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製品D説明
炭化ケイ素製のウェーハボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されている。
利点：
高温耐性：通常使用時の温度は1800℃です。
高い熱伝導率:グラファイト材料と同等
高硬度:硬度はダイヤモンドに次ぐもので、窒化ホウ素がそれに次ぐ。
耐腐食性:強酸や強アルカリによる腐食を受けず、耐食性は炭化タングステンやアルミナよりも優れている。
軽量:低密度、アルミニウムに近い
変形なし: 熱膨張係数が低い
耐熱衝撃性:急激な温度変化に耐え、熱衝撃にも強く、安定した性能を発揮します。
SiCの物理的特性
| 財産 | 価値 | 方法 |
| 密度 | 3.21 g/cc | 沈下浮力と寸法 |
| 比熱 | 0.66 J/g °K | パルスレーザーフラッシュ |
| 曲げ強度 | 450 MPa 560 MPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300° |
| 破壊靭性 | 2.94 MPa m1/2 | マイクロインデンテーション |
| 硬度 | 2800 | ビッカース弾、500g装填 |
| 弾性率 ヤング率 | 450 GPa 430 GPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300℃ |
| 粒度 | 2～10 µm | SEM |
SiCの熱特性
| 熱伝導率 | 250 W/m °K | レーザーフラッシュ法、RT |
| 熱膨張係数（CTE） | 4.5 × 10⁻⁶ °K | 室温から950℃まで、シリカ膨張計 |
