Hauv kev tsim khoom semiconductor, kev ua cov txheej txheem kub siab yog qhov tseem ceeb rau cov kauj ruam tsim wafer xws li oxidation, diffusion, annealing, thiab LPCVD deposition. Cov txheej txheem no feem ntau yog ua hauv cov tshuab hluav taws xob semiconductor ua haujlwm ntawm 800 ° C thiab 1200 ° C, qhov twg qhov kub thiab txias ruaj khov, kev tswj kev ua qias tuaj, thiab kev sib npaug ntawm cov roj cuam tshuam ncaj qha rau cov wafer yield thiab kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej.
Ib feem tseem ceeb ntawm cov khoom siv hauv lub tshuab cua sov,SiC diffusion raj— tseem hu ua silicon carbide diffusion tube lossis SiC furnace tube — ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tswj hwm qhov chaw ruaj khov. Piv nrog rau cov raj quartz furnace ib txwm muaj, SiC diffusion tube muab cov thermal conductivity siab dua, lub zog kho tshuab zoo dua, thiab kev tiv taus zoo dua rau cov tshuaj lom neeg semiconductor hnyav, ua rau lawv tseem ceeb dua hauv kev tsim khoom semiconductor siab heev.
Lub raj SiC Diffusion yog dab tsi?
Lub raj SiC diffusion yog lub cylindrical high-temperature ceramic chamber siv rau hauv semiconductor diffusion thiab LPCVD furnace systems. Nws lub luag haujlwm tseem ceeb yog los tsim kom muaj ib puag ncig huv si thiab ruaj khov rau kev ua wafer.
Thaum lub sijhawm ua haujlwm, cov nkoj wafer uas muaj silicon wafers raug tso rau hauv lub raj thaum cov pa roj ua haujlwm ntws los ntawm lub chamber nyob rau hauv qhov kub thiab txias uas tswj tau zoo. Lub raj diffusion pab tswj:
● Kev faib tawm thermal ruaj khov
●Kev ntws roj sib xws
●Kev ua qias tuaj tsawg
●Kev tswj cov tshuaj lom neeg
SiC diffusion raj siv dav hauv:
●Cov cub tawg semiconductor diffusion
●LPCVD cov tshuab cua sov
●Cov khoom siv oxidation thermal
●Cov txheej txheem ua kom sov
Cov ntawv thov ib txwm muaj xws li:
●Kev ua kom silicon oxidation
●Kev sib kis ntawm phosphorus
●Kev sib kis ntawm Boron
● Kev tso tawm ntawm polysilicon
● Kev tso silicon nitride
Hauv cov khoom siv niaj hnub no, cov kev cai ntawm kev sib npaug ntawm cov txheej txheem cua sov yog qhov nruj heev. Piv txwv li, cov txheej txheem LPCVD siab heev yuav xav tau qhov kub thiab txias sib npaug ntawm wafer hauv ± 1 ° C txog ± 3 ° C thoob plaws thaj chaw cua sov. Kev ua haujlwm thermal ntawm lub raj diffusion cuam tshuam ncaj qha rau qhov peev xwm no.
Vim li cas Silicon Carbide (SiC) siv rau Diffusion Tubes
Kev siv cov raj silicon carbide diffusion ntau zuj zus los ntawm cov khoom siv tshwj xeeb ntawm SiC nyob rau hauv cov txheej txheem semiconductor kub siab.
Ib qho ntawm cov txiaj ntsig tseem ceeb tshaj plaws yog kev ruaj khov ntawm thermal. SiC tuaj yeem ua haujlwm tas li ntawm qhov kub siab tshaj 1200 ° C, thaum tswj hwm kev ruaj khov ntawm cov qauv thaum lub sijhawm rov ua dua thermal cycling.
Lwm qhov zoo dua yog kev ua kom sov. Kev ua kom sov ntawm SiC feem ntau yog nyob ib puag ncig:
●120–200 W/m·K rau SiC uas muaj kev ntshiab siab
● Piv nrog quartz ntawm tsuas yog ~ 1.4 W / m·K
Qhov sib txawv tseem ceeb no tso cai rau kev hloov pauv cua sov sai dua thiab sib xws hauv lub cub tawg, pab txhim kho cov txheej txheem wafer-rau-wafer.
SiC kuj muab:
●Kev tiv taus zoo heev rau cov pa roj chlorine thiab fluorine uas ua los ntawm cov txheej txheem
●Muaj zog dua li quartz
● Zoo dua tiv taus kev poob siab thermal
● Txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev hloov pauv thaum lub sijhawm ntev ntawm kev tsim khoom
Cov yam ntxwv no ua rau cov raj cua sov SiC tsim tshwj xeeb rau cov chaw ua haujlwm thermal semiconductor uas muaj sijhawm ua haujlwm ntev thiab ua haujlwm ruaj khov yog qhov tseem ceeb.
Cov Qauv thiab Cov Yam Ntxwv Tsim ntawm SiC Diffusion Tubes
Feem ntau cov raj xa dej SiC diffusion muaj cov qauv cylindrical meej uas tau tsim tshwj xeeb rau cov tshuab cua sov ntsug lossis kab rov tav.
Tsis zoo li cov raj xa dej ceramic hauv kev lag luam, cov raj xa dej SiC semiconductor-qib xav tau kev ua haujlwm nruj heev vim tias kev hloov pauv me me tuaj yeem cuam tshuam rau:
● Lub sijhawm nyob hauv roj
● Kev faib tawm cua sov
●Qhov sib nrug ntawm Wafer
● Kev sib npaug ntawm kev tso tawm
Qhov zoo ntawm sab hauv kuj tseem ceeb heev. Cov nto du thiab huv si pab txo qis:
●Kev tsim cov khoom me me
● Cov khoom seem uas tsim los ntawm cov txheej txheem
●Kev ua qias tuaj ntawm cov hlau
Qee cov raj cua sov siab heev siv CVD SiC txheej kom txhim kho kev tiv thaiv xeb thiab qhov chaw huv.
Qhov tuab ntawm phab ntsa thiab kev tsim qauv yuav tsum sib npaug ntawm kev ua haujlwm thermal nrog kev ruaj khov ntawm lub cev. Thaum lub sijhawm ua cov khoom siv semiconductor, cov raj cua sov yuav muaj ntau pua lossis txawm tias ntau txhiab lub voj voog cua sov thiab txias thoob plaws lawv lub neej ua haujlwm.
Lub Luag Haujlwm ntawm SiC Diffusion Tubes hauv Semiconductor Processes
Hauv kev tsim khoom semiconductor, lub raj SiC diffusion ua haujlwm ntau dua li tsuas yog lub chamber xwb. Nws cuam tshuam ncaj qha rau kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem thiab qhov zoo ntawm wafer.
Hauv cov txheej txheem oxidation thermal, lub raj pab tswj cov pa oxygen ntws thiab qhov kub thiab txias ruaj khov, uas yog qhov tseem ceeb rau kev tsim cov yeeb yaj kiab oxide zoo.
Hauv cov txheej txheem diffusion, cov roj ntws ruaj khov hauv lub raj SiC txhawb nqa qhov tseeb dopant faib rau phosphorus lossis boron diffusion.
Rau cov ntawv thov LPCVD, xws li polysilicon thiab silicon nitride deposition, qhov thermal conductivity ntawm SiC pab txhim kho qhov tuab ntawm zaj duab xis thoob plaws hauv cov wafer batch.
Cov Teeb Meem Feem Ntau ntawm SiC Diffusion Tubes
Txawm hais tias SiC muaj kev ruaj khov zoo heev, cov raj diffusion tseem muaj kev hnav ntev nyob rau hauv cov txheej txheem semiconductor.
Ib qho teeb meem uas feem ntau tshwm sim yog kev ua qias tuaj ntawm cov khoom me me uas tshwm sim los ntawm kev laus ntawm qhov chaw lossis cov khoom seem uas tau sib sau ua ke. Raws li lub sijhawm dhau mus, kev raug cov tshuaj lom neeg kub siab ntau zaus tuaj yeem maj mam ua rau qhov chaw sab hauv ntxhib, ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj.
Kev tawg ntawm cov khoom siv thermal yog lwm qhov teeb meem. Kev nce qib sai ntawm qhov kub thiab txias lossis kev thauj khoom tsis sib npaug tuaj yeem tsim kev ntxhov siab thermal uas thaum kawg yuav ua rau muaj cov kab nrib pleb me me lossis kev puas tsuaj ntawm cov qauv.
Kev puas tsuaj ntawm cov tshuaj kuj tseem yuav tshwm sim nyob rau hauv qhov chaw ntxuav uas muaj halogen ntau. Kev raug cov pa roj uas muaj fluorine ntev mus ntev tuaj yeem ua rau lub raj puas tsuaj thiab cuam tshuam rau kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem.
Hauv cov chaw tsim khoom, cov teeb meem no yuav ua rau:
● Kev hloov pauv kub
● Zaj duab xis tsis sib xws
● Muaj cov khoom me me ntxiv
● Txo qhov ua tau rov ua dua ntawm cov txheej txheem
Vim li no, cov chaw tsim khoom semiconductor feem ntau saib xyuas kev ua haujlwm ntawm cov raj cua sov los ntawm kev tsim nyog tsis tu ncua thiab cov kev pab cuam txij nkawm tiv thaiv.
Kev Txij Nkawm thiab Kev Tswj Xyuas Lub Neej
Kev saib xyuas kom zoo yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm ntev ntawmCov raj xa dej SiCthiab tswj kev ua haujlwm ntawm cov txheej txheem semiconductor kom ruaj khov.
Feem ntau cov fabs siv cov kev tshuaj xyuas teem sijhawm uas suav nrog:
●Kev tshuaj xyuas qhov chaw pom kev
●Kev soj ntsuam cov qauv ntawm cov khoom me me
●Kev ntsuam xyuas qhov tsim nyog ntawm lub cub tawg
● Kev txheeb xyuas qhov sib xws ntawm cua sov
Cov txheej txheem ntxuav yuav suav nrog kev ntxuav tshuaj ntub dej lossis kev kho kom sov siab kom tshem tawm cov khoom seem hauv cov txheej txheem.
Hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor ntau, kev hloov pauv raj diffusion feem ntau yog raws li:
●Cov sijhawm ua haujlwm
● suav cov voj voog kub
●Kev ua tau zoo ntawm cov khoom me me
●Cov kev txwv ntawm kev tsim nyog
Es tsis txhob tos kom pom kev puas tsuaj, cov fabs feem ntau hloov cov raj cua sov ua ntej cov txheej txheem drift cuam tshuam rau cov wafer yield.
Raws li cov thev naus laus zis semiconductor nce qib mus rau cov txheej txheem me me thiab cov ntawv thov thermal uas xav tau ntau dua, qhov tseem ceeb ntawm kev txhim khu kev qhasilicon carbide diffusion rajyuav txuas ntxiv loj hlob. Lawv lub peev xwm los txhawb kev ua haujlwm thermal ruaj khov, kev ua qias tuaj tsawg, thiab kev ntseeg tau ntev ntawm lub cub tawg ua rau lawv yog cov khoom tseem ceeb hauv cov khoom siv semiconductor niaj hnub.
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-08-2026