Kvarc ostyahajókulcsfontosságú hordozóeszköz a félvezetőgyártásban, a fotovoltaikus cellagyártásban, valamint a fejlett anyagkutatásban és -fejlesztésben, amelyet stabil ostyaátvitelre és pozicionálásra terveztek magas hőmérsékletű folyamatokban. Ez a termék ultra nagy tisztaságú olvasztott szilícium-dioxidból (SiO2) készül, kiváló hőmérséklet-állósággal, kémiai stabilitással és ultra alacsony fémszennyeződési jellemzőkkel, alkalmas diffúziós kemencékhez, oxidációs kemencékhez, PECVD/LPCVD és egyéb berendezésekhez, széles körben használják ostyabevonáshoz, ionbeültetéshez, magas hőmérsékletű lágyításhoz és egyéb magfeldolgozáshoz.
A VET Energy kvarc hajójának fő előnyei:
- Ultra nagy tisztaságú anyag
Tisztaság ≥99,99%: Szennyeződések (Na, K, Fe stb.) <5 ppm, elkerülve a lapka szennyeződését és garantálva a chiphozamot.
Alacsony kicsapódás és adszorpció: a felület szuperpolírozott (Ra≤0,4 μm) a részecskék tapadásának és a gázmaradványok csökkentésére. - Magas hőmérsékleti stabilitás
Hőmérséklethatár: Hosszú távú üzemi hőmérséklet 1100 ℃, rövid távú csúcshőmérséklet 1300 ℃, nincs deformáció, nincs kristálykiválás.
Alacsony hőtágulási együttható (5,5x10-7/℃), kiváló hősokk-állóság, alkalmazkodik a gyors hőmérséklet-emelkedéshez és -csökkenéshez (pl. RTP gyors hőkezelés). - Precíz szerkezeti tervezés
Réspontosság ±0,1 mm: 2”-12”-es ostyák illesztése, a távolság egyenletességi hibája <0,05 mm, így az ostyáknak nincs eltolódása.
Nagy teherbírás: Maximum 50 ostya terhelése (12 hüvelykes ostyákra vonatkoztatva) egyetlen csónakban, támogatva a vékony ostyák (≥100 μm) stabil átvitelét. - Kémiai inertség
Korrózióállóság: Ellenáll a savaknak (kivéve HF), lúgoknak és szerves oldószerek okozta korróziónak, kompatibilis a CMP tisztítási eljárással.
Kiváló gáztömörség: Szivárgási sebesség <5x10-10 Pa.m3/s, vákuumos és védőgázas környezetekben való használatra alkalmas. - Hosszú élettartam és karbantarthatóság
A várható élettartam ≥ 5000 ciklus (normál üzemi körülmények között), a felület ismételten tisztítható és használható, csökkentve az összköltséget.
Moduláris kialakítás: támogatja a részleges cserét (pl. egyetlen hajófog), csökkentve az állásidőt.
Átlátszó és matt felületeket is kínálunk az ügyfél igényei szerint:
A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. egy high-tech vállalat, amely a csúcskategóriás, fejlett anyagok gyártására és értékesítésére összpontosít, beleértve a grafitot, szilícium-karbidot, kerámiát, felületkezeléseket, például SiC bevonatot, TaC bevonatot, üveges szén bevonatot, pirolitikus szén bevonatot stb. Ezeket a termékeket széles körben használják fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb. területeken.
Műszaki csapatunk a vezető hazai kutatóintézetekből származik, és több szabadalmaztatott technológiát fejlesztett ki a termék teljesítményének és minőségének biztosítása érdekében, valamint professzionális anyagmegoldásokat is kínál az ügyfeleknek.
