Талаботи саноати нимноқилҳо ба маводи графит махсусан баланд аст, андозаи зарраҳои майдаи графит дорои дақиқии баланд, муқовимат ба ҳарорати баланд, қувваи баланд, талафоти хурд ва дигар бартариҳои дигар мебошад, ба монанди: қолаби маҳсулоти графитии синтелӣ.Азбаски таҷҳизоти графитие, ки дар саноати нимноқилҳо истифода мешаванд (аз ҷумла гармкунакҳо ва қолибҳои пухташудаи онҳо) бояд ба равандҳои такрории гармкунӣ ва хунуккунӣ тоб оваранд, барои дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизоти графитӣ одатан талаб карда мешавад, ки маводҳои графитие, ки истифода мешаванд, кори устувор ва функсияи зарбаи гармиро тобовар дошта бошанд.
01 Лавозимоти графитӣ барои парвариши кристаллҳои нимноқилӣ
Ҳамаи равандҳое, ки барои парвариши кристаллҳои нимноқилӣ истифода мешаванд, дар муҳити ҳарорати баланд ва зангзананда кор мекунанд. Минтақаи гарми кӯраи парвариши кристалл одатан бо ҷузъҳои графити тозаи баландсифати ба гармӣ тобовар ва ба зангзанӣ тобовар, ба монанди гармкунак, таги поя, силиндри изолятсия, силиндри роҳнамо, электрод, нигоҳдорандаи таги поя, гайкаи электрод ва ғайра муҷаҳҳаз аст.
Мо метавонем ҳама қисмҳои графити дастгоҳҳои истеҳсоли булӯрро истеҳсол кунем, ки онҳоро алоҳида ё дар маҷмӯъ ё қисмҳои графити фармоишӣ бо андозаҳои гуногун мувофиқи талаботи муштарӣ таъмин кардан мумкин аст. Андозаи маҳсулотро дар ҷои худ чен кардан мумкин аст ва миқдори хокистар дар маҳсулоти тайёр метавонад камтар бошад.аз 5ppm.
02 Лавозимоти графитӣ барои эпитаксияи нимноқилҳо
Раванди эпитаксиалӣ ба афзоиши қабати маводи монокристаллӣ бо ҳамон сохтори шабакавӣ бо субстрат дар субстрати монокристаллӣ ишора мекунад. Дар раванди эпитаксиалӣ, пластина ба диски графитӣ бор карда мешавад. Самаранокӣ ва сифати диски графитӣ дар сифати қабати эпитаксиалии пластина нақши муҳим мебозад. Дар соҳаи истеҳсоли эпитаксиалӣ, ба миқдори зиёди графити ултра-баландсифат ва пойгоҳи графити баландсифат бо рӯйпӯши SIC ниёз доранд.
Пойгоҳи графитии ширкати мо барои эпитаксияи нимноқилҳо доираи васеи татбиқро дорад, метавонад бо аксари таҷҳизоти маъмулан истифодашаванда дар соҳа мувофиқат кунад ва дорои тозагии баланд, пӯшиши якхела, мӯҳлати аълои хизматрасонӣ ва муқовимати баланди кимиёвӣ ва устувории гармӣ мебошад.
03 Лавозимоти графитӣ барои имплантатсияи ионӣ
Имплантатсияи ион ба раванди суръат бахшидан ба шуои плазмавии бор, фосфор ва арсен то энергияи муайян ва сипас ворид кардани он ба қабати рӯизаминии маводи пластина барои тағир додани хосиятҳои маводи қабати рӯизаминӣ дахл дорад. Қисмҳои дастгоҳи имплантатсияи ион бояд аз маводҳои тозагии баланд бо муқовимати аълои гармӣ, гузаронандагии гармӣ, зангзании камтар аз шуои ион ва миқдори ками ифлосӣ сохта шаванд. Графити тозагии баланд ба талаботи истифода ҷавобгӯ аст ва метавонад барои найчаи парвоз, сӯрохиҳои гуногун, электродҳо, сарпӯшҳои электрод, қубурҳо, терминаторҳои шуоъ ва ғайраҳои таҷҳизоти имплантатсияи ион истифода шавад.
Мо на танҳо метавонем барои мошинҳои гуногуни имплантатсияи ионҳо пӯшиши муҳофизатии графитӣ пешниҳод кунем, балки электродҳои графити тозагии баланд ва манбаъҳои ионро бо муқовимати баланди зангзанӣ бо хусусиятҳои гуногун низ пешниҳод кунем. Моделҳои мувофиқ: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ва дигар таҷҳизот. Илова бар ин, мо инчунин метавонем маҳсулоти сафолӣ, волфрам, молибден, алюминий ва қисмҳои пӯшонидашударо пешниҳод кунем.
04 Маводҳои изолятсияи графитӣ ва дигарҳо
Маводҳои изолятсияи гармидиҳӣ, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, намади сахти графитӣ, намади нарм, фолгаи графитӣ, коғази графитӣ ва ресмони графитӣ мебошанд.
Ҳамаи ашёи хоми мо графити воридотӣ мебошанд, ки онҳоро мувофиқи андозаи мушаххаси талаботи муштарӣ буридан ё дар маҷмӯъ фурӯхтан мумкин аст.
Табақчаи карбон-карбон ҳамчун интиқолдиҳанда барои пӯшонидани плёнка дар раванди истеҳсоли силикони монокристаллии офтобӣ ва ҳуҷайраҳои силикони поликристаллӣ истифода мешавад. Принсипи корӣ чунин аст: чипи силиконро ба табақи CFC ворид кунед ва онро барои коркарди пӯшонидани плёнка ба найчаи кӯра фиристед.
