Ha tlhahiso ea li-semiconductor e ntse e fetoha ho ea ho li-geometri tse nyane tsa lisebelisoa, ho feta ha wafer, le maemo a thata a taolo ea tšilafalo, lisebelisoa tsa ts'ebetso ea mocheso li tobane le liphephetso tsa boenjiniere tse e-so ka li bonoa pele. Mekhoa e kang LPCVD, oxidation ea mocheso, ho hasana ha dopant, le ho kenngoa ha mocheso o phahameng joale ha e hloke feela ho lekana ha mocheso o tiileng, empa hape e hloka nako e telele ea ho sebetsa ha lisebelisoa, tlhahiso e tlase ea likaroloana, le ho ntlafala ha ts'ebetso.
Leha hangata e hlokomolohuoa ha e bapisoa le likhase tsa ts'ebetso, liphaephe tsa onto, kapa lik'hemik'hale tsa ho boloka, paddle ea cantilever e khetholla ka botlalo hore na li-wafer li itšoara joang ka har'a libaka tse nang le mocheso o phahameng. Libakeng tse ngata tse tsoetseng pele, ha e sa nkoa e le karolo e bonolo e ka sebelisoang, empa e le thepa ea bohlokoa e nolofalletsang ts'ebetso ea semiconductor e tsitsitseng le e ka phetoa.
Sekepe sa SiC Cantilever ke eng?
Sekepe sa SiC Cantilever ke karolo ea sebopeho sa silicon carbide e hloekileng haholo e sebelisoang haholo-holo liontong tsa semiconductor diffusion le litsamaisong tsa LPCVD. Hangata e entsoe e le sebopeho se selelele sa cantilever se khonang ho tšehetsa likepe tsa quartz kapa SiC wafer nakong ea ts'ebetso ea mocheso o phahameng.
Karolo ena hangata e etsoa ka ho sebelisa:
● silicon carbide e nchafalitsoeng (RSiC)
● khabide ea silicon e kentsoeng ka mouoane oa lik'hemik'hale (CVD SiC)
● thepa ea SiC e kopantsoeng ka bongata ba karabelo
Ho ya ka data ya thepa e phatlaladitsweng ke CoorsTek le Saint-Gobain Performance Ceramics, thepa ya SiC e hlwekileng haholo hangata e bontsha:
● Ho tsamaisa mocheso: hoo e ka bang 120–200 W/m·K mochesong oa kamore
● Mocheso o phahameng ka ho fetisisa oa ts'ebetso sepakapakeng se sa sebetseng: kaholimo ho 1600°C.
● Katoloso ea mocheso e sebetsang hantle (CTE): hoo e ka bang 4.0–4.5×10⁻⁶/K.
● Ho hanyetsa hantle haholo HCl, NH₃, O₂, le k'hemistri ea ts'ebetso ea chlorine.
Karolo ea Sekepe sa SiC Cantilever ho Ts'ebetsong ea LPCVD
Har'a lits'ebetso tsohle, litsamaiso tsa LPCVD li emela e 'ngoe ea linyeoe tsa bohlokoa ka ho fetisisa tsa tšebeliso bakeng sa SiC Cantilever Paddles.
Mekhoa e kang:
● ho kenngoa ha polysilicon.
● silicon nitride (Si₃N₄).
● ho kenngoa ha oxide e nang le khatello e tlase.
Hangata e sebetsa pakeng tsa 500°C le 900°C, hangata tlas'a lipotoloho tse telele tsa ts'ebetso le tikoloho ea lik'hemik'hale tse arabelang haholo.
Ka hare ho litsamaiso tsena, sepekere sa cantilever se etsa mesebetsi e 'maloa ea bohlokoa ka nako e le' ngoe.
Taba ea pele, e fana ka lipalangoang tse tsitsitseng tsa mechine bakeng sa likepe tsa wafer tse kenang le ho tsoa ka har'a tube ea sebōpi. Hobane lifono tsa sejoale-joale tse otlolohileng li ka jara li-wafer tse makholo ka sehlopha, esita le phetoho e nyane ea paddle e ka lebisa ho se lumellaneng ha wafer, sebaka se sa tsitsang, kapa ho bokellana ha khatello ea mechine.
Sa bobedi, paddle e bapala karolo ea bohlokoa ho ts'oaneng ha mocheso. Ho tsamaisa mocheso ho phahameng ha SiC ho lumella mocheso ho aba ka ho lekana haholoanyane ho latela sebopeho sa tšehetso, ho fokotsa maemo a mocheso a sebakeng seo a ka amang ts'oano ea ho boloka mocheso.
Taba ea boraro, tlhahiso e tlase ea likaroloana e bohlokoa haholo. Likaroloana tsa semiconductor ke li-country tse bolaeang chai ka kotloloho, haholo-holo tlhahisong e tsoetseng pele ea logic le matla a semiconductor. Ka lebaka la sebopeho sa eona se teteaneng sa ceramic le khanyetso e matla ea mafome, SiC e hloekileng haholo e fokotsa kotsi ea ho tšoloha ha likaroloana ha e bapisoa le thepa ea setso.
Meleng e tsoetseng pele ea tlhahiso ea LPCVD, botsitso ba nako e telele ba paddle bo ama ka kotloloho:
● ho tsitsa ha botenya ba filimi.
● mokhoa oa ho pheta-pheta oa wafer ho ea ho wafer.
● nako ea ho sebetsa ha sebōpi.
Ningbo VET Energy e ikhetha ka graphite e tsoetseng pele, li-ceramic tsa silicon carbide, le likarolo tsa semiconductor tse koahetsoeng ka CVD tse etselitsoeng libaka tse hlokang tlhahiso ea semiconductor.
Lihlahisoa tsa Core semiconductor li kenyelletsa:
● Sekepe sa SiC Cantilever
● SiC Coated Graphite Susceptor
● Sekepe sa Wafer se koahetsoeng ka SiC
● Likarolo tse koahetsoeng tsa SiC tse nang le halofo ea khoeli
● Dintho tse Kopantsweng tsa Carbon-Carbon
● Graphite e bonolo e ikutloang le e tiileng e ikutloang
Lihlahisoa tsena li sebelisoa haholo ho:
● Litsamaiso tsa Epitaxy
● Li-reactor tsa LPCVD
● Lifono tsa ho hasanya
● Mekhoa ea ho holisa kristale ea SiC
● Lisebelisoa tsa ho sebetsana le mocheso o phahameng.
Ka kgolo e potlakileng ya SiC le tlhahiso e tsoetseng pele ya di-semiconductor tsa matla, tlhoko ya dikarolo tsa onto tse hlwekileng haholo, tse tsitsitseng haholo e tla tswela pele ho eketseha. Moelelong ona, theknoloji ya SiC Cantilever Paddle e tla dula e le e nngwe ya dintlha tsa motheo tse tshehetsang tshebetso ya di-semiconductor tsa moloko o latelang.
Nako ea poso: Mots'eanong-14-2026