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ProdottoDdescrizione
Le barchette porta wafer in carburo di silicio sono ampiamente utilizzate come supporti per wafer nei processi di diffusione ad alta temperatura.
Vantaggi:
Resistenza alle alte temperature:uso normale a 1800 ℃
Elevata conduttività termica:equivalente al materiale grafitico
Elevata durezza:durezza seconda solo al diamante, nitruro di boro
resistenza alla corrosione:Acidi e alcali forti non lo corrodono, la sua resistenza alla corrosione è migliore di quella del carburo di tungsteno e dell'allumina
Peso leggero:bassa densità, simile all'alluminio
Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica
resistenza agli shock termici:può sopportare bruschi sbalzi di temperatura, resistere agli shock termici e avere prestazioni stabili
Proprietà fisiche del SiC
| Proprietà | Valore | Metodo |
| Densità | 3,21 g/cc | Galleggiamento e dimensione |
| Calore specifico | 0,66 J/g °K | Lampo laser pulsato |
| Forza flessionale | 450 MPa 560 MPa | piegatura a 4 punti, piegatura a 4 punti RT4, 1300° |
| tenacità alla frattura | 2,94 MPa m1/2 | Microindentazione |
| Durezza | 2800 | Vickers, carica da 500 g |
| Modulo elastico Modulo di Young | 450 GPa 430 GPa | piegatura a 4 punti, piegatura RT4 punti, 1300 °C |
| Dimensione del grano | 2 – 10 µm | SEM |
Proprietà termiche del SiC
| Conduttività termica | 250 W/m °K | Metodo del flash laser, RT |
| Dilatazione termica (CTE) | 4,5 x 10⁻⁶ °K | Temperatura ambiente fino a 950 °C, dilatometro in silice |
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