आवेदन क्षेत्र


उत्पाद का अनुप्रयोग और प्रदर्शन उत्पाद के अनुप्रयोग और उपयोग
Si सिंगल क्रिस्टल उद्योग, GaN, AlN, नीलम और अन्य MOCVD पेडस्टल। - सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए ग्रेफाइट बेस कोटिंग।
मुख्य विशेषताएं: उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध, उच्च तापीय चालकता, - MOCVD प्रक्रिया, GaN एपिटैक्सियल वृद्धि के लिए ग्रेफाइट आधारित कोटिंग
उच्च तापमान प्रतिरोध, कम तापीय विस्तार गुणांक।
| ऊष्मीय चालकता | 250 W/m °K | लेजर फ्लैश विधि, आरटी |
| तापीय विस्तार (सीटीई) | 4.5 x 10-6°के | कमरे के तापमान से 950 डिग्री सेल्सियस तक, सिलिका डाइलेटोमीटर |
| संपत्ति | कीमत | तरीका |
| घनत्व | 3.21 ग्राम/सीसी | सिंक-फ्लोट और आयाम |
| विशिष्ट ऊष्मा | 0.66 J/g °K | स्पंदित लेजर फ्लैश |
| आनमनी सार्मथ्य | 450 एमपीए 560 एमपीए | 4 पॉइंट बेंड, RT4 पॉइंट बेंड, 1300° |
| अस्थिभंग बेरहमी | 2.94 एमपीए मीटर1/2 | माइक्रोइंडेंटेशन |
| कठोरता | 2800 | विकर्स, 500 ग्राम लोड |
| प्रत्यास्थ मापांक यंग का मापांक | 450 जीपीए 430 जीपीए | 4 प्वाइंट बेंड, आरटी4 प्वाइंट बेंड, 1300 डिग्री सेल्सियस |
| अनाज आकार | 2 - 10 µm | एसईएम |

शुद्धता, एसईएम संरचना, मोटाई विश्लेषणSiC कोटिंग
सीवीडी विधि द्वारा ग्रेफाइट पर SiC कोटिंग की शुद्धता 99.9995% तक है। इसकी संरचना fcc है। XRD डेटा (चित्र 1) में दर्शाए अनुसार, ग्रेफाइट पर लेपित SiC फिल्म (111) दिशा में उन्मुख है, जो इसकी उच्च क्रिस्टलीय गुणवत्ता को इंगित करता है। चित्र 2 में दर्शाए अनुसार, SiC फिल्म की मोटाई बहुत एकसमान है।
एकल क्रिस्टल सिलिकॉन एपिटैक्सियल बेस
उत्पाद का प्रदर्शन और अनुप्रयोग की संभावनाएं।
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपितयह बेस सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन और GaN एपिटैक्सी के लिए सबसे अच्छा बेस है, जो एपिटैक्सी फर्नेस का मुख्य घटक है। यह बेस बड़े इंटीग्रेटेड सर्किट के लिए मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन के उत्पादन में एक महत्वपूर्ण सहायक उपकरण है। इसमें उच्च शुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, अच्छी वायुरोधी क्षमता और अन्य उत्कृष्ट भौतिक गुण हैं।
उत्पाद का अनुप्रयोग और उपयोग
एकल क्रिस्टल सिलिकॉन एपिटैक्सियल वृद्धि के लिए ग्रेफाइट आधारित कोटिंग। ऐक्सट्रॉन मशीनों आदि के लिए उपयुक्त। कोटिंग की मोटाई: 90~150um। वेफर क्रेटर का व्यास 55 मिमी है।
सौर फोटोवोल्टिक
GAupidpelitcubaetiaonnd
ग्रेफाइट क्रूसिबल कोटिंगसिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन के लिए स्ट्रेट-पुल विधि द्वारा
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