Bí iṣẹ́ ẹ̀rọ semiconductor ṣe ń yípadà sí àwọn ẹ̀rọ kéékèèké, ìṣiṣẹ́ wafer tó ga jù, àti àwọn ìlànà ìṣàkóso ìbàjẹ́ tó le koko sí i, àwọn ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ ooru ń dojúkọ àwọn ìpèníjà ìmọ̀ ẹ̀rọ tí kò tíì ṣẹlẹ̀ rí. Àwọn ìlànà bíi LPCVD, ìfàsẹ́yìn ooru, ìtànkálẹ̀ dopant, àti ìfàsẹ́yìn otutu gíga ń béèrè fún ìṣọ̀kan otutu tó le koko nìkan, ṣùgbọ́n ó tún ń béèrè fún àkókò gígùn ohun èlò, ìṣẹ̀dá pàǹtíkì tó kéré sí i, àti àtúnṣe iṣẹ́ tó dára sí i.
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a sábà máa ń gbójú fo ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn gáàsì iṣẹ́, àwọn ọ̀pá iná ààrò, tàbí àwọn kẹ́míkà ìpamọ́, pádì cantilever ló ń pinnu bí àwọn wafer ṣe ń hùwà nínú àyíká tí ó ní iwọ̀n otútù gíga. Nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ tí ó ti wà tẹ́lẹ̀, a kò kà á sí ohun èlò tí ó rọrùn láti lò mọ́, ṣùgbọ́n dípò bẹ́ẹ̀ ó jẹ́ ohun èlò pàtàkì fún ṣíṣe semiconductor tí ó dúró ṣinṣin àti tí a lè tún ṣe.
Kí ni SiC Cantilever Paddle?
Paddle SiC Cantilever jẹ́ ẹ̀rọ ìṣètò silikoni carbide tó mọ́ tónítóní tí a ń lò ní pàtàkì nínú àwọn ilé ìgbóná ìfọ́sórí semiconductor àti àwọn ètò LPCVD. A sábà máa ń ṣe é gẹ́gẹ́ bí ìṣètò ìró cantilever gígùn tó lè ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ọkọ̀ ojú omi quartz tàbí SiC wafer nígbà tí wọ́n bá ń ṣe iṣẹ́ afẹ́fẹ́ tó ga.
A maa n ṣe eroja naa ni lilo:
● àtúnṣe sílíkónì kábíìdì (RSiC)
● ìgbóná kẹ́míkà tí a fi sínú èéfín silikoni carbide (CVD SiC)
● Àwọn ohun èlò SiC tí a so pọ̀ mọ́ ìhùwàsí gíga
Gẹ́gẹ́ bí ìwádìí ohun èlò tí CoorsTek àti Saint-Gobain Performance Ceramics gbé jáde, àwọn ohun èlò SiC tí ó mọ́ tónítóní sábà máa ń hàn:
● Ìwọ̀n ìgbóná: tó nǹkan bí 120–200 W/m·K ní iwọ̀n otutu yàrá
● Iwọn otutu iṣiṣẹ ti o ga julọ ni afẹfẹ ti ko ni ina: loke 1600°C.
● Ìṣọ̀kan ìfẹ̀sí ooru (CTE): tó nǹkan bí 4.0–4.5×10⁻⁶/K.
● Àìfaradà tó dára jùlọ sí HCl, NH₃, O₂, àti kẹ́míkà tí a fi chlorine ṣe.
Ipa ti SiC Cantilever Paddle ninu Iṣiṣẹ LPCVD
Láàrín gbogbo àwọn ohun èlò, àwọn ètò LPCVD jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ibi ìlò pàtàkì jùlọ fún SiC Cantilever Paddles.
Awọn ilana bii:
● ìfipamọ́ polysilicon.
● silicon nitride (Si₃N₄).
● ìfipamọ́ oxide tí a fi ìfúnpá kékeré ṣe.
Nigbagbogbo o maa n ṣiṣẹ laarin 500°C ati 900°C, nigbagbogbo labẹ awọn iyipo ilana gigun ati awọn ayika kemikali ti o ni agbara pupọ.
Nínú àwọn ètò wọ̀nyí, pádì cantilever ń ṣe ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ pàtàkì ní àkókò kan náà.
Àkọ́kọ́, ó ń pèsè ìrìnàjò oníṣẹ́ẹ́rọ tó dúró ṣinṣin fún àwọn ọkọ̀ ojú omi wafer tí wọ́n ń wọ inú àti tí wọ́n ń jáde kúrò nínú páìpù iná mànàmáná. Nítorí pé àwọn iná mànàmáná òde òní lè ní ọgọ́rọ̀ọ̀rún wafers fún ìpele kan, kódà ìyípadà díẹ̀ nínú pádì lè yọrí sí àìtọ́ wafer, àlàfo tí kò dúró ṣinṣin, tàbí ìkórajọ wahala ẹ̀rọ.
Èkejì, pádì náà kó ipa pàtàkì nínú ìṣọ̀kan ooru. Ìlànà ooru gíga ti SiC ń jẹ́ kí ooru pín káàkiri déédé pẹ̀lú ètò ìtìlẹ́yìn, èyí sì ń dín àwọn ìyípadà ooru tí ó wà ní àgbègbè kù tí ó lè ní ipa lórí ìṣọ̀kan ìfipamọ́.
Ẹ̀kẹta, ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò tí kò ní èròjà pàtàkì. Àwọn ohun èlò Semiconductor jẹ́ ohun tí ó ń pa ìyọrísí tààrà, pàápàá jùlọ nínú ìṣẹ̀dá ìmọ̀ ẹ̀rọ àti agbára semiconductor. Nítorí ìṣètò seramiki rẹ̀ tí ó nípọn àti agbára ìdènà ipata tí ó lágbára, SiC tí ó mọ́ tónítóní dín ewu ìtújáde ohun èlò kù ní pàtàkì ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìbílẹ̀.
Nínú àwọn ìlà ìṣẹ̀dá LPCVD tó ti ní ìlọsíwájú, ìdúróṣinṣin onípele ìgbà pípẹ́ ti pádì náà ní ipa taara lórí:
● ìdúróṣinṣin sísanra fíìmù náà.
● àtúnṣe sí wafer-sí-wafer.
● Àkókò ìṣiṣẹ́ ilé ìtura.
Ningbo VET Energy ṣe amọja ni graphite to ti ni ilọsiwaju, awọn seramiki silikoni carbide, ati awọn paati semiconductor ti a bo CVD ti a ṣe apẹrẹ fun awọn agbegbe iṣelọpọ semiconductor ti o nilo.
Awọn ọja Core semiconductor pẹlu:
● SiC Cantilever Paddle
● SiC Ti a bo Graphite Susceptor
● Ẹrù Wafer tí a fi SiC bo
● Àwọn Ẹ̀yà Ìdajì Òṣùpá Tí A Fi SíC Bo
● Àwọn ohun èlò ìkọsẹ̀ erogba-kabọn
● Fẹ́líìtì Gíráfítì Rírọ̀ àti Fẹ́líìtì Gíráfítì Rírọ̀
Awọn ọja wọnyi ni a lo ni lilo pupọ ni:
● Awọn eto Epitaxy
● Awọn ẹrọ atunṣe LPCVD
● Àwọn ìléru ìtànkálẹ̀
● Awọn eto idagbasoke kirisita SiC
● Àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ooru tí ó ní ìwọ̀n otútù gíga.
Pẹ̀lú ìdàgbàsókè kíákíá ti SiC àti ìṣẹ̀dá semiconductor power to ti ní ìlọsíwájú, ìbéèrè fún àwọn ẹ̀yà iná mànàmáná tó ní ìdúróṣinṣin gíga yóò máa pọ̀ sí i. Nínú ọ̀ràn yìí, ìmọ̀ ẹ̀rọ SiC Cantilever Paddle yóò ṣì jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun pàtàkì tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún iṣẹ́ semiconductor ìran tó ń bọ̀.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-14-2026