Barco profissional chinês Sic transporta wafers de silício para o tubo do forno de revestimento por difusão de alta temperatura

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ProdutoDdescrição

Os barcos de wafer de carboneto de silício são amplamente utilizados como suporte de wafer em processos de difusão de alta temperatura.

Vantagens:

Resistência a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta condutividade térmica:equivalente ao material de grafite

Alta dureza:dureza superada apenas pelo diamante e nitreto de boro

Resistência à corrosão:Ácidos e álcalis fortes não corroem, a resistência à corrosão é melhor do que carboneto de tungstênio e alumina

Peso leve:baixa densidade, próximo ao alumínio

Sem deformação: baixo coeficiente de expansão térmica

Resistência ao choque térmico:pode suportar mudanças bruscas de temperatura, resistir a choques térmicos e tem desempenho estável

 

Propriedades físicas do SiC

Propriedade Valor Método
Densidade 3,21 g/cc Afundar-flutuar e dimensionar
Calor específico 0,66 J/g °K Flash laser pulsado
Resistência à flexão 450 MPa 560 MPa Curvatura de 4 pontos, curvatura de 4 pontos RT, 1300°
Tenacidade à fratura 2,94 MPa m1/2 Microindentação
Dureza 2800 Vicker's, carga de 500g
Módulo de elasticidadeMódulo de Young 450 GPa430 GPa Curvatura de 4 pontos, curvatura RT4 pontos, 1300 °C
Tamanho do grão 2 – 10 µm SEM

 

Propriedades térmicas do SiC

Condutividade térmica 250 W/m °K Método de flash laser, RT
Expansão Térmica (CTE) 4,5 x 10-6 °K Temperatura ambiente até 950 °C, dilatômetro de sílica

 

 

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