nako e telele ea ho sebetsa le ho pheta-pheta ha ts'ebetso e tsitsitseng ho leng bohlokoa.
Litšobotsi tsa Sebopeho le Moralo oa Li-Tube tsa SiC Diffusion
Li-tube tse ngata tsa ho hasanya SiC tsa semiconductor li na le moralo o nepahetseng oa cylindrical o ntlafalitsoeng bakeng sa litsamaiso tsa ontong tse otlolohileng kapa tse otlolohileng.
Ho fapana le lipeipi tse tloaelehileng tsa letsopa tsa indasteri, lipeipi tsa SiC tsa sehlopha sa semiconductor li hloka mamello e matla haholo ea tlhahiso hobane liphetoho tse nyane tsa boholo li ka ama:
●Nako ea ho lula peterole
●Kabo ea mocheso
●Sebaka sa wafer
● Ho tšoana ha ho beoa ha sebaka
Boleng ba bokaholimo ba kahare le bona bo bohlokoa haholo. Libaka tse boreleli le tse hloekileng haholo li thusa ho fokotsa:
● Ho hlahisa likaroloana
●Ts'ebetso ea ho bokella masalla
●Tšilafalo ea tšepe
Li-tube tse ling tse tsoetseng pele tsa sebōpi li sebelisa liphahlo tsa CVD SiC ho ntlafatsa ho hanyetsa mafome le bohloeki ba bokaholimo.
Botenya ba lebota le moralo oa sebopeho le tsona li tlameha ho leka-lekanya katleho ea mocheso le ho tšoarella ha mechini. Nakong ea ts'ebetso ea semiconductor, lipeipi tsa onto li ka ba le lipotoloho tse makholo kapa esita le tse likete tsa ho futhumatsa le ho pholisa nakong ea bophelo ba tsona ba ts'ebetso.
Karolo ea Li-Tube tsa SiC Diffusion Mekhoeng ea Semiconductor
Tlhahisong ea li-semiconductor, tube ea ho hasanya SiC e sebetsa ho feta feela kamore ea 'mele. E ama ka kotloloho botsitso ba ts'ebetso le boleng ba wafer.
Mekhoeng ea ho ntša oksijene mochesong, tube e thusa ho boloka phallo ea oksijene e ts'oanang le botsitso ba mocheso, e leng tsa bohlokoa bakeng sa ho hlahisa lifilimi tsa oxide tsa boleng bo holimo.
Mekhoa ea ho hasana, phallo e tsitsitseng ea khase ka har'a tube ea SiC e tšehetsa kabo e nepahetseng ea dopant bakeng sa ho hasana ha phosphorus kapa boron.
Bakeng sa lits'ebetso tsa LPCVD, joalo ka polysilicon le silicon nitride deposition, conductivity ea mocheso ea SiC e thusa ho ntlafatsa ho tšoana ha botenya ba filimi ho pholletsa le sehlopha sa wafer.
Mathata a Tloaelehileng a Liphaephe tsa SiC Diffusion
Leha SiC e fana ka ho tšoarella ho hoholo, lipeipi tsa ho hasanya li ntse li senyeha nako e telele tlas'a maemo a ts'ebetso ea semiconductor.
Bothata bo bong bo tloaelehileng ke tšilafalo ea likaroloana e bakoang ke botsofali ba bokaholimo kapa ho bokellana ha masala a ts'ebetso. Ha nako e ntse e ea, ho pepesehela lik'hemik'hale khafetsa mochesong o phahameng ho ka senya bokaholimo ba ka hare butle-butle, e leng se eketsang kotsi ea tšilafalo.
Ho petsoha ha mocheso ke phephetso e 'ngoe. Ho potlaka ha mocheso ka potlako kapa ho jara wafer ka mokhoa o sa lekanang ho ka baka khatello ea mocheso e ka qetellang e baka mapetso a manyane kapa ho hloleha ha sebopeho.
Khoholeho ea lik'hemik'hale e ka boela ea hlaha tlas'a libaka tse matla tsa ho hloekisa tse thehiloeng ho halogen. Ho pepesehela likhase tse nang le fluorine nako e telele ho ka senya bokaholimo ba tube butle-butle 'me ha ama botsitso ba ts'ebetso.
Maemong a tlhahiso, mathata ana a ka lebisa ho:
●Ho thekesela ha mocheso
●Filimi ha e tšoane
●Palo e eketsehileng ea likaroloana
●Ho fokotseha ha phetetso ea ts'ebetso
Ka lebaka lena, hangata di-semiconductor fabs di lekola tshebetso ya tube ya sebopi ka mananeo a kamehla a ho tšoaneleha le a tlhokomelo ya thibelo.
Tlhokomelo le Tsamaiso ea Bophelo Bohle
Tlhokomelo e nepahetseng ea hlokahala bakeng sa ho atolosa bophelo ba ts'ebetso eaLiphaephe tsa sebōpi sa SiCle ho boloka ts'ebetso e tsitsitseng ea ts'ebetso ea semiconductor.
Bongata ba di-fab di kenya tshebetsong dipotoloho tse rerilweng tsa tlhahlobo tse kenyeletsang:
●Tlhahlobo ea bokaholimo bo bonahalang
●Tlhokomelo ea mekhoa ea likaroloana
●Teko ea mangolo a ho tšoaneleha bakeng sa sebōpi
●Netefatso ea ho tšoana ha mocheso
Mekhoa ea ho hloekisa e ka kenyelletsa ho hloekisa ka lik'hemik'hale tse metsi kapa mekhoa ea ho baka ka mocheso o phahameng ho tlosa masalla a ts'ebetso.
Tlhahisong ea li-semiconductor tse nang le molumo o phahameng, ho nkeloa sebaka ha tube ea ho hasana hangata ho ipapisitse le:
●Lihora tsa ts'ebetso
●Palo ea potoloho ea mocheso
●Ts'ebetso ea likaroloana
●Meeli ea ho tšoaneleha
Ho ena le ho emela tshenyo e bonahalang, hangata di-fab di nkela di-tube tsa sebopi sebaka pele ho thella ha tshebetso ho ama chai ya wafer.
Ha theknoloji ea semiconductor e ntse e tsoela pele ho ea ho li-node tse nyane tsa ts'ebetso le lits'ebetso tse hlokang mocheso o mongata, bohlokoa ba ho ba leliphaephe tsa ho hasana ha silicon carbidee tla tswela pele ho hola. Bokgoni ba tsona ba ho tshehetsa tshebetso e tsitsitseng ya mocheso, tshilafatso e tlase, le ho tshepahala ha sebopi ka nako e telele di di etsa dikarolo tsa bohlokwa disebedisweng tsa sejwalejwale tsa tlhahiso ya di-semiconductor.
Nako ea poso: Mots'eanong-08-2026