Hobaneng ha di-Crucible tsa Graphite tse kwahetsweng ke SiC di kgetha tlhahiso e tsitsitseng ya bongata?

Meleng ea tlhahiso ea kholo ea kristale ea SiC, baenjiniere ba bangata ba tsepamisa maikutlo moralong oa libaka tse chesang, li-curve tsa taolo ea mocheso, le tlhahiso ea phofo. Leha ho le joalo, ha ho hlaha liphetoho tsa chai, sesosa sa mantlha hangata se khutlela morao ho karolo e le 'ngoe - sebolaea-mollo. Ha e ntše leseli, ha e potolohe, 'me ha e hlahe e le "parameter ea mantlha" litšoantšong. Empa haeba lera le petsoha holim'a metsi, kristale e hlaha sebakeng se fosahetseng, kapa khabone e ngata haholo e tsoa sekhutlong, liphoso tse hlahang ho pholletsa le bolo eohle li hlakisa ntho e le 'ngoe: karolo ena ha e na karolo e tšehetsang.

Ho eketseha ha boteng baLi-crucible tsa graphite tse koahetsoeng ka SiCKa har'a lifono tsa kholo ea kristale ea semiconductor ho na le tlhaloso e bonolo: mocheso, sepakapaka le matla a ho tsamaisoa ha thepa sebakeng sa kholo li sutumelletsa meeli ea ts'ebetso ea thepa. Graphite e ntle haholo mabapi le ho hanyetsa mocheso, ho khona ho sebetsa hantle, le phetisetso ea mocheso—empa e tla le boemo ba eona ba 'mele: ho feto-fetoha ha mocheso, ho kenella ha metsi, ho arabela ha lik'hemik'hale ka mefuta ea mouoane kapa litšila, le likotsi tse ke keng tsa qojoa tsa ho etsoa ha phofo le ho hlahisoa ha likaroloana. Seaparo sa SiC se sebetsa e le tšitiso e thata khahlanong le lintlha tsena tsa bohloko.

Hobaneng ho Sebedisa SiC Coating hodima Graphite Crucibles?

Mabaka a mararo a sehlooho:

1. Fokotsa ho fetoha ha khabone le ho sebetsa hape

Graphite e qala ho thella mochesong o phahameng, esita le tlas'a khase e sa sebetseng. Khabone e lokollotsoeng e fetola k'hemistri ea mouoane nakong ea kholo ea PVT, e sitisa kinetics ea deposition le ho khothalletsa ho thehoa ha sekoli kapa ho se tsitse ha kholo.

2. Fokotsa mehlodi ea tšilafalo

Esita le graphite e hatelletsoeng ka mokhoa o sa fetoheng e na le masoba a manyane le tšekamelo ea tlhaho ea ho monya mefuta e kang lintho tse tlang pele ho mouoane, lihlahisoa tse ling, kapa mongobo. Tsena li ka lokolloa hamorao nakong ea ho phalla ha mocheso o phahameng, e leng se behang bohloeki ba kristale kotsing. Seaparo sa SiC se koala masoba le ho ntlafatsa bohloeki ba tikoloho.

3. Eketsa nako ea bophelo le ho thibela ho ata ha peō

Kamora ho matha ka makhetlo a mangata, bokaholimo ba graphite bo kotsing ea ho senyeha: ho phunya, ho petsoha, ho petsoha ha lintho tse nyane, le ho leketla ha thepa. Tsena li lebisa tšilafalong ea likaroloana le ho fokotsa chai. Seaparo se matla sa SiC se ka liehisa mekhoa e joalo ea ho hloleha haholo, sa boloka botšepehi ba bokaholimo le ts'epo.

Taolo ea Ts'ebetso ea ho Koahela e Khetholla Tšepo e ka Sekoahelong

Mokhoa o ka sehloohong oa ho roala ke CVD(Ho Hlahisoa ha Mouoane ka Lik'hemik'hale) ea SiC ea polycrystalline. E butsoitse ebile e tsitsitse mochesong. Leha ho le joalo, ho ba le sekoahelo ha hoa lekana—phapang ea sebele ts'ebetsong ea tšimo e itšetlehile ka lintlha tse ntle tse kang:

● Ho tšoana ha botenya ba ho roala

Dijiometri tse rarahaneng tse ka tjheswang ka seboping—ditepisi, diphaephe, di-fillets—di etsa dibaka tse nang le moriti kapa tse sa tjheseng moo botenya ba ho kwahela bo ka theohelang ka tlase ho di-spec. Dibaka tsena tse tshesane e ba tsa pele ho senyeha tlasa kgatello ya mocheso.

Tharollo:Mofani oa sekoahelo o tlameha ho ba le taolo e nepahetseng ea tšimo ea phallo ea 3D le litsamaiso tsa potoloho e matla ho netefatsa hore e koahetsoe ka mokhoa o ts'oanang esita le likarolong tse rarahaneng.

● Botebo ba ho roala le ho felisoa ha pinhole

Haeba diparamithara tsa CVD (di-gradient tsa mocheso, dikarolelano tsa khase, nako ya bodulo) di sa laolwe ka thata, masoba a manyane a ka hlaha. Tsena e ba dintlha tsa ho hloleha ha khabone e ntse e tswela pele mme ho hlaha mafome sebakeng seo.

Ho lemoha:Botenya ba motheo le tlhahlobo ea pono ha lia lekana. Sebelisa liteko tsa ho lutla ha helium kapa liteko tsa ho theola boima ba 'mele tse setseng ho pholletsa le lipotoloho tse ngata tsa mocheso ho fumana masoba a patiloeng.

● Matla a ho khomarela le ho hanyetsa khatello ea mocheso

SiC le graphite li na le li-coefficient tse fapaneng tsa katoloso ea mocheso. Haeba khatello e setseng ka har'a sekoahelo e sa fokotsoe, kapa ho otlolla/ho lokisa bokaholimo ho sa lekana, ho ka 'na ha e-ba le ho arohana ha mocheso nakong ea potoloho ea mocheso.

Mekhoa e metle ka ho fetisisa:Netefatsa ho phatloha ha lehlohlojane le ho hlwekiswa ka ultrasound pele o roala, mme o netefatse mamello ya kgatello ya mocheso ka ho potoloha ha sebopi sa sebele.

Mekhoa e Tloaelehileng ea ho Hlōleha le Tšusumetso ea Bona ea Crystal

Tlhahisong, hang ha sebolaya-mollo se hloleha, tshusumetso e hlahang hangata ha se feela ppm tse mmalwa, empa ke tahlehelo e felletseng ya sehlopha le dibeke tse ngata tsa tshitiso ya bokgoni. Hona ha se bothata ba bohlokwa feela—ke bothata ba botsitso ba sistimi.