Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, iṣẹ́ àgbékalẹ̀ ooru oníwọ̀n otútù gíga ṣe pàtàkì fún àwọn ìgbésẹ̀ ṣíṣe wafer bíi oxidation, diffusion, annealing, àti ìfipamọ́ LPCVD. Àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí sábà máa ń wáyé nínú àwọn ètò ìléru semiconductor tí ń ṣiṣẹ́ láàrín 800°C àti 1200°C, níbi tí ìdúróṣinṣin iwọ̀n otútù, ìṣàkóso ìbàjẹ́, àti ìṣọ̀kan gaasi ní ipa taara lórí ìṣẹ̀dá wafer àti iṣẹ́ ẹ̀rọ.
Láàrín àwọn èròjà oníná tó ṣe pàtàkì,Pọ́ọ̀pù ìtànkálẹ̀ SiC— tí a tún mọ̀ sí tube ìfọ́mọ́ sílíkọ́nì carbide tàbí tube ìfọ́mọ́ sísíkọ́nì — kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àtúnṣe àyíká iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn tube ìfọ́mọ́ sísíkọ́nì quartz ìbílẹ̀, àwọn tube ìfọ́mọ́ sísíkọ́nì máa ń fúnni ní agbára ìgbóná ooru tí ó ga jù, agbára ẹ̀rọ tí ó dára jù, àti agbára ìdènà gíga sí àwọn kemistri ìfọ́mọ́ sísíkọ́nì líle, èyí tí ó mú kí wọ́n túbọ̀ ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor tí ó ti lọ síwájú.
Kí ni Ọkọ̀ Ìfọ́nká SiC?
Púùbù ìfọ́nká SiC jẹ́ yàrá seramiki oníwọ̀n otútù gíga tí a ń lò nínú ìfọ́nká semiconductor àti àwọn ètò ìléru LPCVD. Iṣẹ́ àkọ́kọ́ rẹ̀ ni láti ṣẹ̀dá àyíká mímọ́ tónítóní àti tí ó dúró ṣinṣin fún ṣíṣe wafer.
Nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́, a máa ń gbé àwọn ọkọ̀ ojú omi wafer tí a fi silicon wafers kún inú tube náà nígbà tí àwọn gáàsì ń ṣàn gba inú yàrá náà kọjá lábẹ́ àwọn ipò otútù tí a ṣàkóso dáradára. Pọ́ọ̀bù ìfọ́súnmọ́ra náà ń ran lọ́wọ́ láti máa ṣe àtúnṣe:
● Pínpín ooru tó dúró ṣinṣin
● Ṣíṣàn gáàsì kan náà
●Ìbàjẹ́ díẹ̀ nínú àwọn èròjà
●Àwọn ìṣesí kẹ́míkà tí a ṣàkóso
Awọn tube itankale SiC ni a lo ni lilo pupọ ni:
●Àwọn ìléru ìfọ́mọ́ra Semiconductor
●Àwọn ètò ìléru LPCVD
●Ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra ooru
●Àwọn ètò ìfọ́mọ́ra
Awọn ohun elo deede pẹlu:
●Ìfàsẹ́yìn sílíkónì
●Ìtànkálẹ̀ físífórùsì
●Ìtànkálẹ̀ Boron
●Ìfipamọ́ Polysilicon
●Ìfipamọ́ silicon nitride
Nínú àwọn ẹ̀rọ ìgbàlódé, àwọn ohun tí a nílò láti ṣe déédé nínú iṣẹ́ iná mànàmáná jẹ́ ohun tí ó le gan-an. Fún àpẹẹrẹ, àwọn iṣẹ́ LPCVD tí ó ti lọ síwájú lè nílò ìbáramu ìwọ̀n otútù wafer láàrín ±1°C sí ±3°C ní gbogbo agbègbè iná mànàmáná. Iṣẹ́ ooru ti ọ̀pá ìtànkálẹ̀ ní ipa lórí agbára yìí ní tààrà.
Ìdí Tí A Fi Ń Lo Silicon Carbide (SiC) Fún Àwọn Pọ́ọ̀bù Ìfọ́nká
Lilo ti ndagba ti awọn tube itankale silikoni carbide wa lati awọn ohun-ini ohun elo alailẹgbẹ ti SiC labẹ awọn ipo ilana semiconductor iwọn otutu giga.
Ọ̀kan lára àwọn àǹfààní pàtàkì jùlọ ni ìdúróṣinṣin ooru. SiC lè máa ṣiṣẹ́ nígbà gbogbo ní ìwọ̀n otútù tí ó ju 1200°C lọ, nígbà tí ó ń pa ìdúróṣinṣin ìṣètò tí ó lágbára mọ́ nígbà tí a bá ń yípo ooru lẹ́ẹ̀kan sí i.
Àǹfààní pàtàkì mìíràn ni ìṣàfihàn ooru. Ìṣàfihàn ooru ti SiC sábà máa ń wà ní àyíká:
●120–200 W/m·K fún ìwẹ̀nùmọ́ gíga SiC
●A fiwé pẹ̀lú kuotisi ní ~1.4 W/m·K nìkan
Iyatọ pataki yii ngbanilaaye gbigbe ooru ti o yara ati deede diẹ sii ninu ileru, ti o ṣe iranlọwọ lati mu iduroṣinṣin ilana wafer-si-wafer dara si.
SiC tun pese:
●Agbára tó tayọ sí àwọn gáàsì tí a fi chlorine àti fluorine ṣe
●Agbara ẹrọ ti o ga ju quartz lọ
●Agbára ìdènà tó dára jù sí ìkọlù ooru
●Ewu idinku ninu iyipada lakoko awọn iyipo iṣelọpọ gigun
Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mú kí àwọn páìpù iná SiC dára jùlọ fún àwọn àyíká ìṣiṣẹ́ ooru semiconductor tó ti ní ìlọsíwájú níbi tí àkókò pípẹ́ àti ìtúnṣe ilana tó dúró ṣinṣin ṣe pàtàkì.
Ìṣètò àti Ìṣẹ̀dá Àwọn Àbùdá Ìfọ́súnmọ́ SiC
Pupọ julọ awọn tube itankale semiconductor SiC ni apẹrẹ iyipo ti o peye ti a ṣe iṣapeye fun awọn eto inaro tabi petele.
Láìdàbí àwọn páìpù seramiki ilé iṣẹ́ lásán, àwọn páìpù SiC onípele semiconductor nílò ìfaradà ìṣelọ́pọ́ tí ó le koko gidigidi nítorí pé àwọn ìyípadà onípele kékeré lè ní ipa lórí:
●Àkókò gbígbé gaasi
●Pínpín ooru
●Ààlà àlàfo wafer
● Ìbáramu ìfipamọ́
Dídára ojú inú rẹ̀ tún ṣe pàtàkì gan-an. Àwọn ojú tí ó mọ́ tónítóní àti tí ó ní ìmọ́tótó gíga máa ń dínkù:
●Ìṣẹ̀dá patiku
●Ìkójọpọ̀ àwọn ohun tí ó kù nínú iṣẹ́
●Ìbàjẹ́ irin
Àwọn páìpù iná mànàmáná kan tí ó ti ní ìlọsíwájú ń lo àwọn ìbòrí CVD SiC láti mú kí ìdènà ìbàjẹ́ àti ìwẹ̀nùmọ́ ojú ilẹ̀ sunwọ̀n sí i.
Nipọn ogiri ati apẹrẹ eto naa gbọdọ tun ṣe iwọntunwọnsi ṣiṣe ooru pẹlu agbara ẹrọ. Lakoko iṣiṣẹ semiconductor, awọn tube ileru le ni awọn iyipo igbona ati itutu agbaiye ọgọọgọrun tabi ẹgbẹẹgbẹrun jakejado igbesi aye iṣẹ wọn.
Ipa ti Awọn Tubusi Itankale SiC ninu Awọn Ilana Semiconductor
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, páìpù ìtànkálẹ̀ SiC ń ṣiṣẹ́ ju yàrá ìṣiṣẹ́ lásán lọ. Ó ní ipa lórí ìdúróṣinṣin iṣẹ́ àti dídára wafer.
Nínú àwọn ìlànà ìfọ́mọ́ra ooru, ọ̀pá náà ń ran lọ́wọ́ láti máa rí i dájú pé atẹ́gùn ń ṣàn déédé àti pé ó dúró ṣinṣin ní ìwọ̀n otútù, èyí tó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àwọn fíìmù oxide tó dára.
Nínú àwọn ìlànà ìtànkálẹ̀, ìṣàn gaasi tí ó dúró ṣinṣin nínú páìpù SiC ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìpínkiri dopant pípé fún ìtànkálẹ̀ phosphorus tàbí boron.
Fún àwọn ohun èlò LPCVD, bíi polysilicon àti silicon nitride deposition, ìgbóná ooru ti SiC ń ran lọ́wọ́ láti mú kí ìwọ̀n fíìmù náà dọ́gba ní gbogbo àkójọ wafer.
Àwọn Ìṣòro Tó Wọ́pọ̀ Nínú Àwọn Pọ́ọ̀pù Ìfọ́nká SiC
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé SiC ní agbára tó dára gan-an, àwọn páìpù ìfọ́mọ́ra ṣì ń ní ìbàjẹ́ ìgbà pípẹ́ lábẹ́ àwọn ipò ìlànà semiconductor.
Ọ̀kan lára àwọn ìṣòro tó wọ́pọ̀ ni ìbàjẹ́ àwọn èròjà tí ó ń wáyé nítorí ọjọ́ ogbó tàbí ìkójọpọ̀ àwọn ohun tí a fi ń ṣe iṣẹ́ náà. Bí àkókò ti ń lọ, fífi ara hàn sí àwọn kẹ́míkà oníwọ̀n otútù gíga lè máa bàjẹ́ díẹ̀díẹ̀, èyí sì lè mú kí ewu ìbàjẹ́ pọ̀ sí i.
Ìpèníjà mìíràn tún ni fífọ́ ooru. Ìwọ̀n otútù kíákíá tàbí fífọ́ wafer tí kò dọ́gba lè fa ìdààmú ooru tí ó lè fa ìfọ́ microcracks tàbí ìkùnà ìṣètò nígbẹ̀yìn gbẹ́yín.
Ìfọ́ kẹ́míkà tún lè ṣẹlẹ̀ lábẹ́ àyíká ìwẹ̀nùmọ́ tí ó ní èròjà halogen. Fífi ara hàn fún àwọn gáàsì tí ó ní fluorine fún ìgbà pípẹ́ lè ba ojú ilẹ̀ tube jẹ́ díẹ̀díẹ̀ kí ó sì ní ipa lórí ìdúróṣinṣin ilana náà.
Ni awọn agbegbe iṣelọpọ, awọn iṣoro wọnyi le ja si:
● Ìyípadà iwọn otutu
●Àìbáramu fíìmù
●Iye àwọn èròjà tó pọ̀ sí i
● Dínkù sí àtúnṣe iṣẹ́
Fún ìdí èyí, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ semiconductor sábà máa ń ṣe àkíyèsí iṣẹ́ ọ̀nà ìgbóná nípasẹ̀ àwọn ètò ìtọ́sọ́nà déédé àti ìtọ́jú ìdènà.
Itọju ati Isakoso Igbesi aye
Itọju to peye ṣe pataki lati mu igbesi aye iṣẹ ṣiṣe pọ siAwọn ọpọn ileru SiCati mimu iṣẹ ṣiṣe ilana semikondokito iduroṣinṣin duro.
Ọpọlọpọ awọn fab ṣe awọn akoko ayẹwo ti a ṣeto ti o ni:
●Ṣíṣàyẹ̀wò ojú ojú
●Àkíyèsí àṣà ìṣẹ̀dá patiku
●Ìdánwò ìpele ìdánwò ilé iná
● Ìdánilójú ìṣọ̀kan ooru
Àwọn ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ lè ní ìwẹ̀nùmọ́ kẹ́míkà tútù tàbí ìtọ́jú yíyan igbóná-òtútù gíga láti yọ àwọn ìyókù iṣẹ́ kúrò.
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor oníwọ̀n gíga, ìyípadà tube diffusion sábà máa ń dá lórí:
● Wákàtí Ìṣiṣẹ́
●Iye ìyípo ooru
●Iṣẹ́ patiku
●Àwọn ààlà ìtóótun
Dípò kí wọ́n máa dúró de ìbàjẹ́ tí ó hàn gbangba, àwọn ẹ̀rọ ìgbàlódé sábà máa ń rọ́pò àwọn ọ̀pá iná ààrò kí ìyípadà iṣẹ́ náà tó ní ipa lórí ìyọrísí wafer.
Bí ìmọ̀-ẹ̀rọ semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú sí àwọn ọ̀nà ìṣiṣẹ́ kékeré àti àwọn ohun èlò ooru tó ń béèrè jù, pàtàkì ìgbẹ́kẹ̀lé ti ìgbẹ́kẹ̀léAwọn tube itankale silikoni carbideyóò máa tẹ̀síwájú láti dàgbàsókè. Agbára wọn láti ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ ìgbóná tí ó dúró ṣinṣin, ìbàjẹ́ díẹ̀, àti ìgbẹ́kẹ̀lé ilé ìgbóná fún ìgbà pípẹ́ mú kí wọ́n jẹ́ àwọn ohun èlò pàtàkì nínú àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ semiconductor òde òní.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-08-2026