TaC bevonatú grafitgyűrű

A VET Energy a nagy teljesítményű CVD tantál-karbid (TaC) bevonatú grafitgyűrűk kutatás-fejlesztésére és gyártására összpontosít, és elkötelezett a félvezető, fotovoltaikus és magas hőmérsékletű iparágak számára készült fogyóeszköz-anyagmegoldások biztosítása iránt. Függetlenül kifejlesztett kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) technológiánk precíziós eljárások révén sűrű és egyenletes tantál-karbid bevonatot képez a grafithordozó felületén, jelentősen javítva a termék magas hőmérséklettel (>3000℃) szembeni ellenállását, korrózióállóságát és hősokkkal szembeni ellenállását, több mint háromszorosára növelve az élettartamot, és csökkentve az ügyfelek átfogó költségeit.

Technikai előnyeink:
1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás
1200 ℃-os levegőatmoszférában az oxidációs súlygyarapodási sebesség ≤0,05 mg/cm²/h, ami több mint háromszorosa a hagyományos grafit oxidációs ellenállási élettartamának, és alkalmas nagyfrekvenciás fűtési-hűtési ciklusfeltételekre.
2. Olvadt szilícium/fém korrózióval szembeni ellenállás
A TaC bevonat rendkívül inert a fémekkel, például a folyékony szilíciummal (1600 ℃), az olvadt alumíniummal/rézzel stb. szemben, így elkerülhető a hagyományos vezetőgyűrűk fémbehatolás miatti szerkezeti meghibásodása, így különösen alkalmas teljesítmény-félvezetőkhöz és harmadik generációs félvezetők gyártásához.
3. Rendkívül alacsony részecskeszennyeződés
A CVD eljárással >99,5%-os bevonatsűrűség és Ra≤0,2 μm felületi érdesség érhető el, ami csökkenti a részecskék forrásból való leválásának kockázatát, és megfelel a 12 hüvelykes ostyagyártás szigorú tisztasági követelményeinek.
4. Pontos méretszabályozás
CNC precíziós megmunkálás alkalmazásával a grafit hordozó mérettűrése ±0,01 mm, a bevonat utáni teljes deformáció pedig <±5μm, ami alkalmas nagy pontosságú berendezéskamrákba történő beépítésre.