중국 전문 Sic 보트는 실리콘 웨이퍼를 고온 확산 코팅로 튜브로 운반합니다.

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제품D설명

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.

장점:

고온 저항성:1800℃에서 정상 사용

높은 열전도도:흑연 재료와 동일

높은 경도:다이아몬드, 질화붕소 다음으로 경도가 높음

내식성:강산 및 강알칼리 부식이 없고, 텅스텐 카바이드 및 알루미나보다 내식성이 우수합니다.

가벼운 무게:낮은 밀도, 알루미늄에 가까움

변형 없음: 낮은 열팽창 계수

열충격 저항성:급격한 온도 변화에도 견디고 열충격에도 강하며 안정적인 성능을 보입니다.

SiC의 물리적 특성

SiC의 열적 특성