सेमीकंडक्टर उद्योग में ग्रेफाइट सामग्री की आवश्यकताएं विशेष रूप से उच्च होती हैं, ग्रेफाइट के महीन कण आकार में उच्च परिशुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च शक्ति, कम हानि और अन्य फायदे होते हैं, जैसे: सिंटर्ड ग्रेफाइट उत्पादों का मोल्ड।सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट उपकरण (हीटर और उनके सिंटर्ड डाई सहित) को बार-बार गर्म और ठंडा करने की प्रक्रियाओं को सहन करने की आवश्यकता होती है, इसलिए ग्रेफाइट उपकरणों के सेवा जीवन को बढ़ाने के लिए, आमतौर पर यह आवश्यक होता है कि उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट पदार्थों में स्थिर प्रदर्शन और गर्मी प्रतिरोधी प्रभाव कार्यक्षमता हो।
01 अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धि के लिए ग्रेफाइट सहायक उपकरण
अर्धचालक क्रिस्टलों के विकास के लिए उपयोग की जाने वाली सभी प्रक्रियाएं उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में संचालित होती हैं। क्रिस्टल विकास भट्टी का गर्म क्षेत्र आमतौर पर ऊष्मा-प्रतिरोधी और संक्षारण-प्रतिरोधी उच्च-शुद्धता वाले ग्रेफाइट घटकों से सुसज्जित होता है, जैसे कि हीटर, क्रूसिबल, इन्सुलेशन सिलेंडर, गाइड सिलेंडर, इलेक्ट्रोड, क्रूसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट आदि।
हम क्रिस्टल उत्पादन उपकरणों के सभी ग्रेफाइट पुर्जे बना सकते हैं, जिन्हें व्यक्तिगत रूप से या सेट में आपूर्ति किया जा सकता है, या ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों के अनुकूलित ग्रेफाइट पुर्जे भी बना सकते हैं। उत्पादों का आकार मौके पर ही मापा जा सकता है, और तैयार उत्पादों में राख की मात्रा कम होती है।5 पीपीएम से अधिक।
02 सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी के लिए ग्रेफाइट सहायक उपकरण
एपिटैक्सियल प्रक्रिया का तात्पर्य एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर सब्सट्रेट के समान जाली संरचना वाले एकल क्रिस्टल पदार्थ की परत के विकास से है। एपिटैक्सियल प्रक्रिया में, वेफर को ग्रेफाइट डिस्क पर लोड किया जाता है। ग्रेफाइट डिस्क का प्रदर्शन और गुणवत्ता वेफर की एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। एपिटैक्सियल उत्पादन के क्षेत्र में, अति उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट और एसआईसी कोटिंग वाले उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट बेस की बहुत आवश्यकता होती है।
हमारी कंपनी द्वारा विकसित सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी के लिए ग्रेफाइट बेस के अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है, यह उद्योग में आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले अधिकांश उपकरणों के साथ मेल खाता है, और इसमें उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन, और उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता है।
03 आयन प्रत्यारोपण के लिए ग्रेफाइट सहायक उपकरण
आयन प्रत्यारोपण से तात्पर्य बोरॉन, फॉस्फोरस और आर्सेनिक के प्लाज्मा बीम को एक निश्चित ऊर्जा तक त्वरित करने और फिर उसे वेफर सामग्री की सतह परत में इंजेक्ट करने की प्रक्रिया से है, जिससे सतह परत के भौतिक गुणों में परिवर्तन होता है। आयन प्रत्यारोपण उपकरण के घटक उच्च शुद्धता वाली सामग्रियों से बने होने चाहिए जिनमें उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध, ऊष्मीय चालकता, आयन बीम से कम संक्षारण और कम अशुद्धता हो। उच्च शुद्धता वाला ग्रेफाइट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करता है और इसका उपयोग आयन प्रत्यारोपण उपकरण के फ्लाइट ट्यूब, विभिन्न स्लिट्स, इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोड कवर, कंड्यूइट, बीम टर्मिनेटर आदि के लिए किया जा सकता है।
हम न केवल विभिन्न आयन प्रत्यारोपण मशीनों के लिए ग्रेफाइट शील्डिंग कवर प्रदान कर सकते हैं, बल्कि उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड और उच्च संक्षारण प्रतिरोध वाले आयन स्रोत भी विभिन्न विशिष्टताओं के साथ उपलब्ध करा सकते हैं। उपयुक्त मॉडल: ईटन, एज़सेलिस, क्वांटम, वेरियन, निसिन, एमैट, एलएएम और अन्य उपकरण। इसके अतिरिक्त, हम मैचिंग सिरेमिक, टंगस्टन, मोलिब्डेनम, एल्युमीनियम उत्पाद और लेपित पुर्जे भी प्रदान कर सकते हैं।
04 ग्रेफाइट इन्सुलेशन सामग्री और अन्य
सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणों में उपयोग होने वाली थर्मल इन्सुलेशन सामग्री में ग्रेफाइट हार्ड फेल्ट, सॉफ्ट फेल्ट, ग्रेफाइट फॉइल, ग्रेफाइट पेपर और ग्रेफाइट रोप शामिल हैं।
हमारी सभी कच्ची सामग्री आयातित ग्रेफाइट है, जिसे ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार विशिष्ट आकार में काटा जा सकता है या पूरी तरह से बेचा जा सकता है।
सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन और पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सेल के उत्पादन प्रक्रिया में फिल्म कोटिंग के लिए कार्बन-कार्बन ट्रे का उपयोग वाहक के रूप में किया जाता है। इसका कार्य सिद्धांत यह है: सिलिकॉन चिप को सीएफसी ट्रे में डालें और फिल्म कोटिंग की प्रक्रिया के लिए इसे भट्टी की नली में भेजें।
