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ProductoDDescripción
Las naves de obleas de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte de obleas en procesos de difusión de alta temperatura.
Ventajas:
Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃
Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito
Alta dureza:Dureza superada solo por el diamante y el nitruro de boro.
Resistencia a la corrosión:Los ácidos fuertes y los álcalis no tienen corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que el carburo de tungsteno y la alúmina.
Peso ligero:Baja densidad, cercana al aluminio.
Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica
Resistencia al choque térmico:Puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable.
Propiedades físicas del SiC
| Propiedad | Valor | Método |
| Densidad | 3,21 g/cc | Hundimiento-flotación y dimensión |
| Calor específico | 0,66 J/g °K | Destello láser pulsado |
| Resistencia a la flexión | 450 MPa560 MPa | Curva de 4 puntos, RTCurva de 4 puntos, 1300° |
| Tenacidad a la fractura | 2,94 MPa m1/2 | Microindentación |
| Dureza | 2800 | Vickers, carga de 500 g |
| Módulo elásticoMódulo de Young | 450 GPa430 GPa | Codo de 4 puntos, RT4 pt bend, 1300 °C |
| Tamaño del grano | 2 – 10 µm | Microscopia electrónica de barrido |
Propiedades térmicas del SiC
| Conductividad térmica | 250 W/m °K | Método de destello láser, RT |
| Expansión térmica (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Temperatura ambiente hasta 950 °C, dilatómetro de sílice |
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