プロフェッショナルな中国のSiCボートは、シリコンウェハを高温拡散コーティング炉のチューブに運びます

簡単な説明:


製品詳細

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豊富なプロジェクト管理経験とマンツーマンのサービスモデルにより、組織内のコミュニケーションが極めて重要となり、プロフェッショナルな中国製SICボートによるシリコンウェーハの高温拡散コーティング炉チューブへの搬送に対するお客様のご期待を的確に把握することができます。私たちの究極の目標は、常にトップブランドとしての地位を確立し、業界のパイオニアとしてリードすることです。ツール製造における豊富な生産経験は、お客様の信頼を得られると確信しています。お客様と協力し、より良い長期的な関係を築けるよう願っております。
非常に豊富なプロジェクト管理経験と1対1のサービスモデルにより、組織コミュニケーションの重要性が高まり、お客様の期待を簡単に理解できるようになります。中国がシリコンウエハーを輸送, 多結晶シリコンウエハ製品に関するご質問やご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。近い将来、お客様と長期的なビジネス関係を築けることを楽しみにしております。今すぐお問い合わせください。私たちはお客様のニーズに最適なビジネスパートナーです。
製品D説明

炭化ケイ素ウェーハボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されています。

利点:

耐高温性:1800℃での通常使用

高い熱伝導率:グラファイト材料に相当する

高硬度:ダイヤモンドに次ぐ硬さを持つ窒化ホウ素

耐食性:強酸や強アルカリに対して腐食性がないため、耐腐食性は炭化タングステンやアルミナよりも優れています。

軽量:密度が低く、アルミニウムに近い

変形なし: 低い熱膨張係数

耐熱衝撃性:急激な温度変化や熱衝撃にも耐え、安定した性能を発揮します。

 

SiCの物理的特性

財産 価値 方法
密度 3.21 g/cc 沈下浮上と寸法
比熱 0.66 J/g °K パルスレーザーフラッシュ
曲げ強度 450 MPa560 MPa 4点曲げ、RT4点曲げ、1300°
破壊靭性 2.94 MPa m1/2 マイクロインデンテーション
硬度 2800 ビッカース、500g荷重
弾性係数ヤング率 450 GPa430 GPa 4点曲げ、RT4点曲げ、1300℃
粒度 2~10µm SEM

 

SiCの熱特性

熱伝導率 250 W/m°K レーザーフラッシュ法、RT
熱膨張(CTE) 4.5 x 10-6°K 室温~950℃、シリカ膨張計

 

 

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