La barca professionale cinese China Sic trasporta wafer di silicio nel tubo del forno di rivestimento per diffusione ad alta temperatura

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ProdottoDdescrizione

Le barchette porta wafer in carburo di silicio sono ampiamente utilizzate come supporti per wafer nei processi di diffusione ad alta temperatura.

Vantaggi:

Resistenza alle alte temperature:uso normale a 1800 ℃

Elevata conduttività termica:equivalente al materiale grafitico

Elevata durezza:durezza seconda solo al diamante, nitruro di boro

resistenza alla corrosione:Acidi e alcali forti non lo corrodono, la sua resistenza alla corrosione è migliore di quella del carburo di tungsteno e dell'allumina

Peso leggero:bassa densità, simile all'alluminio

Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica

resistenza agli shock termici:Può resistere a bruschi sbalzi di temperatura, sopportare shock termici e avere prestazioni stabili.

 

Proprietà fisiche del SiC

Proprietà Valore Metodo
Densità 3,21 g/cc Galleggiamento e dimensione
Calore specifico 0,66 J/g °K Lampo laser pulsato
Forza flessionale 450 MPa 560 MPa piegatura a 4 punti, piegatura a 4 punti RT4, 1300°
tenacità alla frattura 2,94 MPa m1/2 Microindentazione
Durezza 2800 Vickers, carica da 500 g
Modulo elastico Modulo di Young 450 GPa 430 GPa piegatura a 4 punti, piegatura RT4 punti, 1300 °C
Dimensione del grano 2 – 10 µm SEM

 

Proprietà termiche del SiC

Conduttività termica 250 W/m °K Metodo del flash laser, RT
Dilatazione termica (CTE) 4,5 x 10⁻⁶ °K Temperatura ambiente fino a 950 °C, dilatometro in silice

 

 

barca1   barca2

barca3   barca4


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