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ProdutoDdescrição
Os suportes para wafers de carboneto de silício são amplamente utilizados em processos de difusão em altas temperaturas.
Vantagens:
Alta resistência à temperatura:Uso normal a 1800 ℃
Alta condutividade térmica:equivalente ao material de grafite
Alta dureza:Com dureza inferior apenas à do diamante, o nitreto de boro é encontrado no nitreto de boro.
Resistência à corrosão:Ácidos e álcalis fortes não causam corrosão nele; sua resistência à corrosão é superior à do carboneto de tungstênio e da alumina.
Leve:baixa densidade, semelhante ao alumínio
Sem deformação: baixo coeficiente de expansão térmica
Resistência ao choque térmico:Ele pode suportar mudanças bruscas de temperatura, resistir a choques térmicos e possui desempenho estável.
Propriedades físicas do SiC
| Propriedade | Valor | Método |
| Densidade | 3,21 g/cc | Flutuador e dimensão |
| Calor específico | 0,66 J/g °K | Flash de laser pulsado |
| Resistência à flexão | 450 MPa 560 MPa | Dobra de 4 pontos, dobra de 4 pontos RT, 1300° |
| tenacidade à fratura | 2,94 MPa m1/2 | Microindentação |
| Dureza | 2800 | Vickers, carga de 500g |
| Módulo de elasticidadeMódulo de Young | 450 GPa 430 GPa | Dobra de 4 pontos, dobra de 4 pontos RT, 1300 °C |
| Tamanho do grão | 2 – 10 µm | MEV (Microscopia Eletrônica de Varredura) |
Propriedades térmicas do SiC
| Condutividade térmica | 250 W/m °K | Método de flash a laser, RT |
| Expansão Térmica (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Temperatura ambiente até 950 °C, dilatômetro de sílica |
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