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ProduitDdescription
Les plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisées comme support de plaquettes dans le processus de diffusion à haute température.
Avantages :
Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 ℃
conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite
Dureté élevée:dureté deuxième après le diamant, le nitrure de bore
Résistance à la corrosion:les acides forts et les alcalis ne sont pas corrosifs, la résistance à la corrosion est meilleure que celle du carbure de tungstène et de l'alumine
Poids léger:faible densité, proche de l'aluminium
Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique
Résistance aux chocs thermiques:il peut résister à des changements brusques de température, résister aux chocs thermiques et avoir des performances stables
Propriétés physiques du SiC
| Propriété | Valeur | Méthode |
| Densité | 3,21 g/cc | Couloir-flotteur et dimension |
| Chaleur spécifique | 0,66 J/g °K | Flash laser pulsé |
| Résistance à la flexion | 450 MPa 560 MPa | Coude à 4 points, RT4 coude à 4 points, 1300° |
| Ténacité à la rupture | 2,94 MPa m1/2 | Microindentation |
| Dureté | 2800 | Vicker's, charge de 500 g |
| Module d'élasticitéModule de Young | 450 GPa430 GPa | Coude 4 points, RT4 coude pt, 1300 °C |
| Taille des grains | 2 – 10 µm | SEM |
Propriétés thermiques du SiC
| Conductivité thermique | 250 W/m °K | Méthode du flash laser, RT |
| Dilatation thermique (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Température ambiante à 950 °C, dilatomètre en silice |
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